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实现SOI结构的ELO方法中SiO_2上Si多晶核的形成与抑制 被引量：1
1
作者 阎春辉 刘明登 +3 位作者 全宝富 朱袁正 张旭光 王阳元 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第9期561-565,T001,共6页
本文从分析Si在SiO_2上成核的一般过程出发,利用新的成核理论,分析出影响成核的重要因素是氢吸附;并着重针对ELO过程的特点,通过大量实验研究了各种条件对成核的影响,找到了既能完全抑制多晶成核又能实现侧向生长的最佳工艺条件.根据实... 本文从分析Si在SiO_2上成核的一般过程出发,利用新的成核理论,分析出影响成核的重要因素是氢吸附;并着重针对ELO过程的特点,通过大量实验研究了各种条件对成核的影响,找到了既能完全抑制多晶成核又能实现侧向生长的最佳工艺条件.根据实验中测得的临界成核时间及沉积自由区宽度,采用间歇生长技术在20μm宽的SiO_2条上完全抑制了多晶成核,而加入 Br_2的生长/腐蚀循环工艺则在 30μm宽的SiO_2上完全抑制了多晶成核,为获得高质量的SOI材料打下了良好的基础. 展开更多
关键词 SOI结构 elo法 二氧化硅 SI 晶核
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基于ELO体系的乒乓球运动员排名模型 被引量：2
2
作者 李琦 胡金燕 《牡丹江师范学院学报（自然科学版）》 2017年第4期27-29,共3页
利用ELO评分法,建立乒乓球运动员排名模型.通过选取特殊的初始评分集和2016年里约奥运会乒乓球比赛结果作为评价对象,构建乒乓球运动员的排名模型.运动员的比赛数据验证了此模型的有效性.
关键词 elo评分法 乒乓球 初始评分 运动员排名
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