机载雷达罩曲面FSS阵图形制作研究

采用电镀铜箔蚀刻法和图形电镀反贴法，研究了雷达罩曲面ＦＳＳ阵图形制作工艺，解决了液态光抗蚀油墨的立体涂布、底片分割贴装、旋转狭缝曝光及蚀刻问题；另外还解决了图形电镀、压模反贴问题。图形精度分别达到±０ ．０８ ｍｍ 和±０ ．０６ ｍｍ ，满足≤±０ ．１０ ｍｍ 的图形公差要求。