增强型等离子化学气象沉积炉均匀布气研究

研究感应式射频等离子体技术,为提高离化率,利用流体力学的相关数值计算方法,对增强型等离子化学气象沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD)设备的布气系统进行理论分析,得到平板布气装置中压力与孔径的关系。为了实现根据PECVD设备最大面积的均匀性布气,根据PECVD设备中的压力分布,优化现有的布气装置结构参数,以实现孔径补偿气流的效果。并结合专用的CFD软件对上述不同结构中的气流进行仿真,验证所优化的布气装置的合理性。用到现有的设备当中测试,提高了装备的均匀布气效果。