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μm量级碳晶体的EPMA状态分析
被引量:
2
1
作者
李香庭
乔海潮
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1993年第4期336-341,共6页
用EPMA-8705QH_1电子探针仪,对化学气相沉积法生长的小颗粒碳晶体进行了状态分析。分析结果表明,用化学气相沉积法生长金刚石薄膜的过程中,会产生不同形态的金刚石和石墨晶体,并发现金刚石和石墨的共生晶体。该发析方法不但能对每个μm...
用EPMA-8705QH_1电子探针仪,对化学气相沉积法生长的小颗粒碳晶体进行了状态分析。分析结果表明,用化学气相沉积法生长金刚石薄膜的过程中,会产生不同形态的金刚石和石墨晶体,并发现金刚石和石墨的共生晶体。该发析方法不但能对每个μm量级晶体进行状态分析,而且还能对其表面形态进行观察,是小颗粒晶体状态分析和显微结构分析的有效方法。
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关键词
电子探针
状态分析
金刚石薄膜
碳
晶体
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职称材料
Ni薄膜热敏电阻的研究
被引量:
1
2
作者
闫卫平
席文柱
+1 位作者
邝永变
杜立群
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第z1期308-309,共2页
采用磁控溅射方法制备Ni薄膜热敏电阻,其电阻温度系数(TCR)为5.7×10-3/℃。对Ni电阻薄膜表面和横截面进行了电子探针微分析(EPMA),得到了Ni薄膜横截面的线分析谱线,并对Ni薄膜表面结构进行了较深入的分析。
关键词
热敏电阻
Ni薄膜
电子探针微分析(
epma
)
下载PDF
职称材料
题名
μm量级碳晶体的EPMA状态分析
被引量:
2
1
作者
李香庭
乔海潮
机构
中国科学院上海硅酸盐研究所
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1993年第4期336-341,共6页
文摘
用EPMA-8705QH_1电子探针仪,对化学气相沉积法生长的小颗粒碳晶体进行了状态分析。分析结果表明,用化学气相沉积法生长金刚石薄膜的过程中,会产生不同形态的金刚石和石墨晶体,并发现金刚石和石墨的共生晶体。该发析方法不但能对每个μm量级晶体进行状态分析,而且还能对其表面形态进行观察,是小颗粒晶体状态分析和显微结构分析的有效方法。
关键词
电子探针
状态分析
金刚石薄膜
碳
晶体
Keywords
epma electron probe state analysis diamond film
分类号
O613.71 [理学—无机化学]
O484.5 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
Ni薄膜热敏电阻的研究
被引量:
1
2
作者
闫卫平
席文柱
邝永变
杜立群
机构
大连理工大学电子系
大连理工大学微系统研究中心
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第z1期308-309,共2页
基金
国家自然科学基金资助项目(60174034)。
文摘
采用磁控溅射方法制备Ni薄膜热敏电阻,其电阻温度系数(TCR)为5.7×10-3/℃。对Ni电阻薄膜表面和横截面进行了电子探针微分析(EPMA),得到了Ni薄膜横截面的线分析谱线,并对Ni薄膜表面结构进行了较深入的分析。
关键词
热敏电阻
Ni薄膜
电子探针微分析(
epma
)
Keywords
Thermal resistor Ni thin
film
electron
probe
micro-
analysis
(
epma
)
分类号
TH7-55 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
μm量级碳晶体的EPMA状态分析
李香庭
乔海潮
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1993
2
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职称材料
2
Ni薄膜热敏电阻的研究
闫卫平
席文柱
邝永变
杜立群
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
1
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职称材料
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