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SWAGELOK增DRP^TM系列铁弗龙隔膜阀产品线推出可人为调整的阀门
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《集成电路应用》 2005年第4期59-59,共1页
全球领导性的半导体设备元件供应厂商Swagelok曰前宣布.推出Swagelokm DRP系列超高纯度铁弗龙隔膜阀,可精确的控制流体,落实继续符合或超越超高纯度聚合系统元件AEMI Standard F57—0301标准的承诺。DRP系列产品最新的架构应用相当... 全球领导性的半导体设备元件供应厂商Swagelok曰前宣布.推出Swagelokm DRP系列超高纯度铁弗龙隔膜阀,可精确的控制流体,落实继续符合或超越超高纯度聚合系统元件AEMI Standard F57—0301标准的承诺。DRP系列产品最新的架构应用相当广泛,包括:具侵蚀性的CMP半流体、酸性、化学及超高纯度DI水配送系统。 展开更多
关键词 Swagelok公司 DRP^TM系列 铁弗龙隔膜阀产品线 人为调整
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