光刻机掩膜台微动台调平控制系统设计

考虑到光刻机微动台相对于硅片调平运动的快速性、准确性和稳定性的要求,提出了一种基于DSP与FPGA的三自由度调平控制系统设计和实现方法。以TI公司的DSP TMS320C6414芯片为主控制器,Altera公司的EP2S60F102014N为协控制器,设计了以EP2C5Q208C8N为可编程器件的信号采集模块、传感器模块和驱动电路等方面,并通过实验证明整个控制系统的稳定性、快速性和准确性。