火焰法合成金刚石薄膜中晶体的组织结构研究

金刚石薄膜的结晶习性、位错、孪晶、生长方式不但是其本身的特性，同时与它的生长环境息息相关，因此把握住沉积与晶体生长的关系，是准确地控制和获得所需性能薄膜的基础。对火焰法合成金刚石薄膜的晶体生长方式、结晶习性、孪晶、聚晶以及显微结构进行研究和分析，可为火焰法合成金刚石薄膜提供理论基础。

燃焰法沉积金刚石薄膜涂层刀具时的生长均匀性研究

在分析研究燃焰法合成金刚石机理的基础上，研究了用燃焰法在刀具上沉积金刚石薄膜时的生长均匀性问题。提出了刀刃上金刚石的异常生长原因及抑制方法，获得了涂层均匀的金刚石薄膜涂层刀具。

燃焰法沉积金刚石薄膜的均匀性研究

研究了燃焰法沉积金刚石薄膜的质量均匀性，指出反应气体流量比是影响金刚石薄膜质量均匀性的主要因素．基片表面沉积区径向温度梯度使金刚石薄膜晶粒尺寸随偏离沉积中心距离的增加而减小．