μm量级碳晶体的EPMA状态分析

用EPMA-8705QH_1电子探针仪,对化学气相沉积法生长的小颗粒碳晶体进行了状态分析。分析结果表明,用化学气相沉积法生长金刚石薄膜的过程中,会产生不同形态的金刚石和石墨晶体,并发现金刚石和石墨的共生晶体。该发析方法不但能对每个μm量级晶体进行状态分析,而且还能对其表面形态进行观察,是小颗粒晶体状态分析和显微结构分析的有效方法。

Ni薄膜热敏电阻的研究

采用磁控溅射方法制备Ni薄膜热敏电阻,其电阻温度系数(TCR)为5.7×10-3/℃。对Ni电阻薄膜表面和横截面进行了电子探针微分析(EPMA),得到了Ni薄膜横截面的线分析谱线,并对Ni薄膜表面结构进行了较深入的分析。