一种干法刻蚀机的新型装载腔设计

为实现高效连续自动化生产,满足大规模工业化生产需求,研发设计了一种干法等离子体刻蚀机的新型装载腔,可实现3盘、6盘或更多盘数晶片的不间断连续自动化刻蚀,提高了生产效率。