干法刻蚀中晶圆表面温度控制研究

干法刻蚀工艺中,晶圆温度会直接影响刻蚀速率、刻蚀均匀性及刻蚀形貌,从而对最终的器件性能产生影响。对干法刻蚀过程中会对晶圆温度产生影响的若干因素进行了研究,并通过实验确认了不同因素对晶圆温度的影响趋势及范围,为工程应用提供一定参考。通过实验,确认了静电吸盘的夹持电压及氦压、射频源功率、下电极温度及晶圆本身都会对刻蚀过程中的晶圆温度产生一定影响,其中静电吸盘的夹持电压及氦压对晶圆温度影响最大,晶圆翘曲、下射频源功率次之,上射频源功率、下电极冷却温度对晶圆温度影响基本相当,影响程度最小。

薄壁管件卡盘式夹具的研制

针对车削薄壁型零件,用三爪卡盘夹持时容易产生变形,造成尺寸、圆度、圆柱度等精度的超差问题,在三爪卡盘的基础上,对其进行了适当的改造,形成新的卡盘式夹具,使用Pro/E软件对三维模型进行零件设计、装配设计,提高了产品设计效率、缩短了周期、节约了成本,研制的新卡盘式夹具在实际使用中极大提高了产品的精度。

等离子体刻蚀机静电吸盘温度控制方法仿真研究

在晶圆等离子刻蚀过程中,静电吸盘对调节和控制晶圆表面温度均匀性、保障晶圆加工质量起着重要作用。本文对静电吸盘的传热以及温度控制方法进行了仿真研究。首先对静电吸盘的结构和传热进行分析,将其简化为二维轴对称模型,并验证了模型的可靠性;然后研究了静电吸盘分区PID控制方法,分析了各PID参数对静电吸盘表面温度—时间响应特性的影响;最后引入试验设计方法,结合替代模型方法和遗传优化算法,对PID参数进行整定优化。结果表明,利用该简化的二维模型,可以在误差允许范围内,提高有限元计算的速率;同时本文提出的PID整定方法可有效提高PID参数整定效率,整定结果能够有效改善静电吸盘温度——时间响应特性。

基于词块理论的杭州涉外酒店简介英译评析

在自建杭州涉外酒店简介中英对照平行文本的基础上,把酒店简介文本分成定位、荣誉称号、地理位置、设施和服务、呼唤入住、联系信息6个语步,就每个语步进行常见词块的归纳并结合一些典型实例进行译文评析,得出建立酒店简介的中英文对照词块库是提高涉外酒店文本译文质量的有效途径。