亚微米电子束曝光机激光工件台系统

介绍了正在现场使用的亚微米电子束曝光机激光工件台系统，详细论述了它的技术特征，分析了影响重复测量精度的误差因素，给出了系统各部分实际检测达到的技术指标。

亚微米电子束曝光机激光工件台控制系统设计

系统介绍了亚微米电子束曝光机激光工件台控制系统的结构组成以及工件台自校正ＰＩＤ定位控制系统的设计。