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Study on the Properties of Diamond Films on Aluminum Nitride Ceramics
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作者 廖源 《High Technology Letters》 EI CAS 1999年第2期94-97,共4页
Diamond films were successfully synthesized on aluminum nitride(AlN) ceramic substrates by hot filament chemical vapor deposition(HFCVD) method. It is notices that the thermal conductivity of the diamond film/aluminum... Diamond films were successfully synthesized on aluminum nitride(AlN) ceramic substrates by hot filament chemical vapor deposition(HFCVD) method. It is notices that the thermal conductivity of the diamond film/aluminum nitride ceramic(DF/AlN) composite has reached 2.04 W/cm·K, 73%greater than that of AlN ceramic. Compared with the measurement of scanning electron microscopy(SEM) and Raman spectroscopy, the influence of diamond films on the thermal conductivity of the composites was pointed out. The adhesion and the stresses of diamond films were also studied. The unusual stability and very good adhesion of diamond films on AlN ceramic substrates obtained are attributed to the formation of aluminum carbide. 展开更多
关键词 diamond film aluminum nitride ceramic thermal conductivity
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Boron nitride microribbons strengthened and toughened alumina composite ceramics with excellent mechanical,dielectric,and thermal conductivity properties
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作者 Jilin Wang Dongping Lu +8 位作者 Weiping Xuan Yuchun Ji Ruiqi Chen Shaofei Li Wenbiao Li Wenzhuo Chen Shilin Tang Guoyuan Zheng Fei Long 《Journal of Advanced Ceramics》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第4期496-506,共11页
Aluminum oxide(Al_(2)O_(3))ceramics have been widely utilized as circuit substrates owing to their exceptional performance.In this study,boron nitride microribbon(BNMR)/Al_(2)O_(3)composite ceramics are prepared using... Aluminum oxide(Al_(2)O_(3))ceramics have been widely utilized as circuit substrates owing to their exceptional performance.In this study,boron nitride microribbon(BNMR)/Al_(2)O_(3)composite ceramics are prepared using spark plasma sintering(SPS).This study examines the effect of varying the amount of toughened phase BNMR on the density,mechanical properties,dielectric constant,and thermal conductivity of BNMR/Al_(2)O_(3)composite ceramics while also exploring the mechanisms behind the toughening and increased thermal conductivity of the fabricated ceramics.The results showed that for a BNMR content of 5 wt%,BNMR/Al_(2)O_(3)composite ceramics displayed more enhanced characteristics than pure Al_(2)O_(3)ceramics.In particular,the relative density,hardness,fracture toughness,and bending strength were 99.95%±0.025%,34.11±1.5 GPa,5.42±0.21 MPa·m^(1/2),and 375±2.5 MPa,respectively.These values represent increases of 0.76%,70%,35%,and 25%,respectively,compared with the corresponding values for pure Al_(2)O_(3)ceramics.Furthermore,during the SPS process,BNMRs are subjected to high temperatures and pressures,resulting in the bending and deformation of the Al_(2)O_(3)matrix;this leads to the formation of special thermal pathways within it.The dielectric constant of the composite ceramics decreased by 25.6%,whereas the thermal conductivity increased by 45.6%compared with that of the pure Al_(2)O_(3)ceramics.The results of this study provide valuable insights into ways of enhancing the performance of Al_(2)O_(3)-based ceramic substrates by incorporating novel BNMRs as a second phase.These improvements are significant for potential applications in circuit substrates and related fields that require high-performance materials with improved mechanical properties and thermal conductivities. 展开更多
关键词 boron nitride microribbons/aluminum oxide(BNMRs/Al_(2)O_(3))composite ceramics boron nitride microribbon(BNMR) spark plasma sintering(SPS) strengthening and toughening thermal conductivity
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氮化铝陶瓷研究和发展 被引量:61
3
作者 秦明礼 曲选辉 +3 位作者 林健凉 肖平安 祝宝军 汤春峰 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期8-12,共5页
从氮化铝陶瓷的制备工艺 ,即粉末的合成、成形、烧结 3个方面详细介绍了氮化铝陶瓷的研究状况 。
关键词 氮化铝陶瓷 高热导率 制备工艺
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氮化铝粉末特性对氮化铝-氮化硼复合陶瓷结构和性能的影响 被引量:4
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作者 秦明礼 杜学丽 +2 位作者 孙伟 李帅 曲选辉 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期332-336,共5页
以比表面积为4.26m2/g、氧含量(质量分数,下同)为0.98%和比表面积为17.4m2/g、氧含量为1.69%的2种AlN粉末为原料,用无压烧结工艺制备氮化铝-氮化硼(AlN-15BN,BN为15%)复合陶瓷,研究了AlN粉末对复合陶瓷显微结构和性能的影响。结果表明:... 以比表面积为4.26m2/g、氧含量(质量分数,下同)为0.98%和比表面积为17.4m2/g、氧含量为1.69%的2种AlN粉末为原料,用无压烧结工艺制备氮化铝-氮化硼(AlN-15BN,BN为15%)复合陶瓷,研究了AlN粉末对复合陶瓷显微结构和性能的影响。结果表明:AlN粉末对复合陶瓷的致密化过程以及陶瓷的性能有重要影响。由于高比表面积AlN粉末的烧结活性好,AlN-15BN复合陶瓷的烧结致密化温度主要集中在1500~1650℃之间。在1650℃烧结3h后,AlN-15BN复合陶瓷的相对密度可达95.6%,热导率为108.4W/(m.K),硬度HRA为72。继续升高烧结温度,AlN-15BN复合陶瓷的致密度变化不大,热导率升高,硬度下降。在1850℃烧结后,AlN-15BN复合陶瓷的热导率为132.6W/(m.K),Rockwell硬度(HRA)为64.2。低比表面积的AlN粉末所制备的AlN-15BN复合陶瓷的致密化过程主要发生在1650~1800℃间。在1850℃烧结3h,制备出AlN-15BN复合陶瓷的相对密度为86.4%,热导率为104.2W/(m.K),HRA为56.2。 展开更多
关键词 氮化铝—氮化硼复合陶瓷 热导率 致密化 显微结构
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添加Sm_2O_3的AlN陶瓷的显微结构和导热性能 被引量:4
5
作者 许昕睿 庄汉锐 +2 位作者 徐素英 李文兰 邬凤英 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期313-317,共5页
以自蔓延高温合成方法(SHS)制备的并经抗水化处理的AlN粉体为原料,研究了埋粉条件对添加 Sm2O3的AlN陶瓷显微结构和导热性能的影响.结果表明,在不加埋粉烧结条件下试祥周围的还原性气氛增强有助于形成较高Sm/A... 以自蔓延高温合成方法(SHS)制备的并经抗水化处理的AlN粉体为原料,研究了埋粉条件对添加 Sm2O3的AlN陶瓷显微结构和导热性能的影响.结果表明,在不加埋粉烧结条件下试祥周围的还原性气氛增强有助于形成较高Sm/Al比的晶界相,不加埋粉有利于晶界相的排出这些因素均有助于提高AlN陶瓷的热导率不加埋粉在 展开更多
关键词 埋粉条件 显微结构 热导率 导热性能 氮化铝陶瓷 氧化钐
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AlN陶瓷中的晶界第二相 被引量:4
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作者 徐洁 沈爱国 +1 位作者 丘泰 李远强 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第1期1-6,共6页
晶界第二相是AIN陶瓷显微结构的重要组成部分,对AIN陶瓷的热导率有重大的影响。本工作研究了以Y_2O_3为烧结助剂的无压烧结AIN陶瓷中,晶界第二相的组成、含量及其分布,结果表明:晶界第二相的组成主要取决于配料中的... 晶界第二相是AIN陶瓷显微结构的重要组成部分,对AIN陶瓷的热导率有重大的影响。本工作研究了以Y_2O_3为烧结助剂的无压烧结AIN陶瓷中,晶界第二相的组成、含量及其分布,结果表明:晶界第二相的组成主要取决于配料中的Y_2O_3/Al_2O_3比值,同时也受工艺因素影响;随着Y_2O_3加入量增多,晶界第二相含量呈线性增加,其分布也变成从三个晶粒连接处延伸到所有晶界。还讨论了晶界第二相对热导率的影响。认为只要AIN晶格完整无缺,AIN相保持连通,即使存在少量的Y_4Al_2O_9和/或Y_2O_3第二相材料,预期仍可获得高的热导率。 展开更多
关键词 晶界 第二相 氮化铝陶瓷 陶瓷 相结构
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烧成制度对AlN陶瓷性能及显微结构的影响 被引量:3
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作者 姚义俊 万韬瑜 +2 位作者 刘斌 张乐彬 李军 《耐火材料》 CAS 北大核心 2014年第6期417-420,共4页
为了制备结构致密的AlN陶瓷,在AlN粉末中加入2%(w)的Y2 O3,经细磨、造粒、成型烘干后,在热压炉内于氮气气氛中1800~1950℃分别保温1~4 h无压烧结制得AlN陶瓷,并研究了烧成温度和保温时间对AlN陶瓷致密度、导热性及显微结构的... 为了制备结构致密的AlN陶瓷,在AlN粉末中加入2%(w)的Y2 O3,经细磨、造粒、成型烘干后,在热压炉内于氮气气氛中1800~1950℃分别保温1~4 h无压烧结制得AlN陶瓷,并研究了烧成温度和保温时间对AlN陶瓷致密度、导热性及显微结构的影响。结果表明:随着烧成温度的提高和保温时间的延长,添加Y2 O3的AlN陶瓷的晶粒趋于均匀,显气孔率下降,致密化程度提高;当烧成温度为1850℃,保温时间达到2 h时,AlN陶瓷的相对密度达到99.8%,热导率达到94.8 W·(m·K)-1。 展开更多
关键词 ALN陶瓷 氧化钇 烧成制度 保温时间 致密度 热导率
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氮化铝陶瓷低温热导率的实验研究 被引量:2
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作者 饶荣水 庄汉锐 +1 位作者 蔡咏虹 王惠龄 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期41-45,共5页
根据轴向稳态热流法原理 ,实验研究了 Al N陶瓷的低温热导率 ,为高温超导制冷机直接冷却提供了必要的实验数据。 Al N的热导率在 30~ 170 K之间 ,随温度的升高而增大 ,在 10 0 K时达到 5 8.36 W/ (m· K)。根据平均自由程理论 ,对... 根据轴向稳态热流法原理 ,实验研究了 Al N陶瓷的低温热导率 ,为高温超导制冷机直接冷却提供了必要的实验数据。 Al N的热导率在 30~ 170 K之间 ,随温度的升高而增大 ,在 10 0 K时达到 5 8.36 W/ (m· K)。根据平均自由程理论 ,对影响氮化铝陶瓷热导率的微观因素进行了分析 ,影响本次测试氮化铝样品低温热导率的主要因素为声子与缺陷之间的散射。 展开更多
关键词 氮化铝陶瓷 低温热导率 高温超导制冷机 声子 散射 超导磁体 冷却
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氮化铝的室温热导率 被引量:1
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作者 施锦行 《中国陶瓷》 CAS CSCD 北大核心 1995年第5期20-21,共2页
本文导出了氮化铝室温热导率的一般表达式,对提高氮化铝陶瓷材料室温热导率的途径作了讨论。
关键词 陶瓷材料 氮化铝 热导率 室温
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氮化铝陶瓷及其金属化工艺 被引量:1
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作者 高陇桥 《真空电子技术》 北大核心 1992年第4期23-27,54,共6页
本文综述了最近几年来 A1N 陶瓷的发展动态,介绍了国内外有关 A1N 陶瓷的金属化工艺,指出了A1N 陶瓷进一步发展和实用化所必须注意以及要解决的几个技术关键问题。
关键词 氮化铝 陶瓷 金属化
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微波烧结制备ZrO_(2)-AlN复合陶瓷的微观结构与性能研究 被引量:3
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作者 牟庭海 许文涛 +3 位作者 凌军荣 董天文 秦梓轩 周有福 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第11期1231-1236,共6页
氧化锆(ZrO_(2))陶瓷具有出色的机械性能,但其应用受到低热导率(Thermal Conductivity,TC)的限制。本研究设计并通过微波烧结制备了高热导率氧化锆-氮化铝(AlN)复合陶瓷,优化制备条件后,抑制了两种物质之间的反应,获得了致密的复合陶瓷... 氧化锆(ZrO_(2))陶瓷具有出色的机械性能,但其应用受到低热导率(Thermal Conductivity,TC)的限制。本研究设计并通过微波烧结制备了高热导率氧化锆-氮化铝(AlN)复合陶瓷,优化制备条件后,抑制了两种物质之间的反应,获得了致密的复合陶瓷(相对密度>99%),详细研究了该复合陶瓷的组织演变、热学性能和力学性能。研究结果表明,随着AlN含量的增加,复合陶瓷的室温下热导率、热扩散系数和热容增加,分别达到41.3 W/(m·K)、15.2 mm^(2)/s和0.6 J/(g·K)。这种具有高热导率和抗热震性的ZrO_(2)-AlN复合复合陶瓷在能源系统的高温热交换材料领域具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 氧化锆 氮化铝 复合陶瓷 微波烧结 热导率
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用于Ka波段输能窗的AlN窗片及封接技术研究 被引量:2
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作者 杨艳玲 鲁燕萍 王松 《真空电子技术》 2019年第5期58-61,共4页
本文研制了高导热低损耗的AlN陶瓷,制备的AlN陶瓷介电常数8.4,损耗角正切5×10^-4,常温热导率为186W/(m·K);同时研制出了热导率为192W/(m·K)的氮化铝陶瓷。完成了AlN的陶瓷金属封接工艺,封接件抗拉强度大于78MPa,制备了Al... 本文研制了高导热低损耗的AlN陶瓷,制备的AlN陶瓷介电常数8.4,损耗角正切5×10^-4,常温热导率为186W/(m·K);同时研制出了热导率为192W/(m·K)的氮化铝陶瓷。完成了AlN的陶瓷金属封接工艺,封接件抗拉强度大于78MPa,制备了AlN陶瓷输能窗,钎焊后的AlN陶瓷金属封接件及输能窗检漏结果均气密,氦漏率小于1×10^-11Pa·m^3/s。本文研制的AlN陶瓷及封接工艺不但满足输能窗用介质材料的性能要求,还可以应用于微波管收集极及夹持杆等方面。 展开更多
关键词 ALN陶瓷 输能窗 介电性能 热导率
全文增补中
功率电子器件用AlN陶瓷基板的研制 被引量:3
13
作者 崔嵩 黄岸兵 张浩 《真空电子技术》 2002年第3期60-63,共4页
阐述了AlN陶瓷的烧结原理 ,分析了烧结工艺参数对大面积AlN基板性能的影响 ,成功研制出了高热导率(190W /m·K)、大面积 (14 0mm× 90mm)、翘曲度为 2 0 μm/5 0mm的AlN陶瓷基板。
关键词 氮化铝陶瓷 烧结 平整性 热导率
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金刚石增强石墨膜/铝复合材料构型设计及其导热性能
14
作者 张清云 黄焌晨 +5 位作者 杨兵 吕峥 欧云 唐思文 宋典 刘骞 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期4344-4352,共9页
针对石墨膜/铝复合材料纵向导热能力不足的缺点,本文采用高导热金刚石穿透铝层,连接上下两层石墨膜,成功在石墨膜/铝复合材料内部构建了导热通道,为复合材料提供纵向导热路径,从而有效提高复合材料纵向热传导效率。为了改善金刚石与铝... 针对石墨膜/铝复合材料纵向导热能力不足的缺点,本文采用高导热金刚石穿透铝层,连接上下两层石墨膜,成功在石墨膜/铝复合材料内部构建了导热通道,为复合材料提供纵向导热路径,从而有效提高复合材料纵向热传导效率。为了改善金刚石与铝基的界面结合,使用物理气相沉积(PVD)技术对金刚石表面进行镀钨处理,随后采用快速热压烧结法(FHP)制备金刚石增强石墨膜/铝复合材料。研究了界面结合质量和金刚石体积分数对复合材料热导率性能的影响。研究表明:当镀钨金刚石体积分数为10vol%,复合材料面内热导率达到峰值658 W/(m·K),相较于未镀金刚石增强复合材料提升了7%。当镀钨金刚石体积分数超过10vol%时,复合材料面内热导率呈现下降趋势。对于镀钨金刚石高体积分数(30vol%)的复合材料而言,其面内热导率降低至535 W/(m·K)。然而,随着金刚石体积分数的增加,复合材料内部导热通道数量增加,纵向热导率达到最高值177 W/(m·K),相较于未镀金刚石增强复合材料提升了34%。结果表明通过在石墨膜/铝之间引入金刚石导热通道,可有效提高复合材料的纵向导热能力。 展开更多
关键词 铝复合材料 石墨膜 金刚石 导热通道 界面改性 快速热压烧结 热导率
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热处理对AlN陶瓷的热导率及介电性能的影响 被引量:5
15
作者 何秀兰 施磊 +2 位作者 巩庆东 郭英奎 叶枫 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期1186-1191,共6页
采用放电等离子烧结技术制备Al N陶瓷,并利用真空无压烧结方法进行热处理。研究了不同烧结助剂在高温热处理过程中对Al N陶瓷的物相组成、显微结构、导热性能及介电性能的影响。结果表明,Al N陶瓷经过热处理后,Al N晶粒进一步发育长大,... 采用放电等离子烧结技术制备Al N陶瓷,并利用真空无压烧结方法进行热处理。研究了不同烧结助剂在高温热处理过程中对Al N陶瓷的物相组成、显微结构、导热性能及介电性能的影响。结果表明,Al N陶瓷经过热处理后,Al N晶粒进一步发育长大,尽可能实现面接触,材料中的晶间相分布更加合理。与只引入单一稀土氧化物为烧结助剂的Al N陶瓷相比,引入复合烧结助剂稀土氧化物及氟化钙(Ca F2)的Al N陶瓷经过热处理后,在有效除氧及生成具有挥发性晶间相双重效果作用下,材料热导率及介电损耗改善效果明显。 展开更多
关键词 热处理 氮化铝陶瓷 热导率 介电性能
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导电颗粒Mo对AlN/Mo复合陶瓷性能的影响 被引量:8
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作者 于红 杨志民 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期378-382,共5页
以氮化铝、钼为原料,CaF2为烧结助剂,在氮气气氛下,采用无压烧结方式制备了致密度高于98%的AlN/Mo复合微波衰减陶瓷。采用XRD,FESEM,网络分析仪及激光导热仪对样品的微观结构、介电性能及热导率进行测试分析。结果表明:样品的致密度随... 以氮化铝、钼为原料,CaF2为烧结助剂,在氮气气氛下,采用无压烧结方式制备了致密度高于98%的AlN/Mo复合微波衰减陶瓷。采用XRD,FESEM,网络分析仪及激光导热仪对样品的微观结构、介电性能及热导率进行测试分析。结果表明:样品的致密度随着Mo含量的增加逐渐增大。电阻率的变化符合渗流理论,渗流阈值在Mo含量为23%附近。介电常数和介电损耗均随着Mo含量的增加而增加。复合陶瓷的热导率受致密度和Mo含量两个因素的影响,当致密度低于某临界值时,热导率随着致密度的增加而增加;当致密度超过临界值后,复合陶瓷的热导率主要受Mo含量的影响,随着Mo含量的增加,热导率逐渐减小。在烧结温度为1720℃时,Mo含量为5%的复合陶瓷的热导率为114.6 W.m-.1K-1。分析了复合陶瓷的显微结构与导热理论。 展开更多
关键词 微波衰减陶瓷 AlN/Mo 热导率
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Dy2O3–CaF2对AlN陶瓷制备、结构及性能的影响 被引量:1
17
作者 汪暾 谢建军 +5 位作者 戴圣洪 丁毛毛 王宇 施誉挺 周鼎 施鹰 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期760-765,共6页
以AlN粉体为原料,采用无压烧结,选取二元烧结助剂Dy2O3–CaF2在1 800℃氮气气氛下烧结AlN陶瓷,利用Archimedes排水法、X射线衍射、扫描电子显微镜、激光导热分析仪和万能材料试验机对烧结的AlN陶瓷的密度、热性能和力学性能进行了测试,... 以AlN粉体为原料,采用无压烧结,选取二元烧结助剂Dy2O3–CaF2在1 800℃氮气气氛下烧结AlN陶瓷,利用Archimedes排水法、X射线衍射、扫描电子显微镜、激光导热分析仪和万能材料试验机对烧结的AlN陶瓷的密度、热性能和力学性能进行了测试,并对AlN陶瓷的物相变化和微观结构进行了表征。结果表明:添加二元烧结助剂Dy2O3–CaF2可以有效促进AlN陶瓷致密化以及晶粒的生长发育,降低AlN陶瓷的烧结温度,改善AlN陶瓷的导热性能。当添加2.5%(质量分数)Dy2O3+1.5%(质量分数)CaF2在1 800℃氮气气氛下常压烧结2 h时,制备出了晶粒发育良好、结晶良好,相对密度99.6%,热导率169 W/(m·K),同时具有较高的机械强度的AlN陶瓷。 展开更多
关键词 氮化铝陶瓷 烧结助剂 热导率 无压烧结
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连续制备柔性导热的氮化铝/芳纶纳米纤维复合薄膜 被引量:2
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作者 曾繁展 陈宪宏 王建锋 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期3043-3051,共9页
设计制备柔性导热材料对柔性电子器件的热管理具有重要意义。本文基于溶剂剥离的芳纶纳米纤维和氮化铝(AlN)纳米颗粒,采用溶胶-凝胶-薄膜转换方法,连续制备了柔性导热的AlN/芳纶纳米纤维复合薄膜材料。其中,芳纶纳米纤维形成了三维连通... 设计制备柔性导热材料对柔性电子器件的热管理具有重要意义。本文基于溶剂剥离的芳纶纳米纤维和氮化铝(AlN)纳米颗粒,采用溶胶-凝胶-薄膜转换方法,连续制备了柔性导热的AlN/芳纶纳米纤维复合薄膜材料。其中,芳纶纳米纤维形成了三维连通的网络结构,提供力学支撑作用;AlN颗粒填充在该网络结构中,赋予复合材料良好的导热性能。结果显示,该复合材料的拉伸强度为65.5 MPa,断裂应变为12%,反复折叠300次后其拉伸强度和断裂应变保持率在90%以上,导热率为13.98 W·(m·K)^−1。此外,该复合薄膜显示出良好的绝缘性能和耐热性能,体积电阻率为1.85×10^15Ω·cm、起始热分解温度为524℃。最后,演示该高性能的AlN/芳纶纳米纤维复合薄膜作为柔性基底材料,可用于冷却电子器件。 展开更多
关键词 芳纶纳米纤维 氮化铝 复合薄膜 力学性能 热导率
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