PSD-LD在两平面平行度测量中的应用

介绍日本８０年代的新产品ＰＳＤ“光位敏器”，以及ＬＤ“半导体激光器”，对ＰＳＤ和ＬＤ的工作原理行了分析，讨论了由ＰＳＤ－ＬＤ组成的“光一位置传感器”测量水平度的可行性，并对由ＰＳＤ－ＬＤ组成的“光一位置传感器”在其它领域的应用作了有意义的探讨。