光刻机E-Pin升降机构的控制系统设计

考虑到光刻机E-PIN升降机构吸附硅片做上下往复运动,准确定位、快速性、稳定性的要求,提出了一种基于DSP和FPGA的升降机构控制系统设计和实现方法。以TI公司的DSP2812为控制器,Altera公司的EP3C25E144C3N作为可编程逻辑器件,设计了信号采集模块,规划了控制系统的整体框架,定义了通信传输协议。详细介绍了控制系统的运动控制模块、传感器模块、驱动电路、音圈电机执行机构等方面的设计。通过实验证明,该控制系统运行可靠,准确性、稳定性达到要求。