E型硅杯结构偏差对膜片应力分布的影响

本文通过有限单元法对Ｅ型硅杯进行应力分析，研究Ｅ型硅杯的结构偏差对膜片应力分布的影响，进而给出Ｅ型硅杯的结构偏差与膜片应力非线性度的关系。