期刊文献+
共找到3篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
基于数字光刻技术的光纤端面微光学器件制作 被引量:1
1
作者 余秋香 易云 《科技广场》 2011年第3期132-134,共3页
本文提出采用DMD数字光刻技术制作光纤端面微光学器件,基于DMD数字光刻系统,建立了用于制作光纤端面微光学器件的双光源DMD数字光刻系统。利用双光源DMD数字光刻系统,在芯径为62.5μm,外径为125μm的多模光纤端面上制作了具有耦合作用... 本文提出采用DMD数字光刻技术制作光纤端面微光学器件,基于DMD数字光刻系统,建立了用于制作光纤端面微光学器件的双光源DMD数字光刻系统。利用双光源DMD数字光刻系统,在芯径为62.5μm,外径为125μm的多模光纤端面上制作了具有耦合作用的环形光栅。本技术中光纤端面微光学器件的掩模由计算机控制输出,具有设计灵活、实时控制的优点。 展开更多
关键词 光纤端面 微光学器件 双光源dmd数字光刻系统 数字光刻技术
下载PDF
用于数字光刻的非对称式投影物镜设计 被引量:2
2
作者 邝健 周金运 郭华 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期52-56,共5页
针对DMD数字光刻,利用ZEMAX光学设计软件,设计出了一套适用于型号0.7XGA DMD的10片式光刻投影物镜。该物镜采用非对称性结构,前组为改进的三分离物镜,后组为匹兹伐物镜加平像场镜,分辨率为2μm,近轴放大倍率为-0.15,像方数值孔径NA为0.1... 针对DMD数字光刻,利用ZEMAX光学设计软件,设计出了一套适用于型号0.7XGA DMD的10片式光刻投影物镜。该物镜采用非对称性结构,前组为改进的三分离物镜,后组为匹兹伐物镜加平像场镜,分辨率为2μm,近轴放大倍率为-0.15,像方数值孔径NA为0.158,全视场波像差小于λ/20,畸变小于0.014%,焦深为20μm,通过各项评价可知系统已经达到了衍射极限。在对该镜头进行公差分析后,利用Monte Carlo方法,模拟组装加工了100组镜头,得到90%的镜头MTF>0.46,50%的镜头MTF>0.51,证明了这种非对称性结构加工和校装的可能性。 展开更多
关键词 dmd数字光刻 光学设计 投影物镜 非对称式结构
下载PDF
微透镜阵列薄膜定向增强OLED耦合效率的研究 被引量:7
3
作者 周芳 庄孝磊 +1 位作者 申溯 陈林森 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期1480-1483,共4页
利用微透镜阵列(MLA)薄膜定向增强有机发光器件(OLED)耦合效率,采用光线追迹方法模拟了不同长短轴比的椭圆形MLA对OLED光的定向增强作用。采用数字微反射镜器件(DMD)并行光刻和热回流相结合的方法制作了MLA模版,经过电铸、压印得到MLA... 利用微透镜阵列(MLA)薄膜定向增强有机发光器件(OLED)耦合效率,采用光线追迹方法模拟了不同长短轴比的椭圆形MLA对OLED光的定向增强作用。采用数字微反射镜器件(DMD)并行光刻和热回流相结合的方法制作了MLA模版,经过电铸、压印得到MLA薄膜。理论模拟和实验结果表明,利用MLA可以定向提高OLED的出光效率,圆形MLA可提高垂直OLED基底表面方向的亮度42%;椭圆形MLA可实现OLED在长短轴方向上30°的半强度角度差,总的提取效率可提高30%以上。 展开更多
关键词 微透镜阵列(MLA)薄膜 有机发光器件(OLED) 定向增强耦合效率 数字微镜器件(dmd)并行光刻
原文传递
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部