非球面零检验的Dall补偿器设计

根据三级像差理论,推导Dall补偿器在检验光路中几种形式下的初始结构参数计算公式。讨论计算机最佳化设计方法并给出设计实例。

非球面零件光学检测技术研究

针对非球面零件光学级检测技术进行广泛探讨,并针对课题研究中一抛物面镜实例,设计出实用型Dall补偿器,经优化后,保证检测面形精度达到0.004λλ=632.8nm。