30．4nm正入射成像系统滤光片

多层膜反射镜是30．4nm正入射望远镜的主要反射元件，但它在紫外、可见和近红外光波段也具有很高的反射率，需要滤光片来消除这些长波辐射，而滤光片材料和膜层厚度对滤光片的性能起重要作用。根据原子散射因子，理论计算出几种材料波长和线性吸收系数之间的关系，确认铝足30．4nm波段滤光片的最好材料。在考虑透过率和膜强度的基础上，确定了滤光片的膜层厚度。改进了现有的由Mcpherson247掠入射软X射线-真空紫外单色仪和气体空心阴极光源组成的光谱测量装置，使其适合于透过率的测昔，其波长扫描精度为±0．017～±0．097nm，对所制备的铝滤光片进行25．6～1000nm波段的透过率测量，测量结果显示其在30．4nm处的透过率为58．85％。为了比较全面地反映该种滤光片的透过率情况，又测量了它在紫外、可见和近红外波段的透过率，其值接近零，证明了该滤光片可满足30．4nm成像系统的需要。