FEA场发射微尖的一些氮化物薄膜

一些Ⅲ主族以及过渡金属氮化物具有低逸出功以及稳定场发射的性 能，适合于用作ＦＥＡ发射微尖表面的薄膜。本文对这些氮化物薄膜作了制备与性 能方面的介绍。