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硅基铁电信息存储技术 被引量：1
1
作者 任天令 张盛 +1 位作者 刘理天 李志坚 《电子科技导报》 1999年第9期37-40,共4页
硅基铁电存储器是通过硅加工工艺在半导体集成电路中集成铁电体材料制成的新型存储器。这种新兴的存储器是铁电硅微集成系统 Ｆ Ｓ Ｍ Ｉ Ｓ 的一个重要应用，有望在低操作电压、低功耗、高存储密度、优异的非挥发存储性能等多方面超... 硅基铁电存储器是通过硅加工工艺在半导体集成电路中集成铁电体材料制成的新型存储器。这种新兴的存储器是铁电硅微集成系统 Ｆ Ｓ Ｍ Ｉ Ｓ 的一个重要应用，有望在低操作电压、低功耗、高存储密度、优异的非挥发存储性能等多方面超出单纯的半导体存储器，并很可能成为２１ 展开更多
关键词 铁电存储器 非挥发存储器 IC卡 fsmis技术
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