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差动式电容加速度传感器 被引量:3
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作者 栾云 唐旭晖 +1 位作者 吴朝霞 李志全 《传感器技术》 CSCD 1997年第6期21-24,共4页
对差动式电容加速度传感器的工作原理和误差来源进行了分析和讨论,为设计制造此种加速度传感器提供了理论依据.
关键词 差动 加速度传感器 电容器 加速度计
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