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FEA场发射微尖的一些氮化物薄膜
被引量:
1
1
作者
季旭东
《光电子技术》
CAS
1999年第3期207-211,共5页
一些Ⅲ主族以及过渡金属氮化物具有低逸出功以及稳定场发射的性 能,适合于用作FEA发射微尖表面的薄膜。本文对这些氮化物薄膜作了制备与性 能方面的介绍。
关键词
场致发射阵列
氮化物薄膜
FED器件
显示器件
下载PDF
职称材料
题名
FEA场发射微尖的一些氮化物薄膜
被引量:
1
1
作者
季旭东
机构
华东电子管厂
出处
《光电子技术》
CAS
1999年第3期207-211,共5页
文摘
一些Ⅲ主族以及过渡金属氮化物具有低逸出功以及稳定场发射的性 能,适合于用作FEA发射微尖表面的薄膜。本文对这些氮化物薄膜作了制备与性 能方面的介绍。
关键词
场致发射阵列
氮化物薄膜
FED器件
显示器件
Keywords
fea
,
film
,
fabrication
,
performance
,
nitride
分类号
TN383.1 [电子电信—物理电子学]
TN141 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
FEA场发射微尖的一些氮化物薄膜
季旭东
《光电子技术》
CAS
1999
1
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