一种基于梳状滤波器的固体腔厚度测量方法

针对密集波分复用(DWDM)技术中所使用的梳状滤波器,对固体腔研磨厚度指标要求极高Δν=200GHz,Δd≤13.37nm,本文提出运用法布里-珀罗干涉理论(Fabry-Perot),研究设计了一种针对固体腔厚度的现场检测方法。该方法根据被测元件等效为系统干涉腔的间接测量方法,以通过被测元件后的法珀相邻能量极值特性,作为检测厚度合格的判定依据,实现了对超窄带梳状滤波器组成元件——未镀膜层固体腔(SiO2)的高精度厚度检测。实验结果表明,该测量方法适用于对透光介质的厚度检测。

超窄带梳状滤波器固体腔的厚度测量方法研究

运用法布里-珀罗(Fabry-Perot)干涉技术,将被测元件等效成测量系统的干涉腔,采用相邻干涉极值的判定依据,实现了对固体腔型超窄带梳状滤波器组成元件——未镀膜层固体腔(熔融石英)的高精度厚度测量。该光学测量系统结构简单、温度稳定性好、成本低,完全可以实现以往需采用光谱分析仪才能完成的超精细测量。