ELID镜面磨削技术——综述

在线电解修整砂轮 (ELID)精密镜面磨削是近 10来年发展起来的一项磨削新技术 ,在日本等国已经较广泛地应用于生产中。我国哈尔滨工业大学袁哲俊教授的ELID课题组从 1993年起就开始了这方面的研究 ,现已成熟。本刊从这期起连续刊登 5篇ELID镜面磨削技术文章 ,希望有助于这项技术在生产中推广使用。

ELID镜面磨削技术——金属结合剂砂轮的研制

采用铜粉、还原铁粉、铸铁粉并辅以改善铁粉和铸铁粉末冶金性能的金属添加剂作配方，烧制出适合现有生产条件的 ＥＬＩＤ磨削用砂轮磨块。性能检验表明该配方满足了 ＥＬＩＤ磨削要求。

ELID镜面磨削技术——新磨削液的研制

根据ELID磨削的特点和要求 ,通过调整无机盐、添加剂等成分的比例 ,找出了ELID磨削中生成钝化膜性能与磨削液成分的关系 。

ELID镜面磨削技术——砂轮快速修整技术的研究

介绍了ELID磨削中采用电火花整形装置对金属结合剂超硬磨料砂轮进行整形修整的技术。修整后的砂轮径向跳动量小于 1μm ,砂轮表面光滑 ,形状精度高 ,磨粒等高性好 ,适于精密镜面磨削用 ,具有修整时间短、成本低。

ELID镜面磨削技术——应用

应用ELID磨削技术 ,分别在平面、内圆和外圆磨床上对多种典型硬脆材料实现了精密镜面磨削。结果表明 ,该技术精度高、成本低、工艺简单可靠 ,具有广阔的应用前景。

基于ELID磨削技术的陶瓷材料精密磨削加工技术优化

为解决陶瓷材料的精密磨削加工容易产生裂纹、材料不耐高温的问题,提出基于ELID磨削技术的陶瓷材料精密磨削加工技术优化方法,基于强塑性变形受力的原理,通过公式计算优化陶瓷材料破坏性控制,通过改变磨削深度优化陶瓷材料破坏性控制。使用3种方法进行对比实验,结果表明基于ELID磨削技术样品的磨削表面粗糙度小于3.2 nm,属于加工痕迹不可见范围,优于传统的高速磨削和预应力磨削。

ELID镜面磨削加工技术研究进展

在线电解修整(ELID)镜面磨削技术作为一种低成本高效率的超精密镜面加工技术,广泛应用在现代超精密加工领域中。综述了ELID镜面磨削技术的历史发展和研究现状,介绍了该技术的加工机理和镜面形成过程,重点讨论了在不同条件下几种不同ELID镜面磨削的形式,最后就该技术的深入研究工作作了展望并指出了产业化推广需要解决的问题。

ELID精密镜面磨削技术及其应用研究

主要讨论应用ELID磨削技术,分别在平面、内圆和外圆磨床上对多种典型硬脆材料实现精密镜面磨削。实验结果表明,该技术加工精度高,成本低,工艺简单可靠,具有广阔的应用前景。

基于ELID精密镜面磨削技术的外圆精加工工艺

为了探究外圆精加工的新途径,采用在线电解修整(electrolytic in-process dressing,ELID)精密镜面磨削技术,对外圆进行ELID精密超精密磨削实验.鉴于许多典型难加工材料的平面精密加工和高效加工是通过ELID精密镜面磨削技术解决的,通过改装机床工艺设备、优化工艺参数,得到当砂轮线速度为20 m/s、磨削深度为10μm、电极间隙为0.3 mm、电压为10 V、电流为1 A、占空比为2/3时,已加工表面的表面粗糙度为0.025μm,外圆磨削状态最佳,加工工件的表面质量最优.

ELID精密镜面磨削技术的应用

采用自行开发ＥＬＩＤ的磨削装置对硬质合金、工程陶瓷、高速钢等难加工材料进行精密镜面磨削，得到表面粗糙度为Ｒａ０．００３～０．０２５μｍ的加工表面．实现了ＥＬＩＤ磨削技术在平面、内圆和外圆精密镜面磨削中的应用．

ELID镜面磨削中砂轮生成氧化膜特性及其作用的研究

研究砂轮电解氧化膜的粘附强度、硬度、致密性、导电性和生成速度等物理特性与砂轮结合剂成分、磨削液成分和电解参数的关系，并分析氧化膜在ＥＬＩＤ磨削中的作用。

ELID镜面磨削砂轮氧化膜生成机理

采用铸铁结合剂微细超硬磨料砂轮进行在线电解修整磨削时，ＥＬＩＤ砂轮表面产生的氧化膜起着极其重要的作用。研究了ＥＬＩＤ砂轮电解氧化膜的粘附强度、硬度、致密性、导电性、生成速度与砂轮结合剂成分、磨削液成分和电解参数的关系。

ELID磨削技术在硬脆材料精密超精密加工中的应用

介绍了ＥＬＩＤ磨削技术的基本原理，分析了ＥＬＩＤ技术磨削硬脆材料的加工机理，并应用该技术对硬质合金、工程陶瓷和光学玻璃等典型硬脆材料实现了超精密镜面加工．磨后工件达到Ｒａ为０．００３～０．０１８的镜面．

陶瓷喷涂层精密镜面磨削技术的实验研究

在工件表面用喷涂方法形成陶瓷涂层 ,可以显著改善其性能。但是由于陶瓷喷涂层的硬脆特性 ,难以进行精密加工。本文引入金属基超硬磨料砂轮在线电解修整 (ELID)技术 ,对陶瓷喷涂层进行精密镜面磨削的实验研究。结果表明 ,该技术加工精度高、表面质量好 。

ELID镜面磨削硬质合金的工艺参数实验研究

随着国防尖端技术的迅速发展,许多具有独特性能的新材料得到了日益广泛的应用,如光学玻璃、硬质合金。但采用传统磨削工艺加工这些材料很难得到良好的表面质量。在线电解砂轮修整(ELID)磨削技术是一项新的、高效的磨削方法,它有效地实现了许多难加工材料的超精密加工和高效加工。针对硬质合金的特性,用ELID磨削方法应用于硬质合金的精密加工,通过实验研究ELID磨削中工艺参数对加工表面的影响规律,找到了在一定条件下优化的工艺参数。

ELID镜面磨削用金属结合剂砂轮的研制

采用铜粉、还原铁粉、铸铁粉并辅以改善铁粉和铸铁粉末冶金性能的金属添加剂做配方，烧制出适合现有生产条件的ＥＬＩＤ磨削用砂轮磨块。

用SACP技术研究ELID磨削后的单晶硅片表面变质层

用ＳＡＣＰ技术研究ＥＬＩＤ磨削后的单晶硅片表面变质层＊刘世民１，２于栋利２田永君２何巨龙２李东春２陈世镇２（１．秦皇岛玻璃研究设计院，秦皇岛０６６００４）（２．燕山大学，秦皇岛０６６００４）单晶硅片的表面质量是制约制造超大规模集成电路成品率的主要因素...

ELID精密镜面磨削用新磨削液的研制

以已有的ＨＤＭＹ－１０型磨削液的配方为参照，根据在线电解修整砂轮（ＥＬＩＤ）磨削的特点和要求，通过调整无机盐、添加剂等成分的比例，找出了ＥＬＩＤ磨削中生成氧化膜性能与磨削液成分的关系，研制出新型的性能更好的ＥＬＩＤ磨削液．

SUS304不锈钢ELID镜面磨削正交化实验研究

SUS304不锈钢具有高耐腐耐磨性和良好的综合性能而被广泛应用,但其高韧性和低导热性使传统的SUS304不锈钢磨削或车削工艺存在一定困难。在线电解修整ELID(Electrolytic in-process dressing)磨削技术能有效地用于SUS304不锈钢镜面磨削加工。本文主要对SUS304不锈钢进行ELID镜面磨削正交化实验研究以获得合理的工艺参数。首先利用#325砂轮进行7个影响因素2水平的正交磨削实验,获得初步的优化参数,然后利用#1200砂轮进行3个影响因素2水平的正交镜面磨削实验。通过改变削件砂轮转速、X和Y平台移动速度、进给率和ELID电源件等各种磨削条件,获得优化后的磨削工艺参数,进行了相应的磨削验证,并讨论了工艺参数对磨削特性的影响。研究了不同砂轮磨粒对表面粗糙度的影响,使用#8000金刚石砂轮对SUS304不锈钢镜面磨削,获得表面粗糙度Ra=3.6 nm。

ELID精密镜面磨削系统电源的使用分析

分析了在线电解磨削(ELID)精密镜面磨削系统的不同电源,通过实验,详细阐述直流电源和直流脉冲电源的电解特点。通过参数对比,得出两种不同电源各自的使用范围,对ELID精密镜面加工电源的选择有较好的指导作用。