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Nano-precision combined process of electrolytic in-process dressing grinding and magnetic assisted polishing on optics glass material 被引量:1
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作者 Tae-Soo KWAK Yong-Chul LEE +3 位作者 Gyung-Nyun KIM Dae-Bong CHOI Mikio YAMANOI Hitoshi OHMORI 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2009年第B09期301-306,共6页
This study is focused on the application of an effective fabrication method combining electrolytic in-process dressing(ELID) grinding and magnetic assisted polishing(MAP) to nano-precision mirror surface grinding on t... This study is focused on the application of an effective fabrication method combining electrolytic in-process dressing(ELID) grinding and magnetic assisted polishing(MAP) to nano-precision mirror surface grinding on the optics glass-ceramic named Zerodure that is commonly used in precision optics components. The results show the variation of surface roughness after MAP processes utilizing Fe+CeO2, Fe+CeO2+diamond paste and Fe+diamond paste are applied to ELID ground surfaces. The MAP surface roughnesses for ELID ground surface roughnesses(Ra) of 52.1, 39.8 and 51.1 nm using #1200 grinding wheel are improved to 6.1, 4.6 and 1.9 nm, respectively. The surface roughness of MAP process using Fe+CeO2+diamond paste is superior to that using other processes. Moreover, it takes less than 10 min to conduct the MAP processes. The combined method suggested effectively reduces the working time to get the required surface qualities. 展开更多
关键词 在线电解修整 光学玻璃 纳米相 抛光材料 电解过程 表面粗糙度 地面粗糙度 磨削
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在线电解修锐砂轮氧化膜界面反应及复合磨粒形成机理
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作者 郐吉才 段云乾 ARDASHEV D V 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第20期2975-2985,共11页
Electrolytic In-process Dressing(ELID)砂轮氧化膜具有辅助抛光性能,对改善磨削表面质量具有极其重要意义。分析了ELID砂轮表面氧化膜界面反应及复合磨粒的形成机理,利用X-射线衍射(μ-XRD)微区分析及电子能谱仪(XPS)对复合磨粒的组... Electrolytic In-process Dressing(ELID)砂轮氧化膜具有辅助抛光性能,对改善磨削表面质量具有极其重要意义。分析了ELID砂轮表面氧化膜界面反应及复合磨粒的形成机理,利用X-射线衍射(μ-XRD)微区分析及电子能谱仪(XPS)对复合磨粒的组成成分、复合区域进行了测试,用扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)对其形状、粒度、微观结构进行了研究。研究表明,氧化膜中复合磨粒是以磨粒为中心,从中心到边缘的成分依次为α-Fe_(2)O_(3),γ-Fe_(2)O_(3),FeO(OH),Fe(OH)3等氧化物的复合结构。复合磨粒表面形成的氧化膜,呈层层堆积的圆葱状结构,磨削脱水后呈龟背状裂纹。复合磨粒形状为近似长圆形,粒度可达11.5μm到50μm。若干个复合磨粒在氧化膜内连续成网状结构,该网状结构对氧化膜辅助抛光有利,复合磨粒有效去除宽度为磨粒粒度及α-Fe_(2)O_(3)层宽度。 展开更多
关键词 ELID磨削 氧化膜 界面反应 复合磨粒 α-Fe_(2)O_(3)
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硅片的在线电解修整超精密磨削 被引量:5
3
作者 于栋利 李东春 +3 位作者 何巨龙 田永君 刘世民 刁玉强 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第5期566-569,共4页
用铸铁短纤维结合剂金刚石砂轮与脉冲电解修整相配合,对硅片进行了在线电解修整(ELID)超精密磨削。研究了磨削工艺多数对硅片的加工质量及磨削效率的影响,采用原子力显微镜(AFM)与扫描电子隧道显微镜(STM)对硅片磨削表面进行了... 用铸铁短纤维结合剂金刚石砂轮与脉冲电解修整相配合,对硅片进行了在线电解修整(ELID)超精密磨削。研究了磨削工艺多数对硅片的加工质量及磨削效率的影响,采用原子力显微镜(AFM)与扫描电子隧道显微镜(STM)对硅片磨削表面进行了形貌分析,探讨其微观磨削机理。结果表明,砂轮中金刚石磨粒对硅片表面进行间歇式破碎,微观磨痕为Z字型;硅片表面粗糙度可达纳米级,R_a=4.0nm、R_z=7.8nm;整个硅片(3#)厚度变差为1.5μm;磨削硅片的变质层主要为原子面扭曲展及过渡层;磨削效率达1.07×10~3mm^3/min。 展开更多
关键词 在线电解修整 超精密磨削 变质层 硅片
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氮化硅陶瓷的ELID高速磨削工艺试验研究 被引量:4
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作者 尚振涛 黄含 +1 位作者 盛晓敏 宓海青 《湖南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期30-34,共5页
在采用封闭式阴极装置实现高速ELID磨削的基础上,对氮化硅陶瓷的ELID高速磨削工艺机理进行了研究.通过与非ELID高速磨削工艺的对比,揭示了氮化硅陶瓷ELID高速磨削的工艺机理,并给出了其表面粗糙度、磨削力与工艺参数之间的变化规律.这... 在采用封闭式阴极装置实现高速ELID磨削的基础上,对氮化硅陶瓷的ELID高速磨削工艺机理进行了研究.通过与非ELID高速磨削工艺的对比,揭示了氮化硅陶瓷ELID高速磨削的工艺机理,并给出了其表面粗糙度、磨削力与工艺参数之间的变化规律.这些规律表明:ELID高速磨削工艺能大大地减小氮化硅陶瓷的表面粗糙度值及磨削力,获得较好的表面质量.此外,砂轮线速度和磨削深度对其表面粗糙度值没有显著影响,且变化没有明显规律;而工件速度对表面粗糙度值存在一定的影响,表面粗糙度值随着工件进给速度的提高而增加,即表面加工质量有下降的趋势;ELID高速磨削工艺中的各类磨削参数均对氮化硅陶瓷的磨削力产生重大影响:磨削深度增加或工件速度的加快,都使磨削力变大;砂轮线速度的增加则导致磨削力下降. 展开更多
关键词 高速磨削 氮化硅陶瓷 ELID磨削 非ELID磨削
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在线电解修整镜面磨削中砂轮耐用度的研究 被引量:5
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作者 张飞虎 张春河 +1 位作者 欧海涛 袁哲俊 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第6期9-11,共3页
在线电解修整(ELID) 磨削是镜面磨削加工的新技术. 在分析ELID 镜面磨削机理的基础上,对ELID磨削过程中影响砂轮耐用度的主要因素,包括电解修整参数、磨削液成分、磨削工艺参数和砂轮结合剂等进行了实验研究和理论分... 在线电解修整(ELID) 磨削是镜面磨削加工的新技术. 在分析ELID 镜面磨削机理的基础上,对ELID磨削过程中影响砂轮耐用度的主要因素,包括电解修整参数、磨削液成分、磨削工艺参数和砂轮结合剂等进行了实验研究和理论分析,说明由于在线电解修整过程中的非线性电解作用,这些因素对砂轮磨损速度的影响可以通过残留维持电流反映出来,最后根据在线电解修整过程的特点,给出了用残留维持电流估算砂轮耐用度的计算公式. 展开更多
关键词 在线电解修整 砂轮 耐用度 磨削 镜面磨削
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铸铁结合剂微粉金刚石砂轮的在线电解修整的试验研究 被引量:7
6
作者 史兴宽 原京庭 +1 位作者 任敬心 彭炎午 《航空学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第5期611-614,共4页
针对硬脆材料光滑磨削表面的要求,在MM7120A精密平面磨床上自行制作了一套ELID磨削装置,并对铸铁结合剂微粉金刚石砂轮在线电解修整技术进行了试验研究。建立了电解参数对微粉砂轮表面修整形貌的影响关系,提出了ELID... 针对硬脆材料光滑磨削表面的要求,在MM7120A精密平面磨床上自行制作了一套ELID磨削装置,并对铸铁结合剂微粉金刚石砂轮在线电解修整技术进行了试验研究。建立了电解参数对微粉砂轮表面修整形貌的影响关系,提出了ELID的双重作用特性,即微量修锐和精密整形,并发现了电解膜在硬脆材料磨削过程中的重要功效。 展开更多
关键词 铸铁结合剂 金刚石 砂轮 在线电解修整
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微晶玻璃超精密磨削技术研究 被引量:6
7
作者 张飞虎 仇中君 陈明君 《中国机械工程》 CAS CSCD 北大核心 2000年第8期863-865,共3页
分析实现微晶玻璃超精密磨削的技术条件和在线电解修整超精密磨削机理 ,并采用铸铁基金刚石砂轮结合在线电解的磨削方法对微晶玻璃进行了精密磨削 ,获得 Ra为 2 .30 8nm的超光滑表面。
关键词 在线电解修整 微晶玻璃 超精密加工 超精密磨削
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微波铁氧体基片高效磨削技术研究 被引量:5
8
作者 王贵林 张飞虎 +1 位作者 张晓宾 栾殿荣 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1479-1482,共4页
针对微波铁氧体基片的功能要求、材料特性和磨削工艺特点,通过大量实验分析了铁氧体基片ELID磨削与普通磨削的磨削力对比结果和形成原因,以及磨削力随工艺参数的变化规律,在此基础上,对ELID磨削效率、表面质量及磨削中出现的问题和解决... 针对微波铁氧体基片的功能要求、材料特性和磨削工艺特点,通过大量实验分析了铁氧体基片ELID磨削与普通磨削的磨削力对比结果和形成原因,以及磨削力随工艺参数的变化规律,在此基础上,对ELID磨削效率、表面质量及磨削中出现的问题和解决途径进行了深入研究。实验结果表明,ELID磨削方法适用于微波铁氧体基片的高效磨削,保证了表面加工质量,将ELID磨削技术与平行研抛工艺结合起来,能够形成微波铁氧体基片精密高效的批量生产能力。 展开更多
关键词 微波铁氧体基片 ELID 磨削力 表面质量
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在线电解修整磨削与化学机械抛光相结合的蓝宝石基片组合加工技术 被引量:8
9
作者 徐志强 尹韶辉 +1 位作者 姜胜强 朱科军 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第11期1310-1315,共6页
通过分析ELID磨削和CMP抛光两种加工技术的原理和特点,充分结合两种技术的优点,对蓝宝石基片进行超光滑纳米级精度的组合加工。从理论上分析和计算了蓝宝石的临界切削深度,以及在不同粒度砂轮下的脆性和延性磨削方式;采用不同粒度的砂... 通过分析ELID磨削和CMP抛光两种加工技术的原理和特点,充分结合两种技术的优点,对蓝宝石基片进行超光滑纳米级精度的组合加工。从理论上分析和计算了蓝宝石的临界切削深度,以及在不同粒度砂轮下的脆性和延性磨削方式;采用不同粒度的砂轮对蓝宝石基片进行超精密ELID磨削实验,快速地获得高质量的加工表面,同时采用磁流变斑点法对加工面的亚表面损伤进行测量;利用CMP抛光技术对磨削加工后的表面进行光整,以减少磨削时产生的加工缺陷,使工件的表面质量得到进一步改善与提高,最终获得亚纳米级的表面粗糙度。 展开更多
关键词 蓝宝石基片 在线电解修整磨削 化学机械抛光 组合加工技术
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SiCp/Al复合材料的ELID精密加工工艺 被引量:4
10
作者 关佳亮 朱磊 +2 位作者 陈玲 马新强 张孝辉 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期823-829,共7页
针对高体积分数SiCp/Al复合材料的加工难题,采用在线电解修整精密磨削加工工艺对其进行精密磨削实验研究.首先,通过建立单颗粒磨削模型,得到磨粒的最大变形磨屑厚度,进而利用Matlab软件,得到SiCp/Al复合材料塑性域磨削的试验参数范围.然... 针对高体积分数SiCp/Al复合材料的加工难题,采用在线电解修整精密磨削加工工艺对其进行精密磨削实验研究.首先,通过建立单颗粒磨削模型,得到磨粒的最大变形磨屑厚度,进而利用Matlab软件,得到SiCp/Al复合材料塑性域磨削的试验参数范围.然后,通过单因素试验探究磨削深度、砂轮转速以及工件移动速度对加工表面粗糙度的影响,利用正交试验最优参数与理论分析得到的塑性域磨削的试验参数范围进行对比,确定了最优工艺参数.最后,以最优试验参数对体积分数40%的SiCp/Al复合材料进行精密磨削加工,获得表面粗糙度Ra 0.030μm的加工表面.研究表明:应用ELID精密磨削加工工艺,采用W5铸铁基金刚石砂轮,当砂轮转速为1 500 r/min,磨削深度在0.1μm,工件移动速度为2 m/min时,磨削效果最佳. 展开更多
关键词 铝基碳化硅复合材料 电解修整磨削 表面粗糙度 磨削参数
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氮化硅陶瓷ELID磨削预修锐与氧化膜成膜的影响因素 被引量:3
11
作者 万林林 刘志坚 +1 位作者 邓朝晖 刘伟 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2017年第2期55-61,共7页
针对氮化硅陶瓷回转曲面零件高效低损伤的加工要求,设计适用于回转面加工的在线电解修整(ELID)磨削实验装置,在数控坐标磨床上进行预修锐实验。基于平行电极电解池模型,建立预修锐时间与氧化膜成膜厚度的关系模型,分析占空比和极间间隙... 针对氮化硅陶瓷回转曲面零件高效低损伤的加工要求,设计适用于回转面加工的在线电解修整(ELID)磨削实验装置,在数控坐标磨床上进行预修锐实验。基于平行电极电解池模型,建立预修锐时间与氧化膜成膜厚度的关系模型,分析占空比和极间间隙对成膜效果的影响规律。结果表明:工艺参数对预修锐时间的影响程度依次为占空比>电解液流量>砂轮转速>脉冲频率。采用田口方法获得最优工艺参数组合为占空比0.75,脉冲频率50kHz,砂轮转速9 000r/min,电解液流量1.0L/min。 展开更多
关键词 ELID磨削 工程陶瓷 预修锐:氧化膜
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结合ELID磨削与MAF工艺对复杂曲面的加工控制 被引量:6
12
作者 陈逢军 尹韶辉 王宇 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第22期2657-2661,共5页
在线电解修锐(electrolytic in-process dressing,ELID)磨削可以高效率地光整加工,而磁力研磨(magnetic abrasive finishing,MAF)具有柔性加工的特点。以三轴立式加工中心为平台,研发了一种结合ELID磨削与MAF的新型组合工艺。设计了ELI... 在线电解修锐(electrolytic in-process dressing,ELID)磨削可以高效率地光整加工,而磁力研磨(magnetic abrasive finishing,MAF)具有柔性加工的特点。以三轴立式加工中心为平台,研发了一种结合ELID磨削与MAF的新型组合工艺。设计了ELID磨削工具和MAF工具头,提出了利用该组合工艺对复杂曲面进行加工的控制方法。分析了由于刀具磨损产生的工件形状误差,提出了误差补偿的措施,同时也讨论了避免加工干涉的方法。最后,开发出能同时适用于ELID磨削与MAF的复杂曲面光整加工控制与补偿软件。 展开更多
关键词 磁力研磨 在线电解修锐磨削 复杂曲面 误差补偿 干涉
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轴承套圈内圆在线电解修整磨削试验 被引量:9
13
作者 杨黎健 任成祖 靳新民 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期212-214,共3页
提出了一种新的在线电解修整磨削轴承内圈的方法。该方法直接将导电的金属工件做为电解阴极,将铸铁基CBN砂轮作为阳极,在磨削过程中利用工件电极对砂轮进行修锐,维持了与传统在线电解修整磨削相同的磨削过程,保证了磨削过程的稳定进行... 提出了一种新的在线电解修整磨削轴承内圈的方法。该方法直接将导电的金属工件做为电解阴极,将铸铁基CBN砂轮作为阳极,在磨削过程中利用工件电极对砂轮进行修锐,维持了与传统在线电解修整磨削相同的磨削过程,保证了磨削过程的稳定进行。使用W10的砂轮可获得表面粗糙度Ra为0.03μm的加工表面。 展开更多
关键词 在线电解修整 内圆磨削 电火花整形 轴承套圈
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ELID超精密磨削钢结硬质合金及其表面质量分析 被引量:7
14
作者 朱波 袁哲俊 +1 位作者 张飞虎 赵清亮 《中国机械工程》 CAS CSCD 北大核心 2000年第8期866-868,共3页
运用铁基结合剂金刚石砂轮与专用高频脉冲电源相配合 ,对钢结硬质合金 ( GT35)进行在线电解修整 ( ELID)精密磨削。分析了 ELID超精密镜面磨削异相非均质材料钢结硬质合金表面的磨削机理 ,并通过原子力显微镜对其表面进行了微观表面形... 运用铁基结合剂金刚石砂轮与专用高频脉冲电源相配合 ,对钢结硬质合金 ( GT35)进行在线电解修整 ( ELID)精密磨削。分析了 ELID超精密镜面磨削异相非均质材料钢结硬质合金表面的磨削机理 ,并通过原子力显微镜对其表面进行了微观表面形貌的分析。研究结果表明 ,采用 ELID磨削技术解决了钢结硬质合金零件的超精密磨削加工 ,钢结硬质合金磨削表面粗糙度可达纳米级 ,Ra≤ 2 0 nm。 展开更多
关键词 在线电解修整 钢结硬质合金 超精密磨削
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在线电解修整磨削液研究现状及其展望 被引量:11
15
作者 伍俏平 王煜 +1 位作者 瞿为 邓朝晖 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第9期1118-1125,共8页
在线电解修整(electrolytic in-process dressing,ELID)镜面磨削过程中,磨削液的成份及配比对砂轮表面氧化膜的生成速度、致密性、黏附性以及绝缘性等都有着很大的影响,磨削液的配比及优化成为ELID磨削过程中的关键技术之一。主要介绍了... 在线电解修整(electrolytic in-process dressing,ELID)镜面磨削过程中,磨削液的成份及配比对砂轮表面氧化膜的生成速度、致密性、黏附性以及绝缘性等都有着很大的影响,磨削液的配比及优化成为ELID磨削过程中的关键技术之一。主要介绍了ELID磨削液的成分配比、磨削液对氧化膜的影响以及ELID磨削液改进这几个方面的研究进展,并对ELID磨削液下一步的研究重点进行了展望。 展开更多
关键词 ELID镜面磨削技术 ELID磨削液 氧化膜 成膜特性
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结合ELID磨削与磁流变光整加工的单晶硅反射镜超精密制造技术 被引量:4
16
作者 尹韶辉 陈逢军 +3 位作者 张导成 大森整 林伟民 上原嘉宏 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2007年第3期220-223,共4页
分析了在线电解修整(ELID)磨削和磁流变光整加工(MRF)的加工原理与特点,充分结合这2种技术的优点对单晶硅反射镜进行纳米级精度的组合加工.首先进行ELID高效率磨削,在线检测工件表面误差后进行补偿磨削,使反射镜面加工成形,并获得较好... 分析了在线电解修整(ELID)磨削和磁流变光整加工(MRF)的加工原理与特点,充分结合这2种技术的优点对单晶硅反射镜进行纳米级精度的组合加工.首先进行ELID高效率磨削,在线检测工件表面误差后进行补偿磨削,使反射镜面加工成形,并获得较好的形状精度和表面质量.然后,利用磁流变技术进行确定性的光整加工,以减少反射镜的亚表面损伤,使加工表面的形状精度与表面粗糙度得到很大提高与改善.利用该组合工艺,对硅反射镜进行了系列的加工实验,高效率地得到了低于1 nm RMS的表面粗糙度和69 nmP-V形状精度的工件表面. 展开更多
关键词 单晶硅反射镜 在线电解修整 磁流变光整加工 形状精度 表面粗糙度
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在线电解修整磨削的电解磨削液研制 被引量:3
17
作者 朴承镐 乔宏 +1 位作者 李杰 李建军 《光学技术》 CAS CSCD 2001年第1期57-59,62,共4页
为了对金属结合剂砂轮电解修整 ,研究并配制了电解磨削液。根据电解磨削液的性能要求 ,分析确定了电解磨削液中具有电解、钝化、防锈和润滑等性能的各组元 ,并通过静态实验确认了各组元对电解磨削液性能的影响。确定最佳电解磨削液在实... 为了对金属结合剂砂轮电解修整 ,研究并配制了电解磨削液。根据电解磨削液的性能要求 ,分析确定了电解磨削液中具有电解、钝化、防锈和润滑等性能的各组元 ,并通过静态实验确认了各组元对电解磨削液性能的影响。确定最佳电解磨削液在实际系统中对金属结合剂砂轮进行电解修整得到了较为满意的修整结果。所研制的电解磨削液具有实用价值 ,可用于生产。 展开更多
关键词 电解磨削液 电解修整 金属结合剂砂轮 研制
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金刚石砂轮电解修整参数对工具阴极形状的影响 被引量:2
18
作者 王长昌 于爱兵 邹峰 《工具技术》 北大核心 2005年第8期46-48,共3页
在金属结合剂成形金刚石砂轮电解修整过程中,电解参数对工具阴极的形状有显著影响。通过有限元法计算出阴极曲线形状,并与砂轮廓形比较,分析了砂轮廓形、修整电压、电解液电导率、电流效率和阳极砂轮表面的电流密度等参数对工具阴极形... 在金属结合剂成形金刚石砂轮电解修整过程中,电解参数对工具阴极的形状有显著影响。通过有限元法计算出阴极曲线形状,并与砂轮廓形比较,分析了砂轮廓形、修整电压、电解液电导率、电流效率和阳极砂轮表面的电流密度等参数对工具阴极形状的影响。 展开更多
关键词 金刚石砂轮 电解 修整参数 阴极形状 工具阴极 曲线形状 电解修整 砂轮廓形 金属结合剂 电解参数
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一种光学材料高效超精密加工方法 被引量:16
19
作者 尹韶辉 大森整 +3 位作者 林伟民 上原嘉宏 陈逢军 朱科军 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第21期2540-2544,共5页
提出了结合磁流变光整加工(MRF)与在线电解修整(ELID)磨削对各种光学材料进行超精密加工的方法,即采用ELID磨削进行预抛光以获得高质量表面,然后采用MRF进行精密抛光以进一步减小表面粗糙度和形状误差。利用该组合工艺对BK7玻璃、硅晶... 提出了结合磁流变光整加工(MRF)与在线电解修整(ELID)磨削对各种光学材料进行超精密加工的方法,即采用ELID磨削进行预抛光以获得高质量表面,然后采用MRF进行精密抛光以进一步减小表面粗糙度和形状误差。利用该组合工艺对BK7玻璃、硅晶玻璃、碳化硅等光学材料进行了超精密加工实验,可以在短时间内使光学材料工件表面得到亚纳米级的表面粗糙度和峰谷值为λ/20(λ为单位波长,λ=632.8nm)的形状精度。 展开更多
关键词 ELID磨削 磁流变光整加工(MRF) 超精密组合加工 形状精度 表面粗糙度 光学材料
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ELID磨削预修锐阶段砂轮表面氧化膜厚度测量及生长特性 被引量:2
20
作者 王党利 马保吉 宁生科 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第18期2173-2175,2207,共4页
针对ELID磨削砂轮表面氧化膜的厚度测量及生长特性,采用激光和涡流传感器进行氧化膜的厚度模拟测试,以验证测量系统的准确性,并在预修锐阶段对氧化膜的生长特性进行观察。研究结果表明:在前期,氧化膜沿砂轮半径向内生长的速度大于向外... 针对ELID磨削砂轮表面氧化膜的厚度测量及生长特性,采用激光和涡流传感器进行氧化膜的厚度模拟测试,以验证测量系统的准确性,并在预修锐阶段对氧化膜的生长特性进行观察。研究结果表明:在前期,氧化膜沿砂轮半径向内生长的速度大于向外生长的速度,且基本呈线性生长,氧化膜生长速度最快;在后期,向内生长速度减缓,向外生长速度稍快,但氧化膜总体生长速度变慢。 展开更多
关键词 ELID 氧化膜 测量 生长特性 传感器
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