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基于Parylene薄膜的微型电磁驱动器的设计与工艺 被引量:1
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作者 苏宇锋 陈文元 《机械制造》 北大核心 2004年第12期25-28,共4页
主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单,由Parylene振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起。分析了平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变,对其关键尺寸进行优化。采用电镀工艺在硅基片... 主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单,由Parylene振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起。分析了平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变,对其关键尺寸进行优化。采用电镀工艺在硅基片上电镀驱动线圈、在Parylene薄膜上电镀NiFe合金阵列,并采用牺牲层工艺得到振动膜的悬空结构。 展开更多
关键词 电磁驱动 微驱动器 parylene振动膜
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Multi-materials drop-on-demand inkjet technology based on pneumatic diaphragm actuator 被引量:11
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作者 XIE Dan1,2,ZHANG HongHai1,2,SHU XiaYun1,2,Xiao JunFeng1,2 & CAO Shu1,2 1Institute of Micro-Systems,School of Mechanical Science and Engineering,Huazhong University of Science and Technology,Wuhan 430074,China 2Wuhan National Laboratory for Optoelectronics,Wuhan 430074,China 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2010年第6期1605-1611,共7页
Micro-droplet jetting belongs to the field of precision fluid dispensing techniques.Unlike traditional subtraction manufacture process,micro-droplet jetting as an additive fabrication technique with features of non-co... Micro-droplet jetting belongs to the field of precision fluid dispensing techniques.Unlike traditional subtraction manufacture process,micro-droplet jetting as an additive fabrication technique with features of non-contact and data-driven represents a new development trend of modern manufacturing process.In this paper,the design,fabrication and performance of a multi-materials drop-on-demand (DOD) inkjet system based on pneumatic diaphragm actuator were described.For capturing the droplet ejection process and measuring the droplet dimension,a self-made in situ imaging system based on time delayed external trigger was set up.The performance of the generator was studied by adjusting the structure and control parameters.Furthermore,the influence of fluid properties on the droplet ejection process was experimentally investigated.Micro-solderballs of 160.5 μm in diameter and UV curing adhesive micro-bumps of 346.94 μm in contact diameter with the substrate were produced.The results demonstrated that the DOD inkjet generator possesses characteristics of robust,easy to operate and maintain,and able to withstand high temperature as well as applicability to a wide variety of materials including polymers,low melting point resin and high melting point metal.The system has a great potential of being used in the fields of IC and MEMS packaging,3D printing,organic semiconductor fabrication,and biological and chemical analysis. 展开更多
关键词 micro-droplet JETTING drop on demand PNEUMATIC diaphragm actuator multi-materials
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气动膜片式微滴喷射装置理论分析与实验研究 被引量:9
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作者 谢丹 张鸿海 +1 位作者 舒霞云 曹澍 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第14期1732-1737,共6页
微滴喷射是通过产生微米级的液滴实现流体按需精确喷射沉积成形的技术。气动膜片式微滴按需喷射装置的原理是以膜片为驱动部件,以压缩气体脉冲为驱动源,通过膜片的弹性变形实现液体腔的体积变化从而产生微液滴。通过建立驱动气压与液体... 微滴喷射是通过产生微米级的液滴实现流体按需精确喷射沉积成形的技术。气动膜片式微滴按需喷射装置的原理是以膜片为驱动部件,以压缩气体脉冲为驱动源,通过膜片的弹性变形实现液体腔的体积变化从而产生微液滴。通过建立驱动气压与液体腔内工作压力的关系,分析腔体内液体的流动状态,从而建立气动膜片式喷射系统的数学模型,以此作为优化装置结构和控制参数的依据。此外,利用该装置完成了黏性液体的可控喷射。研究结果为喷射制造的实际应用提供了理论与实验依据。 展开更多
关键词 气动膜片式 微液滴 按需喷射 卫星滴
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柔性膜微型电磁驱动器的设计与制作工艺 被引量:2
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作者 苏宇锋 陈文元 +2 位作者 陈晓梅 张卫平 王伟 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2005年第12期10-12,共3页
主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单,由 Parylene 振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起。对平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变进行了分析,并对其关键尺寸进行优化。采用电镀工... 主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单,由 Parylene 振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起。对平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变进行了分析,并对其关键尺寸进行优化。采用电镀工艺在硅基片上电镀驱动线圈,在 Parylene 薄膜上电镀 NiFe 合金阵列,采用牺牲层工艺得到振动膜的悬空结构。 展开更多
关键词 parylene 制作工艺 柔性膜微型电磁驱动器 NiFe合金阵列
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压电驱动膜片式微滴喷射仿真与尺度一致性试验研究 被引量:17
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作者 周诗贵 习俊通 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期178-185,共8页
微滴喷射技术是一种数字化控制微米级液滴产生和分配的技术,在微电子封装和微光学器件制造等领域具有极大的应用前景。提出一种压电驱动膜片式微滴喷射技术,阐述微喷工作原理,基于黏性流体力学进行微喷过程的理论分析并分析影响微滴喷... 微滴喷射技术是一种数字化控制微米级液滴产生和分配的技术,在微电子封装和微光学器件制造等领域具有极大的应用前景。提出一种压电驱动膜片式微滴喷射技术,阐述微喷工作原理,基于黏性流体力学进行微喷过程的理论分析并分析影响微滴喷射的关键参数。使用计算流体动力学(Computational fluid dynamics,CFD)软件基于流体体积法(Volume of fluid,VOF)的二维轴对称模型对微喷过程进行数值仿真,通过数值仿真分析按需喷射的机理和卫星滴产生的原因,并总结参数对微滴直径和微滴喷射速度影响的规律和经验公式。根据仿真研究结果设计压电驱动膜片式微喷装置,并构建微喷试验系统,试验结果与仿真结果吻合较好,说明提出的仿真方法是可行的。该微喷技术可实现1~150 cP黏度范围流体材料的按需喷射,喷射频率可达300 Hz,且微滴尺寸具有良好的一致性。 展开更多
关键词 压电驱动膜片式 按需喷射 仿真 微喷试验
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气动膜片式微滴喷射系统原理与实验 被引量:10
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作者 张鸿海 舒霞云 +1 位作者 肖峻峰 谢丹 《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期100-103,共4页
利用压电式微滴喷射技术驱动力传递路径短、驱动可控和气压直接驱动微滴喷射耐高温的优点,提出了一种气动膜片式微滴喷射技术.以压缩气体为驱动源,膜片为驱动部件,通过电磁阀通断控制流体形成射流,并使射流颈缩分离形成微滴.以无粘性流... 利用压电式微滴喷射技术驱动力传递路径短、驱动可控和气压直接驱动微滴喷射耐高温的优点,提出了一种气动膜片式微滴喷射技术.以压缩气体为驱动源,膜片为驱动部件,通过电磁阀通断控制流体形成射流,并使射流颈缩分离形成微滴.以无粘性流体伯努利方程和粘性流体动量守恒方程为基础,建立了微滴喷射过程的数学模型.以气动膜片式微滴喷射装置对焊料进行微滴喷射实验,得到了直径偏差在3%以内的焊球.在喷嘴孔径为80μm和100μm的情况下,分别获得最小直径为85μm和105.3μm的金属焊球. 展开更多
关键词 封装 焊料 微滴生成 微滴喷射技术 气动膜片式 按需喷射
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