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Production of intense highly charged ion beams by IMP 14.5 GHz electron cyclotron resonance ion source
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作者 ZHAO Hong-Wei, ZHANG Zi-Min, ZHANG Xue-Zhen, ZHAO Yu-Bin, GUO Xiao-Hong, LIU Zhan-Wen, LI Xi-Xia, WANG Yi-Fang, WEI Bao-Wen (Institute of Modern Physics, the Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000) 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 2000年第3期145-149,共5页
A new 14.5 GHz Electron Cyclotron Resonance (ECR) ion source has been constructed over the last two years. The source was designed and tested by making use of the latest results from ECR ion source development, such a... A new 14.5 GHz Electron Cyclotron Resonance (ECR) ion source has been constructed over the last two years. The source was designed and tested by making use of the latest results from ECR ion source development, such as high mirror magnetic field, large plasma volume, and biased probe. 140uA of O^7+, 185uA of Ar^11+ and 50uA of Xe^26+ could be produced with a RF power of 800 W. The intense beams of highly charged metallic ions are produced by means of the method of a metal evaporation oven and volatile compound through axial access. The test results are 130uA of Ca^11+, 70uA of Ca^12+ and 65uA of Fe^lo+. The ion source has been put into operation for the cyclotron at the institute of Modern Physics (IMP). 展开更多
关键词 电子回旋加速器 离子源 束流稳定性 带电离子束 金属离子 ecr
全文增补中
ECR离子源高电荷态金属离子产生的MIVOC法实验研究 被引量:1
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作者 马雷 曹云 +3 位作者 赵红卫 张子民 冯玉成 李锡霞 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期613-616,共4页
为满足兰州重离子加速器的实验要求,先后在中国科学院近代物理研究所14.5GHz(LECR2)及10GHz+14.5GHz(LECR3)高电荷态ECR离子源上使用MIVOC(Metallic ion fromvolatile compounds)方法进行了高电荷态金属离子产生的实验研究。主要研究了... 为满足兰州重离子加速器的实验要求,先后在中国科学院近代物理研究所14.5GHz(LECR2)及10GHz+14.5GHz(LECR3)高电荷态ECR离子源上使用MIVOC(Metallic ion fromvolatile compounds)方法进行了高电荷态金属离子产生的实验研究。主要研究了铁和镍的各种高电荷态离子的产生,具有代表性的是210eμA的Fe11+、175eμA的Fe12+、142eμA的Fe13+、25eμA的Fe16+、64eμA的Ni10+、57eμA的Ni13+、31eμA的Ni15+和15eμA的Ni16+。本文将分别给出两种金属离子产生的多电荷态束流谱图,并对实验装置的安排、实验现象及结果进行讨论与总结。 展开更多
关键词 挥发性化合物金属离子 饱和蒸汽压 ecr离子源 高电荷态
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金属筒在ECR2高电荷态离子源中的应用 被引量:2
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作者 袁平 刘占稳 +7 位作者 张汶 赵红卫 张雪珍 郭晓虹 李锡霞 周嗣信 王义芳 魏宝文 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第5期392-396,共5页
叙述了用金属筒来增强ECR2离子源的高电荷态离子束流强度。铝筒的增强效果最为显著。与锆简相比,Ar(8+)离子的束流强度从245μA增至330μA,Ar(9+)离子从125μA增至150μA。
关键词 ecr 离子源 金属筒 高电荷态离子 次级电子
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高电荷态ECR离子源的金属离子产生 被引量:1
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作者 曹云 马雷 +3 位作者 孙良亭 张子民 赵红卫 马保华 《原子核物理评论》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期26-29,共4页
简单介绍了采用炉子加热、挥发性金属化合物和溅射产生ECR离子源的金属离子的3种方法和实验结果,主要研究了铜、锌、镍和铁等多种电荷态离子的产生.对3种方法分别进行了探讨.
关键词 ecr离子源 加热炉 挥发性金属化合物法 高电荷态 等离子体溅射法 重离子加速器 放射性束产生
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Recent Beam Developments with the LBNL 14GHz AECR-U Ion Source
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作者 M.Galloway D.Leitner +1 位作者 C.M.Lyneis W.Cornelius 《Chinese Physics C》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第S1期75-79,共5页
A radial sputter probe has been developed for the AECR-U as an additional method of producing metal ion beams.Negative voltage is applied to the probe to incite collisions with target atoms,thereby sputtering material... A radial sputter probe has been developed for the AECR-U as an additional method of producing metal ion beams.Negative voltage is applied to the probe to incite collisions with target atoms,thereby sputtering material into the plasma.The sputter probe is positioned through one of the 6 radial access slots between the permanent hexapole structure of the AECR-U.The probe position can be varied with respect to the inner edge of the hexapole magnet structure.Charge state distributions and peak beam intensities at bias voltages up to-5kV were obtained for gold samples at varying distances of the probe with respect to the plasma.For high charge states production the radial position with respect to the plasma was more sensitive than for the medium and lower charge states.For high charge state ion production the probe was optimized at a distance of 0.6cm inside the chamber wall(4.1cm from the center of the chamber).Stable beams with peak intensities of up to 28eμA of Au^(24+) and 1.42eμA of Au^(41+) have been produced using the sputter probe technique. In addition,a solid state circuit under development by Scientific Solutions,Inc which provides a bandwidth up to 100MHz was used to drive the 14GHz klystron amplifier for the LBNL AECR-U ion source.Various broadband and discrete heating modes were tested and the results for high charge state ion production were compared with single frequency heating. 展开更多
关键词 ecr ion source high CHARGE state metallic ionS broadband microwave
原文传递
液态金属离子源发射系统的仿真分析 被引量:1
6
作者 马向国 刘同娟 顾文琪 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期370-376,共7页
液态金属离子源的发射系统是源设计当中一个十分重要的因素,它的性能的优劣将直接影响到整个离子源的发射特性,进而影响整个聚焦离子束设备的工作性能。因而,在离子源的设计过程中,人们希望通过仿真手段得到影响源发射特性的源几何尺寸... 液态金属离子源的发射系统是源设计当中一个十分重要的因素,它的性能的优劣将直接影响到整个离子源的发射特性,进而影响整个聚焦离子束设备的工作性能。因而,在离子源的设计过程中,人们希望通过仿真手段得到影响源发射特性的源几何尺寸参量,以便在液态金属离子源设计时抓住主要参量进行优化设计,从而提高源的发射性能。本文首先用模拟电荷法计算了发射系统的电场,然后用蒙特卡罗方法在模拟发射离子的初始位置和初始速度的基础上,计算了离子轨迹。并通过对大量离子轨迹的统计计算,得出能散、角电流密度和虚源尺寸的特性曲线,从而为分析离子源性能以及设计离子源提供了一个有效的辅助工具。 展开更多
关键词 液态金属离子源 模拟电荷法 发射系统 蒙特卡罗方法
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用Monte Carlo法模拟计算液态金属离子源的发射特性 被引量:3
7
作者 刘昌 储璇雯 沈庆垓 《电子科学学刊》 CSCD 1990年第3期293-300,共8页
本文运用Monte Carlo方法模拟计算液态金属离子源的发射特性.通过随机抽样确定离子发射的初始位置和速度,考虑离散的空间电荷效应,用四阶自动变步长Runge-Kutta方法计算离子的运动轨迹。为加速Poisson场收敛,本文用恒定的总束流进行每... 本文运用Monte Carlo方法模拟计算液态金属离子源的发射特性.通过随机抽样确定离子发射的初始位置和速度,考虑离散的空间电荷效应,用四阶自动变步长Runge-Kutta方法计算离子的运动轨迹。为加速Poisson场收敛,本文用恒定的总束流进行每轮迭代,并提出以维持总发射束流恒定所需引出电压的变化作为衡量Poisson场收敛的判据。通过对大量离子的统计计算,获得了角电流强度、虚源的大小和位置、离子束能量散度和束斑大小等离子源的特性参量。 展开更多
关键词 液态金属 离子发射 MONTE Garlo法
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液态金属离子源发射系统电场的模拟分析
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作者 马向国 顾文琪 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期475-480,共6页
发射系统是液态金属离子源的关键部件之一,它的性能的优劣直接影响到整个离子源的工作稳定性和可靠性。因而对其发射系统进行仿真分析,可以很好地指导液态金属离子源的设计制造。本文采用国际上重视的动态喷流柱模型,利用模拟电荷法对... 发射系统是液态金属离子源的关键部件之一,它的性能的优劣直接影响到整个离子源的工作稳定性和可靠性。因而对其发射系统进行仿真分析,可以很好地指导液态金属离子源的设计制造。本文采用国际上重视的动态喷流柱模型,利用模拟电荷法对液态金属离子源的发射系统的电场进行了计算分析,画出了发射尖端电场强度随不同参数变化的曲线,得出发射尖端表面场强与球冠半径、发射体突出臂长度密切相关,而与引出电极的结构关系甚小的结论,因此液态金属离子源发射特性(如角电流强度)的改善,必须在发射尖的设计制作上下功夫。从而为液态金属离子源的设计提供了一个有效的辅助工具。 展开更多
关键词 液态金属离子源 模拟电荷法 发射系统 动态喷流柱
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液态金属离子源发射系统的电场计算
9
作者 马向国 顾文琪 《微细加工技术》 EI 2005年第3期20-26,共7页
针对液态金属离子源的发射系统属于轴对称系统的特点,采用动态喷流柱模型,利用模拟电荷法对液态金属离子源发射系统的电场进行了计算,结果表明,该方法计算精度高,非常适合于电子束、离子束系统发射极附近电场的计算。
关键词 液态金属离子源 模拟电荷法 发射系统 动态喷流柱
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高电荷态电子回旋共振离子源难熔金属高温炉研制
10
作者 黄维 钱程 +8 位作者 孙良亭 张雪珍 曹云 卢旺 冯玉成 郭俊伟 方兴 李锡霞 赵红卫 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第7期46-52,共7页
高电荷态电子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance,ECR)离子源产生金属离子束的方法有炉子加热法、溅射法、MIVOC(Metallic Ion from Volatile Compounds)等,其中炉子加热法具有产生的束流强度高、稳定性好的特点。炉子加热法的技术... 高电荷态电子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance,ECR)离子源产生金属离子束的方法有炉子加热法、溅射法、MIVOC(Metallic Ion from Volatile Compounds)等,其中炉子加热法具有产生的束流强度高、稳定性好的特点。炉子加热法的技术核心是加热炉,按其工作温区主要分为低温炉、高温炉两大类。高温炉主要针对熔点1 500°C以上的金属钴、钛、钒、铂、铀等。通过ANSYS仿真模拟分析了高温炉钽坩埚的温度分布、高温下因膨胀所受热应力及其在ECR离子源工作环境的强磁场中所受的安培力作用。根据模拟分析结果研制了电阻式加热高温炉,并对其进行了离线测试,实验中钽坩埚在1 800°C以上发生的形变与ANSYS模拟结果相符,并根据模拟分析给出了改进方案。改进后的电阻式加热高温炉离线测试能在1 500°C稳定维持48 h以上,而在1 846°C时可稳定维持达6 h以上,结果表明:研制的电阻式加热高温炉可应用于ECR离子源产生强流高电荷态难熔金属离子束。 展开更多
关键词 ecr离子源 电阻加热 高温炉 金属离子
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液态金属离子源发射系统特性研究
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作者 储璇雯 王小宝 《浙江大学学报(自然科学版)》 CSCD 1990年第4期528-534,共7页
本文采用动态喷咀状模型[1],用模拟电荷法计算了液态金属离子源发射系统的电场分布[2]。在用Monte Carlo法模拟发射离子的初始位置和初始速度的基础上,考虑离子间的相互作用力计算了离子轨迹。在保证一定精度的前提下,为了提高计算速度... 本文采用动态喷咀状模型[1],用模拟电荷法计算了液态金属离子源发射系统的电场分布[2]。在用Monte Carlo法模拟发射离子的初始位置和初始速度的基础上,考虑离子间的相互作用力计算了离子轨迹。在保证一定精度的前提下,为了提高计算速度,在轨迹计算中采用了离子团和参考球等近似技术。 通过对大量离子轨迹的统计计算,得出能散与束流、能散与角电流强度等的关系曲线。计算结果与P.Marriott[3]和G.L.R.Mair[4],难波进[5]等人的实验结果基本相符。 根据反复改变发射极形状,引出极孔径和极间距离的大量计算结果,得到发射特性主要决定於发射尖端的大小和形状而与引出极结构关系不大的结论。 展开更多
关键词 离子源 液态金属 蒙特卡洛法 发射
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表面等离子体无掩膜干涉光刻系统的数值分析(英文) 被引量:5
12
作者 董启明 郭小伟 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期558-564,共7页
表面等离子体激元具有近场增强效应,可以代替光子作为曝光源形成纳米级特征尺寸的图像.本文数值分析了棱镜辅助表面等离子体干涉系统的参量空间,并给出了计算原理和方法.结果表明,适当地选择高折射率棱镜、低银层厚度、入射波长和光刻... 表面等离子体激元具有近场增强效应,可以代替光子作为曝光源形成纳米级特征尺寸的图像.本文数值分析了棱镜辅助表面等离子体干涉系统的参量空间,并给出了计算原理和方法.结果表明,适当地选择高折射率棱镜、低银层厚度、入射波长和光刻胶折射率,可以获得高曝光度、高对比度的干涉图像.入射波长为431nm时,选择40nm厚的银层,曝光深度可达200nm,条纹周期为110nm.数值分析结果为实验的安排提供了理论支持. 展开更多
关键词 干涉光刻 表面等离子体激元 克莱舒曼结构
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ECR离子源金属离子的产生 被引量:1
13
作者 张子民 赵红卫 +3 位作者 赵玉彬 张雪珍 郭晓虹 刘占稳 《高能物理与核物理》 CSCD 北大核心 2000年第10期974-978,共5页
讨论了ECR离子源金属供料方法 ,在 1 4 5GHzECR离子源上应用炉子加热和MIVOC法获得了 40 Ca11+1 40eμA和5 6 Fe10 +65eμA 。
关键词 ecr离子源 金属离子 mivoc
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强流高电荷态Pb离子束的产生与优化研究(英文)
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作者 何伟 李锦钰 +4 位作者 赵环昱 曹云 孙良亭 赵红卫 张子民 《高能物理与核物理》 EI CSCD 北大核心 2005年第9期907-911,共5页
随着原子物理及表面物理研究的发展,高电荷态金属离子束的需求日益增多.近来,在中国科学院近代物理研究所14.5GHzLECR3离子源实验平台上,以炉子法产生的铅离子束作为研究对象,进行了一系列ECR离子源关键参数(如:磁场、炉子功率、掺气等... 随着原子物理及表面物理研究的发展,高电荷态金属离子束的需求日益增多.近来,在中国科学院近代物理研究所14.5GHzLECR3离子源实验平台上,以炉子法产生的铅离子束作为研究对象,进行了一系列ECR离子源关键参数(如:磁场、炉子功率、掺气等)影响高电荷态铅离子束产额的实验研究,在此基础上,调整优化了LECR3离子源的状态参数,从而获得了强流高电荷态铅离子束18eμA207pb30+和6.7eμA207pb37+. 展开更多
关键词 ecr离子源 炉子法 金属离子 高电荷态离子 金属离子束 高电荷态 优化研究 强流 Lecr3离子源 近代物理研究所
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