干式涡旋真空泵的动平衡工艺与振动品质研究

针对干式涡旋真空泵的振动平衡问题,对其工作原理、机械动力学模型、渐开线型线的理论偏心等方面进行了分析。提出相应动平衡设计方法并对核心部件进行三维建模:其中包括动涡旋盘的质心调整,扇叶上下两个扇区厚度差异设计。通过Fluent对涡旋盘进行空气动力学的仿真,设计专用夹具及配重块并进行实验验证,以确定整套的平衡工艺方法。研究结果表明:整机动平衡精度可达0.2 g以下,振动数值由10降到1 mm/s左右,平均用时15 min,减振效果显著,生产效率得到极大提高。

干式涡旋真空泵用特种电机温度场仿真与实验

针对单相电源供电干式涡旋真空泵用特种电机温升过高经常烧毁的问题,对采用电子移相方式运行的新研发电机的温度场进行仿真计算和实验分析。以抽速为2 L/s的干式涡旋真空泵电机为例,利用有限元分析法建立其温度场计算的仿真模型,设置热源激励和散热边界条件,获得了新研发电机内部各个部件温度场分布特征;对研发的单相电源供电干式涡旋真空泵用特种电机进行温升实验,获得了从冷态起动到温升稳定过程中关键部件温度随时间变化特性曲线。温度场分析和实验结果表明,所研发电机温度分布合理,电机内最高温度点的温升尚有安全裕度,为新产品批量生产提供了科学依据。

涡旋真空泵型线设计

涡旋真空泵具有结构简单、密封性能好、极限真空高 (≤ 5× 10 - 1 Pa)和不易仿制等优点 ,在国外已广泛应用于半导体和薄膜行业。型线部分是涡旋真空泵设计的关键 ,该文结合工程实际需要对其理论和实际型线进行研究 ,在此基础上 ,分解抽象出型线各部分的几何模型 ,并基于 Auto CAD编制出型线设计的 L ISP程序 ,从而建立型线参数化设计模型。该模型提高了设计效率 。

涡旋真空泵中固体润滑技术的应用研究

本文介绍了固体润滑技术的润滑机理和影响因素 ,结合涡旋真空泵的结构特点 。

单侧涡旋干式真空泵内气体流动的CFD模拟

本文建立了单侧涡旋干式真空泵流动区域的数值计算模型,并基于CFD通用软件ANSYS-CFX和动网格技术建立了干式涡旋真空泵内瞬态流动的仿真模型,分析了泵内的工作过程,及存在"欠压缩"和"过压缩"时涡旋干泵内热场分布。为进一步研究干式涡旋真空泵的理论和设计问题进行了有益的尝试。

美国工业大麻的真空干燥及对国内真空干燥行业的启示

工业大麻的提取物CBD(大麻二酚)具有极高的医药价值,发展前景广阔。本文介绍了美国市场上配置涡旋式干泵的真空干燥箱在工业大麻行业的应用,并以管窥豹,指出了模块定制、智能高效和清洁环保的真空干燥箱已经成为了行业的发展趋势,同时结合国内真空干燥箱行业的现状,阐述了美国市场的经验对国内真空干燥箱行业的几点启示。

干式涡旋真空泵涡旋齿应力与变形研究

为了研究涡旋真空泵涡旋齿在气体力作用下的应力分布及变形规律,利用三维建模软件建立双级定涡旋盘有限元分析模型,结合气体流动特性,分析了串联模型两级间气体压力。基于涡旋真空泵涡旋盘的几何理论和力学理论将涡旋齿受到的气体力分解为切向、径向和轴向3个气体力分量,采用有限元分析的方法对双级定涡旋齿进行应力和变形分析。由分析结果可知,吸气侧第一级三头涡旋齿比排气侧第二级单头涡旋齿的变形量小且变形波动小;在4种不同主轴转角下,涡旋齿的最大变形位置均发生在排气腔内,且位于涡旋齿齿顶部,最大等效应力发生在涡旋齿齿根部;得到在气体力作用下涡旋齿的径向变形和轴向变形情况,对真空泵密封的设计提供了一定的理论依据。