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EVG
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《电子工业专用设备》 2005年第3期81-81,共1页
EVG公司是一家生产用于加工领先微结构与晶圆的全球设备供应商。这些设备是生产高附加值的微器件所必需的。她的工艺解决方案是基于高速发展的微系统与半导体技术、纳米及生物技术、医学、通讯、航空器件等领域而提出的。川卜富的产品... EVG公司是一家生产用于加工领先微结构与晶圆的全球设备供应商。这些设备是生产高附加值的微器件所必需的。她的工艺解决方案是基于高速发展的微系统与半导体技术、纳米及生物技术、医学、通讯、航空器件等领域而提出的。川卜富的产品系列包括:光刻系统、圆片键合设备、涂胶机、显影机、清洗机、监测系统,以及热压和纳米压印系统。 展开更多
关键词 evg公司 纳米技术 微机械电子 绝缘硅
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