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电子束曝光机束径和束流最佳配合研究
1
作者
陈振生
胡咏梅
张玉林
《电子测量技术》
1998年第4期40-43,共4页
文中介绍了电子束曝光机束斑直径和束流大小的测量方法,提出调整束斑直径的基本原理,设计了一种实现束径和束流最佳配合的自动测量和调整系统。
关键词
电子束曝光机
束斑直径
束流大小
自动测量
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职称材料
题名
电子束曝光机束径和束流最佳配合研究
1
作者
陈振生
胡咏梅
张玉林
机构
山东工业大学
出处
《电子测量技术》
1998年第4期40-43,共4页
文摘
文中介绍了电子束曝光机束斑直径和束流大小的测量方法,提出调整束斑直径的基本原理,设计了一种实现束径和束流最佳配合的自动测量和调整系统。
关键词
电子束曝光机
束斑直径
束流大小
自动测量
Keywords
electron-beam exposure machine beam spot beam current automatic measurement and modificatin
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
TM93 [电气工程—电力电子与电力传动]
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作者
出处
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1
电子束曝光机束径和束流最佳配合研究
陈振生
胡咏梅
张玉林
《电子测量技术》
1998
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