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Parameters optimization and nonlinearity analysis of grating eddy current displacement sensor using neural network and genetic algorithm 被引量:17
1
作者 Hong-li QI Hui ZHAO +1 位作者 Wei-wen LIU Hai-bo ZHANG 《Journal of Zhejiang University-Science A(Applied Physics & Engineering)》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第8期1205-1212,共8页
A grating eddy current displacement sensor(GECDS) can be used in a watertight electronic transducer to realize long range displacement or position measurement with high accuracy in difficult industry conditions.The pa... A grating eddy current displacement sensor(GECDS) can be used in a watertight electronic transducer to realize long range displacement or position measurement with high accuracy in difficult industry conditions.The parameters optimization of the sensor is essential for economic and efficient production.This paper proposes a method to combine an artificial neural network(ANN) and a genetic algorithm(GA) for the sensor parameters optimization.A neural network model is developed to map the complex relationship between design parameters and the nonlinearity error of the GECDS,and then a GA is used in the optimization process to determine the design parameter values,resulting in a desired minimal nonlinearity error of about 0.11%.The calculated nonlinearity error is 0.25%.These results show that the proposed method performs well for the parameters optimization of the GECDS. 展开更多
关键词 Grating eddy current displacement sensor (GECDS) Artificial neural network (ANN) Genetic algorithm (GA) Parameters optimization Nonlinearity error
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Characteristics analysis and parameters optimization for the grating eddy current displacement sensor 被引量:4
2
作者 Hong-li QI Hui ZHAO Wei-wen LIU 《Journal of Zhejiang University-Science A(Applied Physics & Engineering)》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第7期1029-1037,共9页
The grating eddy current displacement sensor (GECDS) for distance or position measurement used in watertight electronic calipers was described. The sensor relies on repetitive variation of inductance against displacem... The grating eddy current displacement sensor (GECDS) for distance or position measurement used in watertight electronic calipers was described. The sensor relies on repetitive variation of inductance against displacement caused by the change of coupling areas between moving coils and static reflectors. The investigations focused on setting up and utilizing a computer model of the 3D eddy current fields and geometry to analyze causes of the production of measurement blind areas, and to investigate effects of the sensor parameters, such as axial gap between coils and reflectors, reflector length and reflector width on characteristics of the sensor. Simulation results indicated that the sensor has the smallest nonlinearity error of 0.15%, which agrees well with the experimental results. 展开更多
关键词 Grating eddy current displacement sensor (GECDS) Watertight electronic calipers Parameters optimization NONLINEARITY
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HIGH TEMPERATURE DISPLACEMENT SENSOR 被引量:12
3
作者 Xu Longxiang Zhang Jinyu Schweitzer Gerhard 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第3期449-452,共4页
A high temperature displacement sensor based on the principle of eddy-current is investigated. A new temperature compensation technique by using eddy-current effect is presented to satisfy the special requirement at h... A high temperature displacement sensor based on the principle of eddy-current is investigated. A new temperature compensation technique by using eddy-current effect is presented to satisfy the special requirement at high temperature up to 550℃. The experiment shows that the temperature compensation technique leads to good temperature stability for the sensors. The variation of the sensitivity as well as the temperature drift of the sensor with temperature compensation technique is only about 7.4% and 90-350 mV at 550 ℃ compared with that at room temperature, and that of the sensor without temperature compensation technique is about 31.2% and 2-3 V at 550 ℃ compared with that at room temperature. A new dynamic calibration method for the eddy-current displacement sensor is presented, which is very easy to be realized especially in high frequency and at high temperatures. The high temperature displacement sensors developed are successfully used at temperature up to 550 ℃ in a magnetic bearing system for more than 100 h. 展开更多
关键词 displacement sensor eddy current sensor Compensation of temperature High temperature
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快速反射镜双线性插值标定技术 被引量:1
4
作者 王宇先 刘力双 +1 位作者 陈青山 刘洋 《激光杂志》 CAS 北大核心 2024年第1期54-58,共5页
为满足光电系统中对快速反射镜高指向精度的需求,对基于电涡流传感器测量的快速反射镜二维角度标定技术进行研究。分析了利用电涡流传感器进行二维角度测量的工作原理,设计了快速反射镜角度标定系统。对多项式拟合、双线性插值两种标定... 为满足光电系统中对快速反射镜高指向精度的需求,对基于电涡流传感器测量的快速反射镜二维角度标定技术进行研究。分析了利用电涡流传感器进行二维角度测量的工作原理,设计了快速反射镜角度标定系统。对多项式拟合、双线性插值两种标定模型进行了理论分析和实验测试。结果表明,在±1000″角度范围内,双线性插值法标定的误差在2″以内,比传统的多项式拟合法标定精度高。标定精度的提高对实现快速反射镜高精度指向具有十分重要意义。 展开更多
关键词 快速反射镜 系统标定 双线性插值 电涡流传感器
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空间应用高精度电涡流位移传感器设计与验证
5
作者 刘燕锋 姚宁 +3 位作者 袁利 马官营 李玉猛 胡隽 《空间控制技术与应用》 CSCD 北大核心 2024年第3期86-93,共8页
针对空间超静平台高精度非接触位移测量的需求,研制了一种适用于空间应用的高精度电涡流位移传感器.根据传感器工作原理建立探头敏感线圈阻抗模型并对其固有非线性进行仿真分析.基于高精度平衡电桥检测电路,提出一种非线性校正方法,该... 针对空间超静平台高精度非接触位移测量的需求,研制了一种适用于空间应用的高精度电涡流位移传感器.根据传感器工作原理建立探头敏感线圈阻抗模型并对其固有非线性进行仿真分析.基于高精度平衡电桥检测电路,提出一种非线性校正方法,该方法无需额外的校正电路,通过平衡电桥阻抗网络设计以及解调相位设计,将传感器输出非线性由12%降低到0.98%.测试验证结果表明,研制的空间应用高精度电涡流位移传感器在±3 mm量程范围内,测量非线性达到0.98%.该传感器已经成功进行在轨应用. 展开更多
关键词 空间应用 电涡流 位移 传感器 非线性
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基于轴向电涡流效应的高精度长位移传感器
6
作者 徐笠杰 王艳林 陈青山 《电子测量技术》 北大核心 2024年第6期131-136,共6页
为了实现大行程精密光学调焦组件的高精度实时检测,研究基于轴向电涡流效应的高精度长位移传感器。建立了长位移电涡流探头仿真模型进行线性度测试,搭建电涡流传感器测试系统进行精度实验,并将长位移电涡流传感器接入精密光学调焦组件... 为了实现大行程精密光学调焦组件的高精度实时检测,研究基于轴向电涡流效应的高精度长位移传感器。建立了长位移电涡流探头仿真模型进行线性度测试,搭建电涡流传感器测试系统进行精度实验,并将长位移电涡流传感器接入精密光学调焦组件。实验结果表明:在可测量位移达到24 mm的同时,线性度优于1%,分辨率优于0.5μm,精度优于1μm,高精度长位移电涡流传感器符合精密光学调焦组件的需求。 展开更多
关键词 电涡流传感器 轴向电涡流效应 精密光学调焦组件 长位移 高精度
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基于电涡流效应的绝对式直线位移传感器误差分析及抑制方法研究
7
作者 吴玉龙 武亮 李佩林 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2024年第3期14-20,86,共8页
基于电涡流效应的绝对式直线位移传感器具有结构简单、分辨率高、响应速度快和抗干扰能力强的特点。相比于增量式直线位移传感器,该类型的传感器不仅不受断电的影响,还能实现更加快速和精确的绝对定位。但是,传感器制造、安装及电信号... 基于电涡流效应的绝对式直线位移传感器具有结构简单、分辨率高、响应速度快和抗干扰能力强的特点。相比于增量式直线位移传感器,该类型的传感器不仅不受断电的影响,还能实现更加快速和精确的绝对定位。但是,传感器制造、安装及电信号处理等环节处理不理想会产生无效电动势,带来对极内的1次、2次和4次误差。针对上述问题,使用信号补偿的方式抑制1次和2次误差,采用空间移相的方式消除感应信号中的3次谐波,以此抑制4次误差。对优化后的传感器进行误差抑制实验,验证了误差来源分析的正确性以及抑制方法的有效性。实验表明:误差抑制后的传感器节距内误差峰峰值由32μm优化为6μm,性能大幅度提升。 展开更多
关键词 绝对式测量 电涡流 直线位移传感器 误差分析
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二维大角度快反镜双线性插值拟合标定法
8
作者 冀佳琦 刘洋 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2024年第11期1737-1743,共7页
为满足光电对抗设备中大转角范围的需求,对基于电涡流传感器的二维大角度快速反射镜角度测量系统的标定技术进行研究。设计了二维大角度快速反射镜标定系统,分析了标定系统的角度测量原理,通过对多项式拟合和双线性插值标定模型进行理... 为满足光电对抗设备中大转角范围的需求,对基于电涡流传感器的二维大角度快速反射镜角度测量系统的标定技术进行研究。设计了二维大角度快速反射镜标定系统,分析了标定系统的角度测量原理,通过对多项式拟合和双线性插值标定模型进行理论和残差分析,结合两种方法进行模型构建和实验测试。结果表明,在±7°(±25200″)角度范围内,运用双线性插值拟合法整体误差小于30″。通过与传统多项式拟合和双线性插值比对实验,表明双线性插值拟合法标定误差更小,定位精度更高,更适用于二维大角度快速反射镜标定。 展开更多
关键词 快速反射镜 二维大角度 双线性插值拟合 电涡流传感器 标定技术
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电涡流位移传感器的仿真分析与验证
9
作者 黄瑞 张晓亮 谢依文 《汽车文摘》 2024年第11期18-23,共6页
为了研究基于印制电路板(PCB)设计的电涡流位移传感器结构参数对性能的影响,应用Ansys仿真软件,建立电涡流位移传感器模型,分析传感器的线圈激励频率、线圈与被测目标间隙等参数对系统等效阻抗以及感应电压的影响。根据优化模型制作传... 为了研究基于印制电路板(PCB)设计的电涡流位移传感器结构参数对性能的影响,应用Ansys仿真软件,建立电涡流位移传感器模型,分析传感器的线圈激励频率、线圈与被测目标间隙等参数对系统等效阻抗以及感应电压的影响。根据优化模型制作传感器样机,搭建试验平台,将仿真结果与实测结果进行误差分析,试验结果表明,经优化后的系统在全量程范围内的误差达到±1.5%,验证了模型的准确性和可行性,对电涡流位移传感器的开发应用提供了理论依据。 展开更多
关键词 电涡流感应 位移测量 ANSYS 激励频率 PCB线圈
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基于LabVIEW的电涡流传感器自动校准系统
10
作者 王炳 彭欣 +2 位作者 谢非儒 魏金实 马峰 《计量与测试技术》 2024年第7期41-43,共3页
电涡流传感器作为常见的振动传感器,被广泛应用于火力发电机组等大型旋转机械静态安装调试和动态运行状态监测。为了解决该传感器校准过程中人工参与度高、重复操作、检测效率低等问题,本文通过LabVIEW软件,开发了上机位自动控制系统,... 电涡流传感器作为常见的振动传感器,被广泛应用于火力发电机组等大型旋转机械静态安装调试和动态运行状态监测。为了解决该传感器校准过程中人工参与度高、重复操作、检测效率低等问题,本文通过LabVIEW软件,开发了上机位自动控制系统,实现了电涡流传感器动态静一体化自动校准及数据处理和证书报表的自动生成。 展开更多
关键词 电涡流传感器 静态校准 动态校准 LABVIEW 自动校准装置
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电涡流传感器检测磁悬浮转子轴向位移的方法 被引量:23
11
作者 李红伟 刘淑琴 +1 位作者 于文涛 范友鹏 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1441-1448,共8页
磁悬浮转子的轴向位移常常利用电涡流传感器从转子轴向方向来检测,这一方法具有一定局限性。针对这一情况,在分析了电涡流传感器的工作原理以及输出特性的影响因素后,研究了利用被测导体的台阶表面来检测导体沿传感器径向方向的位移的... 磁悬浮转子的轴向位移常常利用电涡流传感器从转子轴向方向来检测,这一方法具有一定局限性。针对这一情况,在分析了电涡流传感器的工作原理以及输出特性的影响因素后,研究了利用被测导体的台阶表面来检测导体沿传感器径向方向的位移的方法。在该方法中,采用与差动相反的思想,将关于被测导体对称布置的两个传感器的输出进行加和,来消除传感器线圈与导体间距离的变化对检测结果的影响。结合磁悬浮转子的特性,提出了磁悬浮转子轴向位移径向检测的方法,并进行了实验验证,结果表明传感器的输出电压之和与转子轴向位移之间具有良好的线性关系和灵敏度,验证了该方法的正确性和可行性。 展开更多
关键词 磁力轴承 电涡流传感器 位移检测 解耦
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磁轴承用电涡流位移传感器串扰产生及抑制方法研究 被引量:16
12
作者 王志强 刘刚 李红 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期1035-1040,共6页
针对磁悬浮控制力矩陀螺(CMG)对位移传感器的特殊性能指标要求,设计了一种五自由度电涡流位移传感器系统,将径向探头和测量电路进行了集成一体化设计,对探头之间串扰产生的原因进行了理论分析,并提出在原有振荡电路上增加调整电容,通过... 针对磁悬浮控制力矩陀螺(CMG)对位移传感器的特殊性能指标要求,设计了一种五自由度电涡流位移传感器系统,将径向探头和测量电路进行了集成一体化设计,对探头之间串扰产生的原因进行了理论分析,并提出在原有振荡电路上增加调整电容,通过调节调整电容值提高探头之间串扰频率使其无法通过后续滤波的方法抑制串扰,提高了转子的位移检测精度。实验结果表明,实现了转子在0~30000r/min范围内的稳定悬浮,悬浮精度小于20μm,满足了磁悬浮CMG电磁轴承对转子位移高精度检测的需求。 展开更多
关键词 控制力矩陀螺 位移传感器 电涡流传感器 串扰
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基于电涡流传感器的小位移测量系统设计 被引量:11
13
作者 于明军 孙福玉 +1 位作者 韩铮 张迪 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2015年第5期111-114,共4页
针对物理实验中对小位移的测量读数困难的问题,提出了一种基于电涡流传感器测量小位移的方法。根据谐振原理设计了涡流传感器检测和调理电路,利用位移量影响谐振电路Q值的特性,实现了小位移量到电压量的转换,使用单片机采集信号并用软... 针对物理实验中对小位移的测量读数困难的问题,提出了一种基于电涡流传感器测量小位移的方法。根据谐振原理设计了涡流传感器检测和调理电路,利用位移量影响谐振电路Q值的特性,实现了小位移量到电压量的转换,使用单片机采集信号并用软件方法对测量结果校准。实验结果表明,系统可以准确测量小位移,同时可消除使用物理测量工具时产生的读数误差。 展开更多
关键词 位移测量 电涡流传感器 数据采集 微控制器
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恒流源充电二极管放电的电感式位移传感器 被引量:7
14
作者 欧阳斌林 杨方 +1 位作者 王润涛 魏巍 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第9期1262-1267,共6页
介绍恒流源充电二极管放电的电感式位移传感器,其电感值的测量原理是采用开关电路,以恒流源电路向电感线圈充电,只经过二极管放电,定时测量稳定放电的时间来测量电感值。其位移量是通过测量线圈的电感值来间接测量的。分别论述了单向和... 介绍恒流源充电二极管放电的电感式位移传感器,其电感值的测量原理是采用开关电路,以恒流源电路向电感线圈充电,只经过二极管放电,定时测量稳定放电的时间来测量电感值。其位移量是通过测量线圈的电感值来间接测量的。分别论述了单向和双向充放电测量电感值的原理,并设计了电感式和电涡流式两种测量位移量的试验,通过试验和数据分析证明这种电感式测量位移的方法可行,不采用高频正弦激励,即可测量较小的电感值(μH)。 展开更多
关键词 电感式位移传感器 电涡流传感器 电感测量 开关电感 电容式传感器
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电磁轴承用非接触式位移传感器的研究 被引量:25
15
作者 汪希平 崔卫东 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1998年第1期54-60,共7页
分析了电涡流位移传感器在电磁轴承应用方面的特点及存在的不足;讨论了非接触式差动电感位移传感器的性能和特点,如灵敏度、线性度,及其在电磁轴承系统中应用的可能性.提出了一种轴向应用的设计实例.结果表明非接触式差动电感位移... 分析了电涡流位移传感器在电磁轴承应用方面的特点及存在的不足;讨论了非接触式差动电感位移传感器的性能和特点,如灵敏度、线性度,及其在电磁轴承系统中应用的可能性.提出了一种轴向应用的设计实例.结果表明非接触式差动电感位移传感器在电磁轴承系统中有广泛的应用前景. 展开更多
关键词 电磁轴承 位移传感器 灵敏度 非接触式
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基于LabVIEW的机床主轴振动测量与分析 被引量:17
16
作者 汪顺利 丁毓峰 +2 位作者 王琳 盛步云 卢其兵 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2014年第2期32-35,39,共5页
机床加工过程中主轴产生的振动对产品加工精度以及刀具的磨损和寿命都有较大影响,对机床主轴加工过程进行实时监测,尤其监测其振动情况是很有必要的。与此同时,伴随着计算机技术和软件技术的快速发展,虚拟仪器已逐渐成为测试与控制领域... 机床加工过程中主轴产生的振动对产品加工精度以及刀具的磨损和寿命都有较大影响,对机床主轴加工过程进行实时监测,尤其监测其振动情况是很有必要的。与此同时,伴随着计算机技术和软件技术的快速发展,虚拟仪器已逐渐成为测试与控制领域的研究热点。对机床加工过程中主轴振动信息进行实时监测,以Z-516型台式钻床为研究对象,利用电涡流位移传感器、NI PCI-6221型数据采集卡以及PC机等搭建实验平台,借助于LabVIEW软件平台设计振动测量系统,实现对机床加工过程中主轴振动状态的实时监测,实验结果表明该测量方法可以有效地监测机床主轴振动情况。 展开更多
关键词 主轴振动 虚拟仪器 电涡流位移传感器
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涡旋压缩机轴向动态间隙的实验测量 被引量:8
17
作者 杨启超 李连生 +1 位作者 赵远扬 束鹏程 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期795-798,847,共5页
设计了采用电涡流位移传感器测量喷水涡旋空气压缩机轴向间隙的实验方案和步骤.传感器采用偏移安装的方式,避免了动涡盘可能对传感器探头造成的损坏,并阐述了安装要点.编制了基于虚拟仪器技术的数据采集系统来记录和保存实验数据.测量... 设计了采用电涡流位移传感器测量喷水涡旋空气压缩机轴向间隙的实验方案和步骤.传感器采用偏移安装的方式,避免了动涡盘可能对传感器探头造成的损坏,并阐述了安装要点.编制了基于虚拟仪器技术的数据采集系统来记录和保存实验数据.测量结果表明:喷水涡旋空压机的轴向间隙在不同转速下变化较大,低转速和高转速下的典型值为75μm和49μm;涡旋空压机轴向间隙比涡旋制冷压缩机的轴向间隙大.测量结果输出波形的频率能够反映动涡盘掠过探头的时间间隔,因此可以用电涡流位移传感器测量涡旋压缩机的转速,提供了一种测量压缩机转速的方法,可对变速压缩机动态特性研究时转速值的确定提供帮助.总的来说,电涡流位移传感器结构简单、灵敏度高、静态和动态性能好、输出信号强,可以满足涡旋压缩机轴向间隙的小位移量的测量要求. 展开更多
关键词 涡旋压缩机 轴向间隙 电涡流位移传感器 测量
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镍铬合金导线在电涡流位移传感器中的应用 被引量:7
18
作者 蓝奇 马伏花 +2 位作者 农正 尹彩流 陆贵方 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第2期158-160,共3页
基于电涡流的基本原理,以镍铬合金导线为涡流线圈,将导线绕制在陶瓷骨架上构成涡流探头,结合电源模块、放大模块和显示模块,设计制作了电涡流位移传感器。实验结果表明:该传感器能实现对金属位移的测量,具有结构简单、抗干扰能力强和测... 基于电涡流的基本原理,以镍铬合金导线为涡流线圈,将导线绕制在陶瓷骨架上构成涡流探头,结合电源模块、放大模块和显示模块,设计制作了电涡流位移传感器。实验结果表明:该传感器能实现对金属位移的测量,具有结构简单、抗干扰能力强和测量精度较高等特点。 展开更多
关键词 镍铬合金导线 电涡流传感器 位移
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石墨密封环端面压力变形的试验研究 被引量:6
19
作者 张杰 李鲲 +3 位作者 吴兆山 丁思云 沈宗沼 杨博峰 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2012年第10期30-33,81,共5页
采用电涡流位移传感器对整体石墨密封环和镶装式石墨密封环的端面压力变形进行试验研究,分析石墨环结构和加工工艺对密封端面压力变形的影响。试验结果表明,密封压力使石墨环密封端面产生了负锥度变形;镶装过程使镶装式石墨环底面产生... 采用电涡流位移传感器对整体石墨密封环和镶装式石墨密封环的端面压力变形进行试验研究,分析石墨环结构和加工工艺对密封端面压力变形的影响。试验结果表明,密封压力使石墨环密封端面产生了负锥度变形;镶装过程使镶装式石墨环底面产生的径向和周向变形会导致密封端面产生较大的压力变形;对镶装式石墨环端面的精加工处理可有效抑制石墨环的端面压力变形。 展开更多
关键词 石墨密封环 压力变形 电涡流位移传感器
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基于DSP的采煤机滚动轴承振动检测系统设计 被引量:10
20
作者 陈峤鹰 林杭 相纪峰 《工矿自动化》 2011年第1期13-15,共3页
简述了采煤机滚动轴承振动的数学模型和电涡流式振动位移传感器的结构及基本工作原理,提出了一种以TMS320F2812为核心控制器、电涡流式振动位移传感器为前端信号采集部分的采煤机滚动轴承振动检测系统,并给出了系统硬件设计和软件流程... 简述了采煤机滚动轴承振动的数学模型和电涡流式振动位移传感器的结构及基本工作原理,提出了一种以TMS320F2812为核心控制器、电涡流式振动位移传感器为前端信号采集部分的采煤机滚动轴承振动检测系统,并给出了系统硬件设计和软件流程。井下测试结果表明,该系统可靠性高、实时性强。 展开更多
关键词 采煤机 滚动轴承 振动检测 DSP 电涡流式振动位移传感器
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