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飞秒激光沉积红外窗口类金刚石增透保护膜 被引量:6
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作者 程勇 王会升 +4 位作者 郭延龙 王淑云 陆益敏 黄国俊 万强 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第12期2403-2407,共5页
脉冲激光沉积法是一种制备类金刚石膜(DLC膜)的新技术。总结了脉冲激光法制备DLC膜在激光源、脉宽、沉积气氛及薄膜掺杂等方面的发展趋势。建立了飞秒脉冲激光沉积DLC膜系统,在不同的沉积条件下(如:真空、氧气氛、掺硅等)开展了实验研究... 脉冲激光沉积法是一种制备类金刚石膜(DLC膜)的新技术。总结了脉冲激光法制备DLC膜在激光源、脉宽、沉积气氛及薄膜掺杂等方面的发展趋势。建立了飞秒脉冲激光沉积DLC膜系统,在不同的沉积条件下(如:真空、氧气氛、掺硅等)开展了实验研究,阐明了不同沉积条件对DLC膜性能的影响规律。在硅、锗红外窗口上镀制了工程实用的DLC增透保护膜,平均透过率超过90%,纳米硬度高达44 GPa,镀膜窗口通过了军标的盐雾、重摩擦等试验,满足海面等恶劣环境使用要求。 展开更多
关键词 红外窗口 增透膜 保护膜 类金刚石膜 飞秒激光
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类金刚石薄膜作为MgF_2红外增透和保护膜的研究 被引量:7
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作者 张贵锋 刘正堂 郑修麟 《光电子技术》 CAS 1996年第2期113-118,共6页
系统地研究了MgF2衬底上类金刚石薄膜的折射率和生长速率与淀积工艺之间的关系,在MgF2衬底上成功地设计并制备了红外增透和保护膜。理论与实验研究表明,类金刚石薄膜使MgF2的红外透过率提高3%以上是完全可能的,但起红外增透和保护... 系统地研究了MgF2衬底上类金刚石薄膜的折射率和生长速率与淀积工艺之间的关系,在MgF2衬底上成功地设计并制备了红外增透和保护膜。理论与实验研究表明,类金刚石薄膜使MgF2的红外透过率提高3%以上是完全可能的,但起红外增透和保护双重作用的统一性问题仍有待进一步研究。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 红外增透 保护膜 红外光学材料
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金刚石红外增透保护膜 被引量:7
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作者 李敬起 郭晚土 孙亦宁 《真空与低温》 1996年第3期131-133,共3页
金刚石在红外区具有很好的透过率,可用作红外光学保护材料。另外,金刚石又具有优越的机械、热学、化学性能,可镀在其它红外材料上作为保护膜。用热丝化学气相沉积法在硅晶片上镀了一层金刚石膜,测量其红外透过率,在2.5~15μ... 金刚石在红外区具有很好的透过率,可用作红外光学保护材料。另外,金刚石又具有优越的机械、热学、化学性能,可镀在其它红外材料上作为保护膜。用热丝化学气相沉积法在硅晶片上镀了一层金刚石膜,测量其红外透过率,在2.5~15μm波长范围内透过率都有所增加,最高处透过率从52%提高到64.1%。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 红外增透 保护膜 薄膜
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金刚石红外增透保护膜的研制及特性拟合
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作者 褚沉 王辉 +2 位作者 徐新民 应萱同 沈元华 《光学仪器》 1996年第5期19-24,共6页
论述了在硅基板上用热灯丝法制备金刚石红外增透保护膜的工艺,通过多灯丝法、预打磨处理以及加偏压等方法得到了特性优良的金刚石薄膜,并利用对金刚石薄膜─硅板体系红外透射率的曲线拟合,推知了一系列不易直接测量的特性参数,如折... 论述了在硅基板上用热灯丝法制备金刚石红外增透保护膜的工艺,通过多灯丝法、预打磨处理以及加偏压等方法得到了特性优良的金刚石薄膜,并利用对金刚石薄膜─硅板体系红外透射率的曲线拟合,推知了一系列不易直接测量的特性参数,如折射率,吸收系数,薄膜厚度等。 展开更多
关键词 金刚石 红外增透保护膜 制造
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