EDAX能谱仪半定量分析（SQU）中ZAF修正技术的讨论

ＥＤＡＸ能谱仪（ＰＶ９１００和ＰＶ９９００）的半定量分析（ＳＱＵ）程序，一般只计算试样百分含量的一级近似值，如果进行ＺＡＦ修正，也只给出一次性修正结果。实际上，试样元素的真实百分含量Ｃ和它的Ｘ射线相对强度比ｋ之间是双曲线关系而非线性关系，只有经过几次迭代计算，才能得到满意的结果。本文仅就ＥＤＡＸ能谱仪的ＳＱＵ分析中ＺＡＦ迭代修正做一讨论。