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氟化类金刚石薄膜的研究进展
被引量:
1
1
作者
张茹芝
刘贵昌
邓新绿
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期271-275,共5页
氟化类金刚石 (FDLC)薄膜是在传统类金刚石膜基础上发展起来的一种新型表面改性材料。本文简述了FDLC薄膜的结构、性能 ,重点介绍了其制备工艺 ,讨论了源气体的种类和退火工艺对薄膜的影响。
关键词
氟化类金刚石薄膜
类金刚石膜
表面改性材料
气体
性能
制备工艺
下载PDF
职称材料
类金刚石膜及其淀积条件的研究
被引量:
5
2
作者
刘贵昂
《大自然探索》
1998年第4期72-75,共4页
类金刚石薄膜是80年代初出现的新型非金属薄膜材料之一,目前已受到了人们广泛的注视并引起了人们的极大兴趣。本文重点介绍双离子束溅射方法,对该方法在不同条件下制备的类金刚石薄膜进行了部分性能测试,通过对测试结果的比较及深...
类金刚石薄膜是80年代初出现的新型非金属薄膜材料之一,目前已受到了人们广泛的注视并引起了人们的极大兴趣。本文重点介绍双离子束溅射方法,对该方法在不同条件下制备的类金刚石薄膜进行了部分性能测试,通过对测试结果的比较及深入讨论,获得了用双离子束溅射方法制备性能优异类金刚石薄膜的最佳条件及有用结论。
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关键词
类金刚石薄膜
性能测试
最佳条件
发展前景
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职称材料
题名
氟化类金刚石薄膜的研究进展
被引量:
1
1
作者
张茹芝
刘贵昌
邓新绿
机构
大连理工大学化工学院
大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期271-275,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目 (No .2 98760 0 3 )
文摘
氟化类金刚石 (FDLC)薄膜是在传统类金刚石膜基础上发展起来的一种新型表面改性材料。本文简述了FDLC薄膜的结构、性能 ,重点介绍了其制备工艺 ,讨论了源气体的种类和退火工艺对薄膜的影响。
关键词
氟化类金刚石薄膜
类金刚石膜
表面改性材料
气体
性能
制备工艺
Keywords
fdlc
,
dlc
,
development
,
deposition
,
property
分类号
TB332 [一般工业技术—材料科学与工程]
O484.41 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
类金刚石膜及其淀积条件的研究
被引量:
5
2
作者
刘贵昂
机构
湛江海洋大学
出处
《大自然探索》
1998年第4期72-75,共4页
文摘
类金刚石薄膜是80年代初出现的新型非金属薄膜材料之一,目前已受到了人们广泛的注视并引起了人们的极大兴趣。本文重点介绍双离子束溅射方法,对该方法在不同条件下制备的类金刚石薄膜进行了部分性能测试,通过对测试结果的比较及深入讨论,获得了用双离子束溅射方法制备性能优异类金刚石薄膜的最佳条件及有用结论。
关键词
类金刚石薄膜
性能测试
最佳条件
发展前景
Keywords
dlc
films
test of properties
the best deposited conditions developing future
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
氟化类金刚石薄膜的研究进展
张茹芝
刘贵昌
邓新绿
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
1
下载PDF
职称材料
2
类金刚石膜及其淀积条件的研究
刘贵昂
《大自然探索》
1998
5
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职称材料
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参考文献
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