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Mechanism and development of dip-pen nanolithography(DPN) 被引量:1
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作者 Jiang Hongkui Lu Shuang 《Engineering Sciences》 EI 2008年第3期45-51,75,共8页
Dip-pen nanolithography is a new scanning probe lithography (SPL) technique based on atomic force microscopy (AFM), and now has made a great progress. The process of dip-pen lithography involves the adsorption of ink ... Dip-pen nanolithography is a new scanning probe lithography (SPL) technique based on atomic force microscopy (AFM), and now has made a great progress. The process of dip-pen lithography involves the adsorption of ink molecules on AFM tip, the formation of water meniscus, the transport of ink molecules, and diffusion of ink molecules on the substrate. More factors such as temperature, humidity, tip, scanning speed and so on will influence the process of dip-pen lithography. The paper analyzes in detail the mechanism of this technique, introduces synthetically the latest development, including electrochemical DPN, more-mode DPN, multiple DPN, multi-probe array DPN and so on. Finally, the paper describes the characteristics and the application of DPN. 展开更多
关键词 dip-pen nanolithography atomic force microscopy nanofabrication
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Material transport in dip-pen nanolithography 被引量:2
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作者 Keith A. Brown Daniel J. Eichelsdoerfer +2 位作者 Xing Liao Shu He Chad A. Mirkin 《Frontiers of physics》 SCIE CSCD 2014年第3期385-397,共13页
Dip-pen na.nolithography (DPN) is a useful method for directly printing materials on surfaces with sub-50nm resolution. Because it, involves the physical transport of materials from a scanning probe tip to a surface... Dip-pen na.nolithography (DPN) is a useful method for directly printing materials on surfaces with sub-50nm resolution. Because it, involves the physical transport of materials from a scanning probe tip to a surface and the subsequent chemical interaction of that material with the surface, there are many factors to consider when attempting to understand DPN. In this review, we overview the physical and chemical processes that are known to play a role in DPN, Through a detailed review of the literature, we classify inks into three general categories based on their transport properties, and highlight the myriad ways that. DPN can be used to perform chemistry at the tip of a scanning probe. 展开更多
关键词 dip-pen nanolithography scanning probe lithography materials transport
原文传递
Dip-Pen Nanolithography(DPN): from Micro/Nano-patterns to Biosensing
3
作者 LI Haonan WANG Zhao +1 位作者 HUO Fengwei WANG Shutao 《Chemical Research in Chinese Universities》 SCIE CAS CSCD 2021年第4期846-854,共9页
Dip-pen nanolithography is an emerging and attractive surface modification technique that has the capacity to directly and controllably write micro/nano-array patterns on diverse substrates.The superior throughput,res... Dip-pen nanolithography is an emerging and attractive surface modification technique that has the capacity to directly and controllably write micro/nano-array patterns on diverse substrates.The superior throughput,resolution,and registration enable DPN an outstanding candidate for biological detection from the molecular level to the cellular level.Herein,we overview the technological evolution of DPN in terms of its advanced derivatives and DPN-enabled versatile sensing patterns featuring multiple compositions and structures for biosensing.Benefitting from uniform,reproducible,and large-area array patterns,DPN-based biosensors have shown high sensitivity,excellent selectivity,and fast response in target analyte detection and specific cellular recognition.We anticipate that DPN-based technologies could offer great potential opportunities to fabricate multiplexed,programmable,and commercial array-based sensing biochips. 展开更多
关键词 dip-pen nanolithography Micro/nano-array pattern BIOSENSING
原文传递
Dip-pen刻蚀技术直接构建聚-L-赖氨酸纳米结构 被引量:4
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作者 周化岚 魏刚 +3 位作者 刘志国 王丽 宋永海 李壮 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期757-759,共3页
Dip-pen nanolithography(DPN) has been developed to pattern monolayer film of various molecules in submicrometer dimensions through the controlled movement of ink-coated atomic force microscopy(AFM) tip on a desired su... Dip-pen nanolithography(DPN) has been developed to pattern monolayer film of various molecules in submicrometer dimensions through the controlled movement of ink-coated atomic force microscopy(AFM) tip on a desired substrate, which makes DPN a potentially powerful tool for making the functional nanoscale devices. In this letter, using direct-write dip-pen nanolithography to generate nanoscale patterns of poly-L-lysine on mica was described. Poly-L-lysine molecules can anchor themselves to the mica surface through electrostatic interaction force, so stable poly-L-lysine patterns, such as square, line, circle and cross, could be obtained on freshly cleaved mica surface. From AFM image of the patterned poly-L-lysine nanostructures on mica, we know that poly-L-lysine was flatly bound to the mica surface. These oriented patterns of poly-L-lysine on mica can provide the prospect of building functional nanodevices and offer new options for this technique in a variety of other significant biomolecules. 展开更多
关键词 dip-pen刻蚀技术 聚-L-赖氨酸 纳米结构
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Dip-pen刻蚀技术直接制造蛋白质纳米阵列 被引量:4
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作者 魏莉 洪霞 +2 位作者 郭薇 白玉白 李铁津 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第7期1386-1388,共3页
This paper covers the first application of Dip Pen Nanolithography(DPN) to directly write protein patterns with submicrometer dimensions onto Au substrate. Using Bovine Serum Albumin(BSA) as the ink in the DPN procedu... This paper covers the first application of Dip Pen Nanolithography(DPN) to directly write protein patterns with submicrometer dimensions onto Au substrate. Using Bovine Serum Albumin(BSA) as the ink in the DPN procedure, we were able to utilize lateral force microscopy(LFM) images to differentiate between Au substrate and patterned area with deposited monolayers of BSA. Then the first evidence for Au_S bonding was reported between the gold substrate and the BSA surface thiol groups given by the angle resolved XPS measurements. 展开更多
关键词 纳米阵列 dip-pen纳米刻蚀 协同作用力 蛋白质 生物芯片 金属氧化物
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Advance of Nanolithography, its Applications and ProspectsAdvance of Nanolithography, its Applications and Prospects
6
作者 CHEN Yi-fang 《纳米科技》 2009年第5期3-10,共8页
关键词 印刷技术 纳米制造技术 光子超材料 光刻技术
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Advance of Nanolithography, its Applications and Prospects
7
作者 CHEN Yi-fang 《纳米科技》 2009年第4期3-10,共8页
关键词 纳米材料 纳米技术 实验 移率晶体管
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3D printed fiber-optic nanomechanical bioprobe 被引量:5
8
作者 Mengqiang Zou Changrui Liao +17 位作者 Yanping Chen Lei Xu Shuo Tang Gaixia Xu Ke Ma Jiangtao Zhou Zhihao Cai Bozhe Li Cong Zhao Zhourui Xu Yuanyuan Shen Shen Liu Ying Wang Zongsong Gan Hao Wang Xuming Zhang Sandor Kasas Yiping Wang 《International Journal of Extreme Manufacturing》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第1期222-234,共13页
Ultrasensitive nanomechanical instruments,e.g.atomic force microscopy(AFM),can be used to perform delicate biomechanical measurements and reveal the complex mechanical environment of biological processes.However,these... Ultrasensitive nanomechanical instruments,e.g.atomic force microscopy(AFM),can be used to perform delicate biomechanical measurements and reveal the complex mechanical environment of biological processes.However,these instruments are limited because of their size and complex feedback system.In this study,we demonstrate a miniature fiber optical nanomechanical probe(FONP)that can be used to detect the mechanical properties of single cells and in vivo tissue measurements.A FONP that can operate in air and in liquids was developed by programming a microcantilever probe on the end face of a single-mode fiber using femtosecond laser two-photon polymerization nanolithography.To realize stiffness matching of the FONP and sample,a strategy of customizing the microcantilever’s spring constant according to the sample was proposed based on structure-correlated mechanics.As a proof-of concept,three FONPs with spring constants varying from 0.421 N m^(−1)to 52.6 N m^(−1)by more than two orders of magnitude were prepared.The highest microforce sensitivity was 54.5 nmμN^(−1)and the detection limit was 2.1 nN.The Young’s modulus of heterogeneous soft materials,such as polydimethylsiloxane,muscle tissue of living mice,onion cells,and MCF-7 cells,were successfully measured,which validating the broad applicability of this method.Our strategy provides a universal protocol for directly programming fiber-optic AFMs.Moreover,this method has no special requirements for the size and shape of living biological samples,which is infeasible when using commercial AFMs.FONP has made substantial progress in realizing basic biological discoveries,which may create new biomedical applications that cannot be realized by current AFMs. 展开更多
关键词 two-photon polymerization nanolithography optical fiber sensor nanomechanical probe stiffness tunable microcantilever BIOSENSOR
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菲涅尔衍射光刻
9
作者 蒋忠君 何伟 +4 位作者 陈经纬 罗丹洋 杨帆 蒋凯 王亮 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期115-122,共8页
通过合理选取等间距采样点的数目,利用快速傅里叶变换算法解释了有限通光光阑产生的“内密外疏”菲涅尔衍射条纹.基于菲涅尔衍射,在静态曝光、动态扫描条件下分别实现了约190 nm最小特征尺寸图形制备,以及约350 nm线宽线条直写.菲涅尔... 通过合理选取等间距采样点的数目,利用快速傅里叶变换算法解释了有限通光光阑产生的“内密外疏”菲涅尔衍射条纹.基于菲涅尔衍射,在静态曝光、动态扫描条件下分别实现了约190 nm最小特征尺寸图形制备,以及约350 nm线宽线条直写.菲涅尔衍射光刻无需复杂的光学透镜组合,无需任何微纳衍射光学元件,且具有较大的聚焦容差.该方法有望成为一种新型的,低成本、高灵活度的亚波长图形制备手段. 展开更多
关键词 菲涅尔衍射 扩束系统 纳米光刻 直写光刻
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激光干涉光刻法制作100nm掩模 被引量:8
10
作者 陈欣 赵青 +2 位作者 方亮 王长涛 罗先刚 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期806-810,共5页
介绍了一种利用激光干涉光刻技术得到特征图形,并通过离子束刻蚀将图形转移到铬层上,从而获得掩模的方法。针对掩模透光率以及对干涉图形对比度可能产生影响的两个参数分别进行了数值仿真,从而证明此方法的可行性和参数的优化选择。自... 介绍了一种利用激光干涉光刻技术得到特征图形,并通过离子束刻蚀将图形转移到铬层上,从而获得掩模的方法。针对掩模透光率以及对干涉图形对比度可能产生影响的两个参数分别进行了数值仿真,从而证明此方法的可行性和参数的优化选择。自搭干涉光刻实验系统,用257 nm的激光光源实现光刻,得到特征尺寸为100 nm的图形,再经过离子束刻蚀,最终得到周期200 nm、线宽100 nm的掩模。 展开更多
关键词 激光干涉光刻 离子束刻蚀 纳米光刻 微纳结构制造
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扫描探针显微术在巯醇自组装单分子膜纳米刻蚀中的应用 被引量:5
11
作者 赵健伟 阚蓉蓉 +1 位作者 章岩 陈洪渊 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第1期124-130,共7页
介绍了近十年来扫描探针显微术(SPM)在巯醇自组装单分子膜纳米刻蚀中的应用.依据扫描探针的工作原理,依次讨论了扫描隧道显微镜、原子力显微镜和导电原子力显微镜的工作特点和适用范围.同时也讨论了自组装单分子膜纳米刻蚀术在生物分子... 介绍了近十年来扫描探针显微术(SPM)在巯醇自组装单分子膜纳米刻蚀中的应用.依据扫描探针的工作原理,依次讨论了扫描隧道显微镜、原子力显微镜和导电原子力显微镜的工作特点和适用范围.同时也讨论了自组装单分子膜纳米刻蚀术在生物分子传感器、超高密度信息存储等领域的应用前景. 展开更多
关键词 扫描探针显微术 自组装膜 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 纳米刻蚀
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扫描探针加工技术的新进展及扫描等离子体加工技术的研究 被引量:5
12
作者 王海 褚家如 赵钢 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期177-180,185,共5页
扫描探针加工技术作为一种无掩模微细加工手段以其所需设备简单和加工精度高达纳米量级等优点 ,近年来受到广泛的重视和研究。但目前扫描探针加工技术存在加工效率低、可重复性差、可加工材料非常有限等缺点。采用探针阵列并结合其他加... 扫描探针加工技术作为一种无掩模微细加工手段以其所需设备简单和加工精度高达纳米量级等优点 ,近年来受到广泛的重视和研究。但目前扫描探针加工技术存在加工效率低、可重复性差、可加工材料非常有限等缺点。采用探针阵列并结合其他加工技术的并行工艺 ,可以提高加工效率 ,拓展应用范围。本文以纳米喷流加工和蘸水笔纳米加工为例介绍了扫描探针加工技术这一方面的最新进展 ,阐述了它们各自的基本原理和特点。最后 ,提出了一种基于并行探针驱动的扫描等离子体加工技术 ,结合了扫描探针加工精度高和等离子体加工适用材料广泛的优点 ,为小批量多品种微系统和纳米器件的加工探索出一种新方法。 展开更多
关键词 微电子技术 扫描探针加工技术 扫描等离子体加工技术 蘸水笔纳米加工 纳米喷流加工
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扫描探针刻蚀技术可控构建牛血清白蛋白纳米结构 被引量:2
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作者 周化岚 施文健 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期884-887,共4页
利用Dip-pen纳米刻蚀技术(简称DPN技术)在云母基底上构建出形状、尺寸可控的牛血清白蛋白(BSA)纳米结构。考察了针尖接触基底时间及针尖下行距离对构建的牛血清白蛋白纳米结构的影响。较长的针尖-基底接触时间及较深的下行距离可以沉积... 利用Dip-pen纳米刻蚀技术(简称DPN技术)在云母基底上构建出形状、尺寸可控的牛血清白蛋白(BSA)纳米结构。考察了针尖接触基底时间及针尖下行距离对构建的牛血清白蛋白纳米结构的影响。较长的针尖-基底接触时间及较深的下行距离可以沉积更多的牛血清白蛋白分子,构建牛血清白蛋白纳米结构的形状除了与墨水分子的本身性能有关,还与墨水-基底的相互作用有关。这些形状及尺寸可控的蛋白质纳米结构可以作为模板,进行金属、半导体等其它材料的组装,有望用于制造光电纳米器件及生物纳米器件。 展开更多
关键词 纳米结构 牛血清白蛋白 扫描探针刻蚀技术 纳米器件
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基于表面等离子体的微纳光刻技术 被引量:1
14
作者 杨勇 胡松 +6 位作者 姚汉民 严伟 赵立新 周绍林 陈旺富 蒋文波 李展 《微纳电子技术》 CAS 2008年第12期716-719,728,共5页
首先介绍了光刻技术的发展及其面临的挑战。随着纳米加工技术的发展,纳米结构器件必将成为未来集成电路的基础,而纳米光刻技术是纳米结构制作的基础,基于表面等离子体的纳米光刻作为一种新兴技术有望突破45nm节点从而极大提高光刻的分... 首先介绍了光刻技术的发展及其面临的挑战。随着纳米加工技术的发展,纳米结构器件必将成为未来集成电路的基础,而纳米光刻技术是纳米结构制作的基础,基于表面等离子体的纳米光刻作为一种新兴技术有望突破45nm节点从而极大提高光刻的分辨力。介绍了表面等离子体的特性,对表面等离子体(SPs)在光刻中的应用作了回顾和分析,指出在现有的利用表面等离子体进行纳米光刻的实验装置中,或采用单层膜的超透镜(Superlens),或采用多层膜的Super-lens,但都面临着如何克服近场光刻这一难题;结合作者现有课题分析了表面等离子体光刻的发展方向,认为结合多层膜的远场纳米光刻方法是表面等离子体光刻的发展方向。 展开更多
关键词 表面等离子体 纳米光刻 近场光刻 倏逝波 局域增强
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单电子器件 被引量:2
15
作者 顾宁 鲁武 +1 位作者 陆祖宏 沈浩瀛 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1994年第3期197-204,共8页
单电子器件作为新一代器件──量子效应器件中的重要一类,其研究工作已愈来愈被人们重视。本文对这一工作进行了较全面的回顾,同时也讨论了库仑抑制等基本效应,这是此类器件的设计基础。分析了制备单电子器件的关键技术,并简要介绍... 单电子器件作为新一代器件──量子效应器件中的重要一类,其研究工作已愈来愈被人们重视。本文对这一工作进行了较全面的回顾,同时也讨论了库仑抑制等基本效应,这是此类器件的设计基础。分析了制备单电子器件的关键技术,并简要介绍了器件的潜在应用前景及目前的研制动态。 展开更多
关键词 单电子器件 库仑抑制 量子效应器件
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微压印中抗蚀剂三维微流场可视化实验研究 被引量:1
16
作者 杜军 魏正英 +1 位作者 何威 耿麒 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期1871-1876,共6页
为了研究微纳米压印中抗蚀剂的填充行为,采用三维数字离焦微流场测速技术对抗蚀剂内分散的荧光示踪粒子进行粒子离焦图像采集.针对粒子离焦图像的特殊性,提出基于两帧离焦图像的三维粒子跟踪测速(3DPTV)算法.实现了对粒子三维运动轨迹... 为了研究微纳米压印中抗蚀剂的填充行为,采用三维数字离焦微流场测速技术对抗蚀剂内分散的荧光示踪粒子进行粒子离焦图像采集.针对粒子离焦图像的特殊性,提出基于两帧离焦图像的三维粒子跟踪测速(3DPTV)算法.实现了对粒子三维运动轨迹的追踪,构建示踪粒子三维速度场.基于计算流体动力学(CFD)方法建立微压印抗蚀剂填充行为数值计算模型,将可视化实验结果与数值计算结果进行对比,两者吻合较好,证明三维数字离焦微流场测速技术在构建抗蚀剂填充过程微流场中的有效性. 展开更多
关键词 微纳米压印 抗蚀剂 填充行为 数字离焦三维微流场测速技术
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纳米笔刻蚀技术构建小牛胸腺组蛋白纳米结构 被引量:2
17
作者 周化岚 施文健 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期614-616,共3页
采用纳米笔刻蚀(DPN)技术控制针尖的运行,成功地将小牛胸腺组蛋白传递到新剥离的云母表面,获得了不同尺寸、形状的小牛胸腺组蛋白纳米结构,同时考察了针尖移动速率、针尖-基底接触时间对DPN技术的影响。结果表明,较快的针尖移动速率和... 采用纳米笔刻蚀(DPN)技术控制针尖的运行,成功地将小牛胸腺组蛋白传递到新剥离的云母表面,获得了不同尺寸、形状的小牛胸腺组蛋白纳米结构,同时考察了针尖移动速率、针尖-基底接触时间对DPN技术的影响。结果表明,较快的针尖移动速率和较短的针尖-基底接触时间沉积较少的墨水分子,同时形成的纳米图案和墨水分子的本身性质也有关系。这种方法可以用于构建其他蛋白质分子,为生物纳米器件的合成提供更多机会,同时组蛋白纳米结构的构建也可以作为模板沉积其他分子,在蛋白质监测、生物传感器方面有着潜在的应用。 展开更多
关键词 纳米笔刻蚀技术 纳米结构 小牛胸腺组蛋白 原子力显微镜
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蘸水笔刻蚀技术(DPN)影响因素分析 被引量:3
18
作者 寿莎 《表面技术》 EI CAS CSCD 2007年第2期6-8,11,共4页
蘸水笔技术(Dip-Pen)是近年来发展起来的一种新的扫描探针刻蚀加工技术,有着广泛的应用前景。该技术是直接把弯曲形水层作为媒介来转移“墨汁”分子,在样品表面形成纳米结构。尖端曲率半径、针尖在基底表面滞留时间、针尖扫描速度、空... 蘸水笔技术(Dip-Pen)是近年来发展起来的一种新的扫描探针刻蚀加工技术,有着广泛的应用前景。该技术是直接把弯曲形水层作为媒介来转移“墨汁”分子,在样品表面形成纳米结构。尖端曲率半径、针尖在基底表面滞留时间、针尖扫描速度、空气湿度、表面粗糙度等均会影响纳米结构的线宽。针尖在基底表面滞留时间与圆半径的平方成一次函数关系,线宽随着尖端半径的增大而变宽,扫描速度与线宽成反比关系。通过控制湿度可以控制“墨水”分子的转移速度,从而影响纳米结构的线宽。线宽随着样品表面粗糙度增加而变宽。 展开更多
关键词 蘸水笔 原子力显微镜 纳米结构 刻蚀
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石墨表面扫描隧道显微镜纳米级加工研究 被引量:1
19
作者 蔡从中 王万录 +1 位作者 陈新镛 舒启清 《微细加工技术》 2001年第4期65-69,共5页
利用自制的扫描隧道显微镜 (STM ) ,进行了石墨表面的纳米级加工研究。在用STM对固体材料表面进行纳米级超微加工过程中 ,当探针 -试样间施加一高电压脉冲时 ,电子反馈回路将使探针急速回缩 ,导致实际有效电压脉冲宽度远小于所施加的电... 利用自制的扫描隧道显微镜 (STM ) ,进行了石墨表面的纳米级加工研究。在用STM对固体材料表面进行纳米级超微加工过程中 ,当探针 -试样间施加一高电压脉冲时 ,电子反馈回路将使探针急速回缩 ,导致实际有效电压脉冲宽度远小于所施加的电压脉冲宽度。我们专门设计了由计算机编程控制的瞬时“保持”功能 ,即在高电压脉冲作用过程中 ,使探针始终固定在原有位置 ,并保持原有探针 -试样间距不变。因而在进行固体材料表面纳米级超微加工时 ,可准确地测得有效电压脉冲宽度。通过在大气中对石墨表面的蚀刻研究 ,首次测得在电压脉冲幅值为 4V时 ,有效脉宽阈值为 ( 0 .0 4± 0 .0 1 ) μs。 展开更多
关键词 扫描隧道显微镜 微细加工 纳米加工
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电子束纳米分辨率光刻 被引量:1
20
作者 顾宁 鲁武 陆祖宏 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1994年第2期95-102,共8页
本文侧重分析电子束纳米光刻中的若干限制因素,包括电子光学系统中的象差、电子束与抗蚀剂的相互作用(散射与二次电子效应)、衬底条件等,并对已用于进行纳米分辨率电子束光刻中的一些方法进行了归纳,讨论了其应用前景.
关键词 电子束光刻 纳米光刻 纳米分辨率
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