半导体扩散炉组监控软件的通讯模块设计

本文以微型计算机在半导体扩散炉控制中的应用为例,对上位机监控软件的通讯和组成模块进行了探讨,并使之能与半导体扩散炉组实现高效、可靠通讯。文中给出了相应的软件流程。