GaN HEMT器件在高温栅偏压(HTGB)应力下会出现势垒退化现象,并进一步引发器件在射频工作下的不稳定和失效问题。使用微光显微镜(EMMI)作为主要工具,对器件的HTGB退化问题进行了研究。讨论了不同电偏置条件下器件EMMI发光的分布和形成机...GaN HEMT器件在高温栅偏压(HTGB)应力下会出现势垒退化现象,并进一步引发器件在射频工作下的不稳定和失效问题。使用微光显微镜(EMMI)作为主要工具,对器件的HTGB退化问题进行了研究。讨论了不同电偏置条件下器件EMMI发光的分布和形成机理,并对比了器件在HTGB试验前后EMMI发光图像的变化。HTGB后器件在反偏电场下出现明显新增EMMI亮点,对亮点的微区分析定位到栅下有外延位错对应的局部烧毁点。研究表明,延伸至栅下的外延位错会构成漏电通道,对HTGB下的退化和失效存在贡献。展开更多