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安捷伦高频阻抗测试仪表E4982A测控技术应用 被引量:1
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作者 邓长开 唐明津 胡义平 《电子与封装》 2018年第6期8-11,共4页
当前半导体车间高频阻抗测试平台大多是多年前由国外设计开发,平台系统老旧落后,测试仪表已停产多年,亟需升级换代。简单介绍了安捷伦最新型的阻抗仪表E4982A与吉时利2410数字电源表以及高频阻抗原理。在Windows 7系统下通过VB编程成功... 当前半导体车间高频阻抗测试平台大多是多年前由国外设计开发,平台系统老旧落后,测试仪表已停产多年,亟需升级换代。简单介绍了安捷伦最新型的阻抗仪表E4982A与吉时利2410数字电源表以及高频阻抗原理。在Windows 7系统下通过VB编程成功搭建了新的国产化高频阻抗测试平台,并分享了系统关键技术与核心指令代码。经过大量的测试,新的高频阻抗测试平台不仅覆盖原有的功能,同时掌握了相关核心技术,更加适应未来的生产信息化与升级需求。 展开更多
关键词 E4982A 吉时利2410 阻抗测试
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