基于MEMS硅基底的微型变压器

开展了对硅基底多层螺旋电感的研究.结合前人提到的提高螺旋电感Q值的方法,提出了将柱形,E形磁芯用于多层螺旋电感,并使用软件Maxwell对其进行仿真分析.结果表明,矩形多层螺旋电感在置入柱形磁芯后,变压器效率有所提高.E形磁芯为磁感线提供了完整回路,效率可在90%以上.还研究了应用MEMS技术制造螺旋电感结构.