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微机化DLTS-CV组合半导体测试系统
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作者 邵志标 郑美珍 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1989年第2期8-12,共5页
DLTS和CV测试相结合可以对半导体的表面、界面性能及深能级杂质进行定量研究.本文主要介绍DLTS测试方法及微机化DLTS-CV组合测试系统的软、硬件设计.
关键词 dlts-cv测试 微机应用 半导体测试
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