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Fabrication and sensing characteristics of intrinsic Fabry–Perot interferometers in fiber tapers 被引量:3
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作者 张小贝 熊家宝 +4 位作者 顾凡 李金龙 王文辕 庞拂飞 王廷云 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第12期18-21,共4页
This Letter presents intrinsic Fabry–Perot interferometers in the fiber tapers fabricated by the femtosecond laser micromachining technique. The sensing of temperatures as high as 1000°C based on the fiber devic... This Letter presents intrinsic Fabry–Perot interferometers in the fiber tapers fabricated by the femtosecond laser micromachining technique. The sensing of temperatures as high as 1000°C based on the fiber device is characterized, with a sensitivity of 15.28 pm∕°C. A nearly linear refractive index sensing is also obtained by using the fringe visibility to characterize, with a sensitivity of 73.05 dB∕RIU. These intrinsic Fabry–Perot interferometers in fiber tapers may be useful in applications of high-temperature and linear refractive index sensing. 展开更多
关键词 perot interferometers in fiber tapers Fabrication and sensing characteristics of intrinsic fabry
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Mode coupling with Fabry-Perot modes in photonic crystal slabs
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作者 秦恳 胡鹏 +2 位作者 刘杰 向红 韩德专 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第8期90-94,共5页
Fabry–Perot(FP)modes are a class of fundamental resonances in photonic crystal(PhC)slabs.Owing to their low quality factors,FP modes are frequently considered as background fields with their resonance nature being ne... Fabry–Perot(FP)modes are a class of fundamental resonances in photonic crystal(PhC)slabs.Owing to their low quality factors,FP modes are frequently considered as background fields with their resonance nature being neglected.Nevertheless,FP modes can play important roles in some phenomena,as exemplified by their coupling with guided resonance(GR)modes to achieve bound states in the continuum(BIC).Here,we further demonstrate the genuine resonance mode capability of FP modes PhC slabs.Firstly,we utilize temporal coupled-mode theory to obtain the transmittance of a PhC slab based on the FP modes.Secondly,we construct exceptional points(EPs)in both momentum and parameter spaces through the coupling of FP and GR modes.Furthermore,we identify a Fermi arc connecting two EPs and discuss the far-field polarization topology.This work elucidates that the widespread FPs in PhC slabs can serve as genuine resonant modes,facilitating the realization of desired functionalities through mode coupling. 展开更多
关键词 fabry–perot mode photonic crystal slab mode coupling exceptional point
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基于可重构PRS的一维电子波束转向Fabry-Perot天线设计
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作者 张海燕 石喜玲 +1 位作者 高丽珍 赵俊梅 《电子技术应用》 2024年第9期52-58,共7页
设计了一种具有一维电子波束转向的新型Fabry-Perot(F-P)谐振腔天线。该天线由同轴探针馈电的方形微带贴片天线作为辐射源,并采用加载PIN二极管的可重构部分反射表面(Partially Reflective Surface,PRS)实现波束转向。所设计的可重构PRS... 设计了一种具有一维电子波束转向的新型Fabry-Perot(F-P)谐振腔天线。该天线由同轴探针馈电的方形微带贴片天线作为辐射源,并采用加载PIN二极管的可重构部分反射表面(Partially Reflective Surface,PRS)实现波束转向。所设计的可重构PRS由6×6个花瓣型单元组成,并均分为相等的两部分Part 1和Part 2,分别由两个控制信号独立控制,因此可以有选择地调节每部分PIN二极管的开关状态。所设计的天线具有三种不同的辐射模式。测量结果表明,天线主波束能够在+9°、0°、-9°三种离散状态下自由切换。所有状态下重叠的阻抗带宽(|S_(11)|<-10 dB)为5.5%(5.43~5.74 GHz),最大增益达到14.2 dBi。 展开更多
关键词 fabry-perot(F-P)谐振腔天线 电子波束转向 可重构PRS PIN二极管 离散状态
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First scanning Fabry–Perot interferometer developed in China 被引量:2
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作者 Guoyuan Hu Yong Ai +2 位作者 Yange Zhang Hong Zhang Jue Liu 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2014年第5期563-570,共8页
A scanning Fabry–Perot interferometer(SFPI)was first developed and deployed at the Langfang near Space Environment Field Scientific Observation Station(39.38°N,116.65°E)of the National Space Science Center,... A scanning Fabry–Perot interferometer(SFPI)was first developed and deployed at the Langfang near Space Environment Field Scientific Observation Station(39.38°N,116.65°E)of the National Space Science Center,CAS.The instrument is designed to measure the mesospheric and thermospheric wind velocities using the atomic oxygen 557.7-nm and 630.0-nm emissions.Data from February 28 to March 3and February 28 to March 15 in 2011 were chosen for case study and mean value study,respectively.The errors of the meridional and zonal winds are 6.5 and 7.5 m/s at 557.7-nm and at 630.0-nm,they are 7.1 and 6.6 m/s,respectively.During the whole experiment,the instrument has performed in good condition and provided high-quality data.The mean neutral wind data were consistent with that predicted by HWM07.Good agreement has been found in between the SFPI and a neighbor Meridian Project Fabry–Perot interferometer(MP FPI),with a corresponding coefficient(r2)larger than 80%.In general,the scanning FPI meets the design goal,and it is a useful ground-based instrument for measuring mesospheric and thermospheric winds at middle latitudes and is able to provide high-quality data for future scientific studies. 展开更多
关键词 中国科学院 扫描法 干涉仪 地面仪器 空间环境 科学中心 大气风速 设计目标
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Ultrasonic sensitivity-improved fiber-optic Fabry-Perot interferometer using a beam collimator and its application for ultrasonic imaging of seismic physical models 被引量:3
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作者 Zhi-Hua Shao Xue-Guang Qiao +1 位作者 Feng-Yi Chen and Qiang-Zhou Rongt 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第9期128-136,共9页
An ultrasonic sensitivity-improved fiber-optic Fabry-Perot interferometer (FPI) is proposed and employed for ultra- sonic imaging of seismic physical models (SPMs). The FPI comprises a flexible ultra-thin gold fil... An ultrasonic sensitivity-improved fiber-optic Fabry-Perot interferometer (FPI) is proposed and employed for ultra- sonic imaging of seismic physical models (SPMs). The FPI comprises a flexible ultra-thin gold film and the end face of a graded-index multimode fiber (MMF), both of which are enclosed in a ceramic tube. The MMF in a specified length can collimate the diverged light beam and compensate for the light loss inside the air cavity, leading to an increased spectral fringe visibility and thus a steeper spectral slope. By using the spectral sideband filtering technique, the collimated FP1 shows an improved ultrasonic response. Moreover, two-dimensional images of two SPMs are achieved in air by recon- structing the pulse-echo signals through using the time-of-flight approach. The proposed sensor with easy fabrication and compact size can be a good candidate for high-sensitivity and high-precision nondestructive testing of SPMs. 展开更多
关键词 fiber-optic sensor fabry-perot interferometer seismic physical model
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Simple capillary-based extrinsic Fabry–Perot interferometer for strain sensing 被引量:1
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作者 张小贝 邵海洋 +4 位作者 潘海阳 杨勇 白化文 庞拂飞 王廷云 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第7期9-12,共4页
A simple capillary-based extrinsic Fabry–Perot structure is presented and fabricated, using the manual welding method with the strain sensing characteristics investigated in detail. Strain sensitivities of 4.2, 2.8, ... A simple capillary-based extrinsic Fabry–Perot structure is presented and fabricated, using the manual welding method with the strain sensing characteristics investigated in detail. Strain sensitivities of 4.2, 2.8, and2.4 pm∕με are obtained experimentally with the interferometer length around 50 μm and the inner diameter of 75, 50, and 25 μm, respectively. The underlying physics of the strain sensitivity of this device is negatively correlated with the interferometer length and positively correlated with the capillary inner diameter, which provides two simple parameters to tailor the strain sensitivity. 展开更多
关键词 interferometer capillary extrinsic manual length fabry fabricating Strain underlying tailor
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Temperature-insensitive refractive index sensor based on an optical fiber extrinsic Fabry–Perot interferometer processed by a femtosecond laser
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作者 刘鹏飞 姜澜 +2 位作者 王素梅 曹志涛 王鹏 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第2期11-15,共5页
An optical fiber extrinsic Fabry-Perot interferometer (EFPI) is designed and fabricated for refractive index (RI) sensing. To test the RI of liquid, the following two different methods are adopted: the wavelength... An optical fiber extrinsic Fabry-Perot interferometer (EFPI) is designed and fabricated for refractive index (RI) sensing. To test the RI of liquid, the following two different methods are adopted: the wavelength tracking method and the Fourier-transform white-light interferometry (FTWLI). The sensitivities of sensors with cavity lengths of 288.1 and 358.5 μm are 702.312 nm/RIU and 396.362 μm/RIU, respectively, by the two methods. Our work provides a new kind of RI sensor with the advantages of high sensitivity, mechanical robustness, and low cross sensitivity to temperature. Also, we provide a new method to deal with gold film with a femtosecond laser. 展开更多
关键词 fabry perot interferometers Fiber optic sensors interferometerS Optical fiber fabrication Optical fibers REFRACTOMETERS Ultrashort pulses
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A Novel Laser Wavelength Measurement Method Based on Scanning Fabry-Perot Interferometer
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作者 Xiao Xiao Yuanfu Lu Jianhua Chen Xiaojing Gong Guangzhi Feng Wenlong Yu Fengqi Yu Jin Lei 《光学应用(中英文版)》 2013年第3期35-42,共8页
关键词 光学 光本性 理论 FPI
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Miniaturized Fiber-Optic Fabry-Perot Interferometer for Highly Sensitive Refractive Index Measurement
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作者 Ming Deng Tao Zhu +1 位作者 Yun-Jiang Rao Hong Li 《Journal of Electronic Science and Technology of China》 2008年第4期365-368,共4页
This paper presents a novel miniaturized fiber-optic Fabry-Peort interferometer (FPI) for highly sensitive refractive index measurement. This device was tested for the refractive indices of various liquids including... This paper presents a novel miniaturized fiber-optic Fabry-Peort interferometer (FPI) for highly sensitive refractive index measurement. This device was tested for the refractive indices of various liquids including acetone and ethanol at room temperature. The sensitivity for measurement of refractive index change of ethanol is 1138 nm/RIU at the wavelength of 1550 nm. In addition, the sensor fabrication is simple including only cleaving, splicing, and etching. The signal is stable with high visibility. Therefore, it provides a valuable tool in biological and chemical applications. 展开更多
关键词 Fiber optic sensors fabry-perot miniature sensor photonic crystal fiber refractive indexmeasurement.
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双频低剖面Fabry-Perot天线的研究与设计
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作者 李航 宗志园 吴文 《微波学报》 CSCD 北大核心 2023年第S01期88-91,共4页
本文提出了一种基于超表面(MTS)的Fabry-Perot天线,实现了双频高增益情况下的低剖面特性。研究Fabry-Perot天线的谐振器模型,通过射线追踪法获得FP天线谐振时的相位条件。所研究的天线由两部分组成,双频微带天线作为馈源,提供2.4GHz和5.... 本文提出了一种基于超表面(MTS)的Fabry-Perot天线,实现了双频高增益情况下的低剖面特性。研究Fabry-Perot天线的谐振器模型,通过射线追踪法获得FP天线谐振时的相位条件。所研究的天线由两部分组成,双频微带天线作为馈源,提供2.4GHz和5.4GHz的辐射。MTS作为部分反射表面(PRS)调节反射幅度和相位,当PRS满足对应的谐振条件时,可以在2.4GHz提供11.8dB的峰值增益和0.068λ的剖面高度,在5.4GHz提供14dB的峰值增益和0.153λ的剖面高度。 展开更多
关键词 超表面(MTS) fabry-perot天线 双频 低剖面
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基于Fabry-Perot腔的光学真空测量技术研究 被引量:1
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作者 范栋 李得天 +1 位作者 习振华 刘坤 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第7期989-995,共7页
基于从头计算理论,对氩气摩尔极化率、摩尔磁化率和维里系数等物理参数进行计算,结合维里状态方程和Lorentz-Lorenz方程建立了气体压力关于折射率的理论参数模型.利用基于Fabry-Perot腔的光学真空测量装置,通过精确测量Fabry-Perot腔内... 基于从头计算理论,对氩气摩尔极化率、摩尔磁化率和维里系数等物理参数进行计算,结合维里状态方程和Lorentz-Lorenz方程建立了气体压力关于折射率的理论参数模型.利用基于Fabry-Perot腔的光学真空测量装置,通过精确测量Fabry-Perot腔内激光的谐振频率变化,获得气体折射率和气体压力,在10^(5) Pa时,折射率相对测量不确定度为1.8×10^(-11),气体压力相对不确定度为4.4×10^(-6).对比分析基于Fabry-Perot腔的光学真空测量装置与电容薄膜真空计获得的测量压力,结果表明基于Fabry-Perot腔的光学真空测量方法具有较高的稳定性和准确性. 展开更多
关键词 真空测量 量子化 fabry-perot 气体折射率 不确定度
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高增益Fabry-Perot谐振腔锥状波束天线
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作者 赵珂 齐世山 吴文 《微波学报》 CSCD 北大核心 2023年第S01期13-16,共4页
锥状波束天线是一种方向图最大增益方向与天线法线呈一定角度,围绕法线轴向对称的天线,广泛应用于车载卫星通信、射电天文等工程中。本文提出了一种基于Fabry-Perot谐振腔的高增益锥状波束天线。将漏波理论和EBG天线理论相结合,设计了... 锥状波束天线是一种方向图最大增益方向与天线法线呈一定角度,围绕法线轴向对称的天线,广泛应用于车载卫星通信、射电天文等工程中。本文提出了一种基于Fabry-Perot谐振腔的高增益锥状波束天线。将漏波理论和EBG天线理论相结合,设计了一种具有牛眼缝隙FSS覆盖层的腔结构,该结构在特定的缺陷频率下谐振。通过使用径向波导180°E形弯头的结构设计,中间放置馈电探针,馈电后激励起径向波导的TEM模式控制孔径分布,以实现期望的增益和旁瓣水平。通过优化设计,使得该锥状波束天线在中心频率12.5GHz时,产生仰角30°的锥状波束,阻抗带宽为2.2%,天线增益14.3dBi。 展开更多
关键词 fabry-perot谐振腔 锥状波束 高增益 频率选择表面(FSS)
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基于Fabry-Perot的高灵敏度局部放电检测传感器 被引量:1
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作者 吴明孝 李雪桓 +2 位作者 周少珍 杨威 付刚 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第7期90-93,共4页
提出了一种用于局部放电检测的高灵敏度微型光纤法布里—珀罗(F-P)传感器。利用MEMS技术由单模光纤端面和具有波纹结构的氮化硅(Si3N4)膜构成。实验分析了传感器不同膜片结构的性能。结果表明:所提出的传感器1 kHz声信号下,声压为38.86 ... 提出了一种用于局部放电检测的高灵敏度微型光纤法布里—珀罗(F-P)传感器。利用MEMS技术由单模光纤端面和具有波纹结构的氮化硅(Si3N4)膜构成。实验分析了传感器不同膜片结构的性能。结果表明:所提出的传感器1 kHz声信号下,声压为38.86 mPa时,信噪比为80.18 dB,最小可探测声压为3.07μPa/Hz1/2。此外,该传感器具有平坦的频率响应和线性的声压响应,同时具有极高的灵敏度和微小的尺寸,适合局部放电的检测实际应用。 展开更多
关键词 光纤传感器 光纤法布里—珀罗 氮化硅膜 波纹膜结构
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基于Fabry-Perot干涉仪的微型光纤风速仪
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作者 郑涵 吴睿 +2 位作者 林志贤 林正冲 程宇恒 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第11期89-92,共4页
提出了一种由硅片和单模光纤(SMF)端面组成的法布里—珀罗(Fabry-Perot)干涉仪型风速计。风速计利用硅优越的热学和光学特性,当红外信号通过硅Fabry-Perot干涉仪时,可以通过红色二极管激光器注入的光束对硅Fabry-Perot干涉仪进行加热,... 提出了一种由硅片和单模光纤(SMF)端面组成的法布里—珀罗(Fabry-Perot)干涉仪型风速计。风速计利用硅优越的热学和光学特性,当红外信号通过硅Fabry-Perot干涉仪时,可以通过红色二极管激光器注入的光束对硅Fabry-Perot干涉仪进行加热,而不会受到加热光的任何干扰。当传感器置于较强气流(风)中时,硅片热损失的增加,将会引起Fabry-Perot干涉仪光程的减小,从而导致输出光谱蓝移,风速越高,波长偏移越大。通过调节加热功率,可以改变风速计的响应范围和灵敏度。实验结果表明:在风速为4 m/s时,观察到波长偏移为-0.574 nm。当施加更大的加热功率时,预期会有更好的灵敏度。该传感器具有结构简单、成本低、响应快等特点。 展开更多
关键词 光纤风速计 法布里-珀罗干涉仪 硅薄膜 热效应
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带内低RCS的高增益宽带Fabry-Perot谐振腔天线
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作者 江扬杰 汪敏 +2 位作者 桂迪 王泽琦 吴文 《微波学报》 CSCD 北大核心 2023年第S01期26-29,共4页
本文提出一种具有带内低RCS的高增益宽带Fabry-Perot(F-P)谐振腔天线。利用类球形地的开放谐振腔,在谐振基础上激发高次模谐振来扩展F-P天线的宽带。利用尺寸可灵活独立调节的多层PRS单元,针对主极化辐射对天线高次模下辐射的表面电场... 本文提出一种具有带内低RCS的高增益宽带Fabry-Perot(F-P)谐振腔天线。利用类球形地的开放谐振腔,在谐振基础上激发高次模谐振来扩展F-P天线的宽带。利用尺寸可灵活独立调节的多层PRS单元,针对主极化辐射对天线高次模下辐射的表面电场相位进行调整,以降低方向图旁瓣电平;针对交叉极化散射,能实现约180°的反射相差,然后通过棋盘式布阵来实现带内交叉极化的单站RCS缩减。最终,设计并仿真了整体天线,得到3dB实际增益带宽为33.66-38.69GHz(13.9%),最大增益为24dBi,在33.66-37GHz(9.4%)内的旁瓣电平低于-8dB。在33.6-39.2GHz带宽内,主极化入射时天线具有较低的单站RCS;而对于交叉极化入射,天线单站RCS相较于地板降低了8dB以上。 展开更多
关键词 fabry-perot谐振腔天线 开放谐振腔 多层PRS 高增益 宽带 RCS
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Coulomb-dominated oscillations in a graphene quantum Hall Fabry–Pérot interferometer
16
作者 Guan-Qun Zhang Li Lin +3 位作者 Hailin Peng Zhongfan Liu Ning Kang Hong-Qi Xu 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第12期43-47,共5页
The electronic Fabry–Pérot interferometer operating in the quantum Hall regime may be a promising tool for probing edge state interferences and studying the non-Abelian statistics of fractionally charged quasipa... The electronic Fabry–Pérot interferometer operating in the quantum Hall regime may be a promising tool for probing edge state interferences and studying the non-Abelian statistics of fractionally charged quasiparticles. Here we report on realizing a quantum Hall Fabry–Pérot interferometer based on monolayer graphene. We observe resistance oscillations as a function of perpendicular magnetic field and gate voltage both on the electron and hole sides. Their Coulomb-dominated origin is revealed by the positive(negative) slope of the constant phase lines in the plane of magnetic field and gate voltage on the electron(hole) side. Our work demonstrates that the graphene interferometer is feasible and paves the way for the studies of edge state interferences since high-Landau-level and even denominator fractional quantum Hall states have been found in graphene. 展开更多
关键词 GRAPHENE electronic fabry–Pérot interferometer quantum Hall effect edge state interference
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基于Fabry-Perot标准具的多普勒测风激光雷达 被引量:20
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作者 钟志庆 孙东松 +4 位作者 王邦新 夏海云 董晶晶 周小林 周军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第6期687-690,共4页
研制了1 064 nm直接探测多普勒测风激光雷达,采用Fabry-Perot标准具的双边缘技术,探测了对流层三维风场分布。介绍了多普勒测风激光雷达的总体结构和技术参数,较为详细地叙述了各部分的结构及其功能,并给出了合肥地区对流层径向风速的... 研制了1 064 nm直接探测多普勒测风激光雷达,采用Fabry-Perot标准具的双边缘技术,探测了对流层三维风场分布。介绍了多普勒测风激光雷达的总体结构和技术参数,较为详细地叙述了各部分的结构及其功能,并给出了合肥地区对流层径向风速的初步探测结果。结果表明,该激光雷达系统性能稳定,夜晚的探测高度可以达到9 km。 展开更多
关键词 激光 雷达 多普勒 fabry-Pcrot标准具
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三通道Fabry-Perot标准具在瑞利测风激光雷达中的应用 被引量:10
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作者 舒志峰 唐磊 +5 位作者 王国成 董吉辉 徐文静 胡冬东 孙东松 窦贤康 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第8期1474-1480,共7页
描述了利用三通道Fabry-Perot(F-P)标准具作为鉴频器直接探测多普勒风场的原理。优化了三通道F-P标准具的设计参数。介绍了基于三通道F-P标准具研制的测风激光雷达接收机的结构。利用355 nm脉冲光,通过调节PZT电压来改变标准具的腔长,... 描述了利用三通道Fabry-Perot(F-P)标准具作为鉴频器直接探测多普勒风场的原理。优化了三通道F-P标准具的设计参数。介绍了基于三通道F-P标准具研制的测风激光雷达接收机的结构。利用355 nm脉冲光,通过调节PZT电压来改变标准具的腔长,对标准具的透过率曲线进行了初步测量,并分析了标准具的参数,标准具的带宽和峰值透过率较设计时分别增大了13%和10%。介绍了利用四波束反演水平风场的方法。根据标准具参数和信噪比计算的速度灵敏度较设计时下降了0.09%,风速精度在40 km以下优于5 m/s。同时,与风廓线雷达进行了比对,对163组数据的风速差进行统计,平均值为0.22 m/s,标准差为1.67 m/s,表明两者有较高的一致性。 展开更多
关键词 三通道fabryperot标准具 测风激光雷达 直接探测 分子散射
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光纤法布里-珀罗(Fabry-Perot)腔液位传感器 被引量:25
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作者 阮驰 高应俊 +2 位作者 刘志麟 黄伟荣 郝爱花 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第10期1170-1174,共5页
提出了一种用于测量液体容器液位高度的新型光纤F P(Fabry Perot)腔传感器 ,它灵敏度高 ,实现了全光传感和传输 ,特别适用于一些有害、易燃、易爆液体容器液位的测定 详细分析了该类传感器的传感原理 ,并给出了传感头参量设计方法 实... 提出了一种用于测量液体容器液位高度的新型光纤F P(Fabry Perot)腔传感器 ,它灵敏度高 ,实现了全光传感和传输 ,特别适用于一些有害、易燃、易爆液体容器液位的测定 详细分析了该类传感器的传感原理 ,并给出了传感头参量设计方法 实验结果表明 ,光纤F P腔传感器测量液位方法简单 ,并且可达到相当高的精度 文中分析了实验中的误差 ,探讨了传感器的稳定性及改进方法 ,是光纤法布里 展开更多
关键词 法布里-珀罗(fabry-Pemt)腔 液位 光纤传感器
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半导体激光Fabry-Perot干涉波长的微位移测量仪 被引量:2
20
作者 杨秀芳 王小明 +1 位作者 刘月明 郭彦珍 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期916-918,共3页
设计了一种基于FabryPerot干涉波长测量仪.这种测量仪使用两个FabryPerot干涉腔,其中一个作为测量腔、另一个作为参考腔,测量腔的一个反射面与被测对象安装在一起,参考腔的一个反射面与压电陶瓷安装在一起.根据透射光谱中心波长与其干... 设计了一种基于FabryPerot干涉波长测量仪.这种测量仪使用两个FabryPerot干涉腔,其中一个作为测量腔、另一个作为参考腔,测量腔的一个反射面与被测对象安装在一起,参考腔的一个反射面与压电陶瓷安装在一起.根据透射光谱中心波长与其干涉腔长之间的关系,当参考腔与测量腔的透射光谱中心波长完全重合时,对纳米级微位移实现实时测量.光源采用半导体激光器,可获得所需要的波长值和波长变化范围.实验结果表明,这种测量仪测量误差不大于1.5nm,该精度可以满足精密机械加工、光电子和微电子加工以及纳米级测量技术等领域的精度要求. 展开更多
关键词 fabryperot干涉仪 微位移测量仪 半导体激光 透射光谱
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