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ECR溅射法合成氮化碳薄膜
1
作者
晓青
《等离子体应用技术快报》
2000年第6期7-8,共2页
关键词
ecr溅射法
合成
氮化碳薄膜
下载PDF
职称材料
题名
ECR溅射法合成氮化碳薄膜
1
作者
晓青
出处
《等离子体应用技术快报》
2000年第6期7-8,共2页
关键词
ecr溅射法
合成
氮化碳薄膜
分类号
TQ127 [化学工程—无机化工]
TB43 [一般工业技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
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1
ECR溅射法合成氮化碳薄膜
晓青
《等离子体应用技术快报》
2000
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