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低温射频氧等离子体氧化SiO_2/Si界面陷阱的DLTS研究
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作者 梁振宪 韩郑生 +1 位作者 罗晋生 汪立椿 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第5期9-16,共8页
对温度500℃、RF氧等离子体氧化生长的SiO_2形成的MOS结构进行了DLTS测量.应用能量分辨DLTS模型对这种高密度界面陷阱的特性进行了分析和计算.结果表明界面电子陷阱在禁带上半部的密度为3~8×10^(12)eV^(-1)cm^(-2);俘获截面σ_n(E... 对温度500℃、RF氧等离子体氧化生长的SiO_2形成的MOS结构进行了DLTS测量.应用能量分辨DLTS模型对这种高密度界面陷阱的特性进行了分析和计算.结果表明界面电子陷阱在禁带上半部的密度为3~8×10^(12)eV^(-1)cm^(-2);俘获截面σ_n(E)约为10^(-18)cm^2数量级.结合准静态C-V测量研究了后退火对陷阱的影响,经400℃/30分钟、N_2气氛热退火可使陷阱密度降为1~2×10^(11)eV^(-1)cm^(-2),σ_n(E)降为~10^(-19)cm^2;测得的高密度界面陷阱认为是由该工艺形成的过渡区内特殊的悬挂键分布引入的. 展开更多
关键词 dlts测量 二氧化硅 界面陷阱
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GaAs/Si/AlAs异质结的带阶和GaAs生长温度的影响
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作者 李永平 澜清 +6 位作者 吴正龙 周大勇 孔云川 牛智川 田强 杨锡震 王亚非 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期168-172,共5页
用分子束外延 (MBE)设备制备了 Ga As/ Al As和 Ga As/ Si/ Al As异质结 ,通过 XPS分别研究了异质结界面处 Si层厚度为 0 .5 ML 和 1ML 对异质结带阶的调节 ,得到最大调节量为 0 .2 e V;通过 C- V法研究了异质结的Ga As层在不同温度下... 用分子束外延 (MBE)设备制备了 Ga As/ Al As和 Ga As/ Si/ Al As异质结 ,通过 XPS分别研究了异质结界面处 Si层厚度为 0 .5 ML 和 1ML 对异质结带阶的调节 ,得到最大调节量为 0 .2 e V;通过 C- V法研究了异质结的Ga As层在不同温度下生长对 0 .5 ML Si夹层的影响 ,得到 Si夹层的空间分布随 Ga As层生长温度的升高而扩散增强的温度效应 ,通过深能级瞬态谱 (DL TS)研究了在上述不同温度下生长的 Ga As层的晶体质量 . 展开更多
关键词 GaAs/Si/AlAs异质结 生长温度 Si夹层 XPS测量 dlts测量 带阶调节 分子束外延
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颈椎数字减影图像三维运动检测系统的探讨
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作者 杨薇薇 王起宏 陶铮 《华中理工大学学报》 CSCD 北大核心 1998年第6期73-75,共3页
利用微机对数字减影成像DSA(DigitalSubtraction)系统的颈椎(模拟)图像进行处理,建立了一种颈椎非接触式三维运动检测系统.该系统拟采用DSA对病人颈椎进行正、侧位照影,根据DSA的两路PAL制式输出... 利用微机对数字减影成像DSA(DigitalSubtraction)系统的颈椎(模拟)图像进行处理,建立了一种颈椎非接触式三维运动检测系统.该系统拟采用DSA对病人颈椎进行正、侧位照影,根据DSA的两路PAL制式输出,经过预处理、识别和DLT测量方法计算,得出被检测颈椎每块椎骨中心点的空间坐标,从而达到确立完成某动作时病人每块椎骨间的相对位移、相对转角等运动参数的目的. 展开更多
关键词 图像处理 颈椎 dlt测量 数字减影成像
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