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题名SU-8环氧树脂的分离实验研究
被引量:1
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作者
张晓玉
周崇喜
姚汉民
邢廷文
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机构
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
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出处
《微细加工技术》
EI
2007年第2期13-15,33,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(60408004)
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文摘
为分析和解决商业用SU-8胶在355 nm波长的吸收性和后烘缩胶等问题,先采用柱层析对SU-8环氧树脂进行分离,然后进一步用高压液相色谱-尺寸排阻色谱法对SU-8环氧树脂进行分离和分析。结果表明,SU-8环氧树脂包括SU-1,SU-2,SU-4,SU-6和SU-8多种组分及其它杂质,分子量分布在100-100 000的范围。根据分析结果,研究了上述问题出现的原因,并配制了性能优化的SU-8光刻胶,结合全息光刻技术制作了三维光子晶体。
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关键词
su-8光刻胶
su-8环氧树脂
柱层析法
尺寸排阻色谱法
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Keywords
su-8 photoresist
epon su-8
column chromatography
size exclusion chromatography
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分类号
TN204
[电子电信—物理电子学]
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