PLC在ECR等离子源设备中的应用

简要地介绍了ECR等离子源设备的特点和测控要求,给出了以PLC为主实现设备控制的方法。系统的硬件由触摸屏(或上位机)、PLC控制器和信号调理电路部分构成;软件由二次开发的触摸屏运行的组态监控软件、PLC运行软件以及可选的基于PC机的上位机软件组成。整个控制系统可实现现场手动操作、触摸屏(或上位机)手动操作及全自动控制运行,能进行等离子体参数如电子温度、离子密度、空间电位等的测量。

ECR等离子源静电探针自动监测系统

ECR等离子源主要由电源系统、抽气系统、供气系统、真空室等设备组成,对于研究型设备,还包括测控部分。传统的测控系统对系统设备大多采用单台测控,人工调节,这样系统效率比较低。该文采用模拟开关切换8路静电探针得到不同位置的等离子体参数,经电荷放大器对弱信号进行放大后显示。该方法在实际使用中取得了较好的效果。

2.45GHz ECR强流等离子体源核心部件设计与实验研究

电子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance,ECR)等离子体源能产生高电荷态离子、高流强的单电荷态离子,提供稳定的束流和良好的重复性.核心部件的设计对ECR等离子体源是至关重要的,磁场对等离子体的生成和分布有直接影响,良好的磁场可以提高等离子体的性能和效率.采用有限元分析方法对ECR等离子体源磁场进行分析与设计,得到了满足设计需求与目标的磁场位形,通过高斯计对设计的永磁环轴向磁场精确测量,发现磁场仿真结果与实验结果吻合比较好,只是轴向磁场最大值及对应位置上有点偏差.通过集成实验,研究核心部件对离子源引出束流强度的影响,引出束流稳定且强度达到7 mA.

2.45GHz ECR等离子体源引出系统初步设计

电子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance,ECR)等离子体源是用来产生单电荷态离子束的等离子体装置,它可以产生束流较强或者较高的电荷态离子,同时还能提供束流的稳定性、重复性和工作寿命。引出系统的设计对ECR等离子体源是至关重要的,引出系统对等离子体的引出束流有直接影响,良好的引出系统设计可以提高引出束流强度。采用有限元分析方法对ECR等离子体源引出系统进行分析与设计,得到了满足设计需求与目标的引出束流。

微波ECR等离子体源离子注入法制备DLC薄膜

用微波ECR等离子体源离子注入 (PSII)法 ,在硅片 ( 10 0 )上制备了类金刚石 (DLC)薄膜 ,工作气体采用CH4气体 ,研究了不同的气体流量对薄膜的影响。对制备的DLC薄膜 ,用拉曼光谱、FT IR光谱、AFM以及纳米压痕等手段对化学成分、化学键结构。