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提高环境参量法测量空气折射率精度的研究
被引量:
4
1
作者
叶孝佑
甘晓川
+3 位作者
常海涛
高宏堂
孙双花
张晓
《计量学报》
CSCD
北大核心
2008年第B09期69-73,共5页
介绍了应用Edlén经验公式的环境参量法测量空气折射率,分析和总结了提高其测量精度的措施,如公式的合理选用、环境参量测量传感仪表的选用等。从软硬件两个方面描述了实际折射率测量系统的构成,分析结果表明其测量标准不确定度...
介绍了应用Edlén经验公式的环境参量法测量空气折射率,分析和总结了提高其测量精度的措施,如公式的合理选用、环境参量测量传感仪表的选用等。从软硬件两个方面描述了实际折射率测量系统的构成,分析结果表明其测量标准不确定度达1.03×10^-8,可以满足高精度激光干涉测长的要求。
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关键词
计量学
空气折射率测量
edlén公式
不确定度分析
下载PDF
职称材料
基于长度可变真空腔的激光干涉空气折射率测量误差分析与补偿
被引量:
6
2
作者
杨晔
严利平
+1 位作者
陈本永
楼盈天
《仪器仪表学报》
CSCD
北大核心
2021年第6期48-55,共8页
为了解决基于长度可变真空腔的激光干涉空气折射率测量中透光窗片倾斜和真空腔内残余气压对测量精度的影响,本文分析了真空腔拉伸过程中透光窗片倾斜引入的误差,并提出了透光窗片倾斜误差检测和补偿方法,同时研究了真空腔内残余气压的...
为了解决基于长度可变真空腔的激光干涉空气折射率测量中透光窗片倾斜和真空腔内残余气压对测量精度的影响,本文分析了真空腔拉伸过程中透光窗片倾斜引入的误差,并提出了透光窗片倾斜误差检测和补偿方法,同时研究了真空腔内残余气压的测量和补偿方法。为了验证所提出方法的可行性,搭建了基于长度可变真空腔的激光干涉空气折射率测量系统,测量结果与Edlén公式结果进行对比。实验结果显示,本系统测量结果与Edlén公式结果具有较好的一致性,在2.2 h和20 min内,两者之间偏差的标准偏差分别为2.34×10^(-8)和2.89×10^(-8),这表明本文所提出的空气折射率测量误差补偿方法是可行和有效的,可应用于激光干涉精密位移测量中空气折射率的实时补偿。
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关键词
激光干涉
空气折射率测量
长度可变真空腔
edlén公式
误差补偿
下载PDF
职称材料
基于激光单频干涉和PTF传感融合的空气折射率测量方法
被引量:
1
3
作者
严利平
蒋剑波
+2 位作者
楼盈天
陈本永
谢建东
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2023年第5期103-110,共8页
针对空气折射率测量中Edlén公式法测量精度受限于传感器精度,以及固定长度真空腔的激光干涉法条纹整周期难以确定的问题,提出了一种融合激光单频干涉和PTF传感的空气折射率测量方法。设计了基于固定长度单真空腔的正弦相位调制激...
针对空气折射率测量中Edlén公式法测量精度受限于传感器精度,以及固定长度真空腔的激光干涉法条纹整周期难以确定的问题,提出了一种融合激光单频干涉和PTF传感的空气折射率测量方法。设计了基于固定长度单真空腔的正弦相位调制激光干涉空气折射率测量光路。利用低精度传感器获得的空气折射率预测值来确定干涉条纹整数,采用PGC-Arctan算法精确解调干涉信号相位来获得小数干涉条纹,实现空气折射率的大范围高精度实时测量。搭建了实验装置,开展了与Edlén公式法的空气折射率测量比对实验。实验结果显示,在12 min和1 h内,两种方法测得结果具有较好的一致性,两者偏差的标准偏差分别为1.5×10^(-8)和2.3×10^(-8),表明本文方法可应用于激光干涉精密位移测量中空气折射率的实时补偿。
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关键词
测量
空气折射率测量
激光单频干涉
edlén公式
法
正弦相位调制
原文传递
题名
提高环境参量法测量空气折射率精度的研究
被引量:
4
1
作者
叶孝佑
甘晓川
常海涛
高宏堂
孙双花
张晓
机构
中国计量科学研究院
辽宁省计量科学研究院
中国计量学院
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2008年第B09期69-73,共5页
文摘
介绍了应用Edlén经验公式的环境参量法测量空气折射率,分析和总结了提高其测量精度的措施,如公式的合理选用、环境参量测量传感仪表的选用等。从软硬件两个方面描述了实际折射率测量系统的构成,分析结果表明其测量标准不确定度达1.03×10^-8,可以满足高精度激光干涉测长的要求。
关键词
计量学
空气折射率测量
edlén公式
不确定度分析
Keywords
Metrology
Measureme
n
t of refractive i
n
dex of air
edlé
n
equatio
n
A
n
alysis of measureme
n
t u
n
certai
n
ty
分类号
TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
下载PDF
职称材料
题名
基于长度可变真空腔的激光干涉空气折射率测量误差分析与补偿
被引量:
6
2
作者
杨晔
严利平
陈本永
楼盈天
机构
浙江理工大学纳米测量实验室
出处
《仪器仪表学报》
CSCD
北大核心
2021年第6期48-55,共8页
基金
国家自然科学基金(51875530,51475435)
浙江省自然科学基金(LZ18E050003)项目资助。
文摘
为了解决基于长度可变真空腔的激光干涉空气折射率测量中透光窗片倾斜和真空腔内残余气压对测量精度的影响,本文分析了真空腔拉伸过程中透光窗片倾斜引入的误差,并提出了透光窗片倾斜误差检测和补偿方法,同时研究了真空腔内残余气压的测量和补偿方法。为了验证所提出方法的可行性,搭建了基于长度可变真空腔的激光干涉空气折射率测量系统,测量结果与Edlén公式结果进行对比。实验结果显示,本系统测量结果与Edlén公式结果具有较好的一致性,在2.2 h和20 min内,两者之间偏差的标准偏差分别为2.34×10^(-8)和2.89×10^(-8),这表明本文所提出的空气折射率测量误差补偿方法是可行和有效的,可应用于激光干涉精密位移测量中空气折射率的实时补偿。
关键词
激光干涉
空气折射率测量
长度可变真空腔
edlén公式
误差补偿
Keywords
laser i
n
terferometry
air refractive i
n
dex measureme
n
t
variable le
n
gth vacuum cavity
edlé
n
equatio
n
error compe
n
satio
n
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
基于激光单频干涉和PTF传感融合的空气折射率测量方法
被引量:
1
3
作者
严利平
蒋剑波
楼盈天
陈本永
谢建东
机构
浙江理工大学纳米测量技术实验室
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2023年第5期103-110,共8页
基金
国家自然科学基金(51875530)
浙江省自然科学基金(LZ18E050003)
教育部长江学者和创新团队计划(IRT_17R98)。
文摘
针对空气折射率测量中Edlén公式法测量精度受限于传感器精度,以及固定长度真空腔的激光干涉法条纹整周期难以确定的问题,提出了一种融合激光单频干涉和PTF传感的空气折射率测量方法。设计了基于固定长度单真空腔的正弦相位调制激光干涉空气折射率测量光路。利用低精度传感器获得的空气折射率预测值来确定干涉条纹整数,采用PGC-Arctan算法精确解调干涉信号相位来获得小数干涉条纹,实现空气折射率的大范围高精度实时测量。搭建了实验装置,开展了与Edlén公式法的空气折射率测量比对实验。实验结果显示,在12 min和1 h内,两种方法测得结果具有较好的一致性,两者偏差的标准偏差分别为1.5×10^(-8)和2.3×10^(-8),表明本文方法可应用于激光干涉精密位移测量中空气折射率的实时补偿。
关键词
测量
空气折射率测量
激光单频干涉
edlén公式
法
正弦相位调制
Keywords
measureme
n
t
air refractive i
n
dex measureme
n
t
laser si
n
glefreque
n
cy i
n
terferometer
edlé
n
equatio
n
si
n
usoidal phase modulatio
n
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
提高环境参量法测量空气折射率精度的研究
叶孝佑
甘晓川
常海涛
高宏堂
孙双花
张晓
《计量学报》
CSCD
北大核心
2008
4
下载PDF
职称材料
2
基于长度可变真空腔的激光干涉空气折射率测量误差分析与补偿
杨晔
严利平
陈本永
楼盈天
《仪器仪表学报》
CSCD
北大核心
2021
6
下载PDF
职称材料
3
基于激光单频干涉和PTF传感融合的空气折射率测量方法
严利平
蒋剑波
楼盈天
陈本永
谢建东
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2023
1
原文传递
已选择
0
条
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参考文献
引证文献
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