机载雷达罩曲面FSS阵图形制作研究

采用电镀铜箔蚀刻法和图形电镀反贴法，研究了雷达罩曲面ＦＳＳ阵图形制作工艺，解决了液态光抗蚀油墨的立体涂布、底片分割贴装、旋转狭缝曝光及蚀刻问题；另外还解决了图形电镀、压模反贴问题。图形精度分别达到±０ ．０８ ｍｍ 和±０ ．０６ ｍｍ ，满足≤±０ ．１０ ｍｍ 的图形公差要求。

液态感光抗蚀油墨在复杂三维曲面 精细图形制作中应用研究

本文详细介绍了液态感光抗蚀油墨在复杂三维曲面上制作精细图形的工艺过程,阐述了在工艺操作过程中应注意的诸多影响因素,制作图形精度达到0.08mm。