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高k金属栅NMOSFET器件阈值电压调控方法
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作者 刘城 王爱记 +2 位作者 刘自瑞 刘建强 毛海央 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第1期13-19,25,共8页
实现对器件阈值电压的有效调控是高k金属栅(HKMG)技术面临的一项重要挑战。TiAl薄膜作为n型金属氧化物半导体场效应晶体管(NMOSFET)的功函数层被广泛地应用于HKMG结构中以实现对器件阈值电压的调控。实验采用射频(RF)-直流(DC)磁控溅射... 实现对器件阈值电压的有效调控是高k金属栅(HKMG)技术面临的一项重要挑战。TiAl薄膜作为n型金属氧化物半导体场效应晶体管(NMOSFET)的功函数层被广泛地应用于HKMG结构中以实现对器件阈值电压的调控。实验采用射频(RF)-直流(DC)磁控溅射的方式沉积TiAl薄膜,通过优化直流功率、射频功率和反应压强工艺参数,实现了对薄膜Ti/Al原子比率的调节,提高了Ti/Al原子比率分布均匀度。基于实验结果,采用后栅工艺流程制造HKMG NMOSFET,讨论不同的Ti/Al原子比率和TiAl层厚度对NMOSFET阈值电压的影响。Ti/Al原子比率增大10%,NMOSFET的阈值电压增加12.6%;TiAl层厚度增加2 nm,NMOSFET的阈值电压下降19.5%。这种方法已经被成功应用于HKMG器件的生产。 展开更多
关键词 k金属栅(HkMG) 功函数层 磁控溅射 Ti/Al原子比率 阈值电压 n型金属氧化物半导体场效应晶体管(NMOSfeT)
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C/Ti原子比对前驱体碳化复合等离子熔覆TiC/Fe复合涂层的影响 被引量:5
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作者 刘均波 姜军生 +1 位作者 谭志强 刘均海 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期50-53,共4页
以钛铁粉和碳的前驱体(蔗糖)为原料通过前驱体碳化复合技术制备了Ti-Fe-C等离子熔覆复合粉末,并通过等离子熔覆技术在普通低碳钢表面成功地原位合成了TiC/Fe陶瓷金属复合涂层。着重研究了不同C/Ti原子比对等离子熔覆TiC/Fe复合涂层的相... 以钛铁粉和碳的前驱体(蔗糖)为原料通过前驱体碳化复合技术制备了Ti-Fe-C等离子熔覆复合粉末,并通过等离子熔覆技术在普通低碳钢表面成功地原位合成了TiC/Fe陶瓷金属复合涂层。着重研究了不同C/Ti原子比对等离子熔覆TiC/Fe复合涂层的相组成、显微结构和硬度的影响。结果表明,前驱体碳化复合技术制备的Ti-Fe-C系等离子熔覆复合粉末中C/Ti原子比是影响涂层相组成、显微结构和硬度的关键因素。C/Ti原子比不同,涂层的相组成和硬度不同;随着C/Ti原子比增大,涂层中TiC团聚富集区增大,涂层的孔隙率也随之增大。 展开更多
关键词 前驱体 等离子熔覆 TiC/fe复合涂层 C/Ti原子比
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合成气直接制低碳烯烃中K对铁基催化剂积炭特性的影响 被引量:1
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作者 段建国 王亚雄 +1 位作者 刘全生 周晨亮 《石油炼制与化工》 CAS CSCD 北大核心 2017年第3期63-67,共5页
采用浸渍法将K添加到氢氧化铁中获得不同K/Fe原子比催化剂,用KnFe表示,其中n=0,0.02,0.04,0.08,0.40,1.00。利用XRD,FT-IR,Raman,TG和元素分析等表征手段研究K/Fe原子比对其反应性能及积炭行为的影响。结果表明:适量K能够促进铁基催化... 采用浸渍法将K添加到氢氧化铁中获得不同K/Fe原子比催化剂,用KnFe表示,其中n=0,0.02,0.04,0.08,0.40,1.00。利用XRD,FT-IR,Raman,TG和元素分析等表征手段研究K/Fe原子比对其反应性能及积炭行为的影响。结果表明:适量K能够促进铁基催化剂CO加氢反应,提高C_2~=~C_4~=选择性,而过量K又会抑制CO加氢反应,降低烯烃选择性,最佳n(K)/n(Fe)为0.04;K的添加促进类石墨型积炭的生成,导致催化剂稳定性下降;随n增加,催化剂积炭量逐渐增加,且积炭中脂肪化程度以及H/C比均增加。 展开更多
关键词 k/fe原子比 积炭 合成气 低碳烯烃
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磁控溅射法制备的FePt薄膜的结构与性能 被引量:3
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作者 刘静 胡胜龙 +5 位作者 刘仲武 戴晓莉 欧阳玲玉 张元青 箫笃飞 王健 《磁性材料及器件》 CAS CSCD 2020年第2期9-15,共7页
采用磁控溅射法在单晶Si(100)基片上制备了一系列FePt薄膜,研究了膜厚、退火温度和时间、Fe/Pt原子比对薄膜结构和磁性能的影响。研究表明,薄膜的有序度与膜厚有着密切的关系,厚度越厚,薄膜的有序化程度越高,矫顽力越高。退火温度的升... 采用磁控溅射法在单晶Si(100)基片上制备了一系列FePt薄膜,研究了膜厚、退火温度和时间、Fe/Pt原子比对薄膜结构和磁性能的影响。研究表明,薄膜的有序度与膜厚有着密切的关系,厚度越厚,薄膜的有序化程度越高,矫顽力越高。退火温度的升高和退火时间的延长均可以使薄膜的矫顽力增高。富Fe的薄膜具有相对较高的有序度,Fe/Pt原子比为55:45时,有序化程度最高,矫顽力最高,平行方向的矫顽力为14.2 kOe。Fe/Pt原子比为50:50的薄膜,(001)垂直取向在膜厚为20 nm时获得。 展开更多
关键词 fePt薄膜 磁记录 有序度 膜厚 退火 fe/Pt原子比 结构 矫顽力
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负载型Fe_2(SO_4)_3-NiSO_4/γ-Al_2O_3催化剂制备条件对异丁烯齐聚反应性能的影响 被引量:1
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作者 罗祥生 石海信 晁会霞 《石油化工》 CAS CSCD 北大核心 2017年第8期1007-1011,共5页
以Fe_2(SO_4)_3和NiSO_4为原料,采用浸渍法制备了Fe_2(SO_4)_3-(NiSO_4)/γ-Al_2O_3催化剂用于异丁烯齐聚反应,考察了催化剂成型、焙烧温度、载Fe量和Fe/Ni原子比对异丁烯齐聚反应的影响。实验结果表明,催化剂成型后,反应活性有所降低,... 以Fe_2(SO_4)_3和NiSO_4为原料,采用浸渍法制备了Fe_2(SO_4)_3-(NiSO_4)/γ-Al_2O_3催化剂用于异丁烯齐聚反应,考察了催化剂成型、焙烧温度、载Fe量和Fe/Ni原子比对异丁烯齐聚反应的影响。实验结果表明,催化剂成型后,反应活性有所降低,但目的产物的选择性明显提高,选择的成型催化剂为三叶草外形、直径1.2 mm、长度2 mm。适宜的催化剂制备条件为:催化剂焙烧温度为400℃或600℃、载Fe量为8%(w)和5%(w)、Fe/Ni原子比在(1∶4)^(1∶3)之间和(3∶1)^(4∶1)之间,在上述条件下,二聚物的选择性相对较高,三聚物的选择性相对较低,转化率适中,综合反应性能较好。 展开更多
关键词 异丁烯 齐聚反应 载铁量 焙烧温度 fe/Ni原子比
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K^+/Na^+比值与损伤时间的关系
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作者 陈玉川 邓昭科 祝家镇 《中国法医学杂志》 CSCD 1990年第2期80-82,共3页
本文使用原子吸收光谱法测定12只大鼠36个烧伤局部肌肉标本的 K^+/Na^+值,检测结果:生前60、 30、 15min 以及死后20min 肌肉标本的 K^+/Na^+值比对照组分别下降:69~94%(平均86%)、56~89%(平均77%)、47~82%(平均71%)、4~38%... 本文使用原子吸收光谱法测定12只大鼠36个烧伤局部肌肉标本的 K^+/Na^+值,检测结果:生前60、 30、 15min 以及死后20min 肌肉标本的 K^+/Na^+值比对照组分别下降:69~94%(平均86%)、56~89%(平均77%)、47~82%(平均71%)、4~38%(平均27%),此结果经统计学处理,表明生前伤与死后伤的 K^+/Na^+比值的下降率有明显差异。同时发现生前损伤的各实验组随存活时间的延长,K^+/Na 比值的下降率有增加的倾向。笔者认为,此方法是烧伤时间推断的一种简便,可靠的方法,对法医学实践有一定实用价值。 展开更多
关键词 原子吸收光谱法 k^+/Na^+值 损伤时间
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金钯铁合金的K状态研究
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作者 柴园 武海军 +4 位作者 马丽华 张健康 李强 柳青 戴华 《贵金属》 CAS CSCD 北大核心 2017年第4期30-33,共4页
K状态是一种特殊的有序化转变,其形成会影响合金的力学性能和电学性能。Au-35Pd-8Fe合金在高温时为单相固溶体,热处理时会发生原子重排形成偏聚。采用硬度、XRD、热电阻等检测方法对Au-35Pd-8Fe合金固溶态和时效态进行分析。结果表明,... K状态是一种特殊的有序化转变,其形成会影响合金的力学性能和电学性能。Au-35Pd-8Fe合金在高温时为单相固溶体,热处理时会发生原子重排形成偏聚。采用硬度、XRD、热电阻等检测方法对Au-35Pd-8Fe合金固溶态和时效态进行分析。结果表明,该成分合金存在K状态,K状态转变温度范围为450~500℃,在该温度范围内合金电阻迅速升高并达到峰值。 展开更多
关键词 金属材料 k状态 金钯铁合金 热电阻 原子偏聚
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原子吸收法测定鸡蛋壳中的钙、铁、镁、钾 被引量:6
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作者 纪萍 朱文红 《辽宁高职学报》 2001年第1期56-58,共3页
采用原子吸收分光光度法对鸡蛋壳中的钙、铁、镁、钾的含量进行了测定,确定了该法测定的仪器测定条件,溶液测定消干扰的最佳条件,利用标准曲线法对样品进行了实际分析,获得满意结果。
关键词 鸡蛋壳 原子吸收法 测定 分光光度法
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原子吸收光谱法测定铝合金中的金属元素
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作者 耿薇 张君才 +1 位作者 赵延霞 严少普 《化学工业与工程技术》 CAS 2010年第4期58-60,共3页
采用火焰原子吸收光谱法测定铝合金中的金属元素钾、锰、铁、钴、镍、锌的含量。对仪器的最佳工作条件进行调试,得到这6种金属元素的标准曲线,具有较好的线性,相关系数R大于或等于0.999 6。样品的测定结果令人满意。
关键词 原子吸收光谱 铝合金
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原子吸收法连续测定硅酸盐中六种元素 被引量:3
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作者 王育红 贾晋莉 董德凡 《河北地质学院学报》 1996年第2期192-196,共5页
该文报道了采用HF—HCLO_4溶液溶解样品,原子吸收法连续测定硅酸盐中Fe、Ca、Mg、Mn、Na、K六种元素,考察了共存元素的干扰及消除方法,试样溶液介质的选择,分析结果令人满意。
关键词 原子吸收法 硅酸盐
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电感耦合等离子体发射光谱法同时测定长石矿物中钾钠钙镁铝钛铁 被引量:15
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作者 王小强 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期442-445,共4页
样品用HCl-HNO3-HClO4-HF分解,电感耦合等离子体发射光谱法同时测定长石矿物中的K、Na、Ca、Mg、Al、Ti、Fe。对元素的分析谱线、溶解用酸的量等工作条件进行了优化,选择了各元素的最佳分析谱线及背景校正模式,探讨HF的用量,试验加内标... 样品用HCl-HNO3-HClO4-HF分解,电感耦合等离子体发射光谱法同时测定长石矿物中的K、Na、Ca、Mg、Al、Ti、Fe。对元素的分析谱线、溶解用酸的量等工作条件进行了优化,选择了各元素的最佳分析谱线及背景校正模式,探讨HF的用量,试验加内标和不加内标两种测定方法对测定结果的影响。结果表明,对于样品中含量较高的Al,选用次灵敏线396.152 nm,用内标法补偿非光谱干扰,以长石中含量极低的Au作为内标元素(测定谱线为242.795 nm)可以获得满意的结果,方法检出限为0.45~3.56μg/g。经国家一级标准物质GBW03134、GBW 3116验证,测定值的相对误差(RE)为-1.32%~10.0%,ICP-AES法与其他测定方法的测定结果无显著性差异,方法精密度(RSD,n=10)为0.55%~7.2%,能够满足长石矿物中相关组分的准确测定。 展开更多
关键词 长石 电感耦合等离子体发射光谱法
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微波消解火焰原子吸收光谱法测定奶粉中铁镁钾钠钙 被引量:1
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作者 汪洋 闵盛 张怡 《四川生殖卫生学院学报》 2009年第5期33-34,共2页
目的:采用微波消解对奶粉进行前处理,火焰原子吸收光谱法测定奶粉中铁、镁、钾、钠、钙的含量。结果:测定上述各种元素的相对标准偏差(n=6)在0.9%-2.6%之间。各元素的标准曲线具有良好的线性关系,线性相关系数在0.9990至0.9... 目的:采用微波消解对奶粉进行前处理,火焰原子吸收光谱法测定奶粉中铁、镁、钾、钠、钙的含量。结果:测定上述各种元素的相对标准偏差(n=6)在0.9%-2.6%之间。各元素的标准曲线具有良好的线性关系,线性相关系数在0.9990至0.9999之间。各元素加样回收率在98.6%-101.0%之间。 展开更多
关键词 火焰原子吸收光谱法 微波消解 奶粉
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空气—乙炔火焰原子吸收光谱法测定抗风湿类蒙药中8种微量元素 被引量:8
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作者 于佳琦 许良 +2 位作者 姜海霞 国大旺 刘景林 《药物分析杂志》 CAS CSCD 北大核心 2016年第6期1006-1010,共5页
目的:测定抗风湿8种蒙药额日敦—乌日勒、额勒吉根—楚斯-25、嘎日迪-15、那如-3、森登-4、查干古古勒-10、五味润僵汤、巴斯布如-5汤中8种微量元素K、Na、Cu、Fe、Zn、Ca、Mg、Mn的含量。方法:采用空气—乙炔火焰原子吸收光谱法测定药... 目的:测定抗风湿8种蒙药额日敦—乌日勒、额勒吉根—楚斯-25、嘎日迪-15、那如-3、森登-4、查干古古勒-10、五味润僵汤、巴斯布如-5汤中8种微量元素K、Na、Cu、Fe、Zn、Ca、Mg、Mn的含量。方法:采用空气—乙炔火焰原子吸收光谱法测定药品中微量元素。用标准加入法进行回收率测定。结果:8种抗风湿蒙药中的微量元素含量存在一定差异。8种蒙药中K、Na、Ca、Mg、Fe元素的含量均高,Mn和Zn的含量较低,Cu元素的含量最低;Ca元素在额日敦—乌日勒中的含量明显高于其他7种蒙药。同种元素在不同蒙药中的含量明显不同。K元素在查干古古勒-10中的含量最高,在嘎日迪-15中的含量最低。Na元素在额勒吉根—楚斯-25中的含量最高,在那如-3中最低。Ca元素在那如-3中含量最低。Mg元素在查干古古勒-10的含量最高,而在森登-4中的含量较低。Fe元素的含量在嘎日迪-15中最高,森登-4中最低。Mn元素在额日敦—乌日勒中的含量最高,在五味润僵汤中的含量最低。Zn在嘎日迪-15中的含量最高,在额日敦—乌日勒中最低。结论:不同抗风湿蒙药中微量元素含量的差异与不同抗风湿蒙药的不同治疗作用有一定关联,分析结果对进一步阐明微量元素在抗风湿蒙药中的生物活性及作用机理提供实验依据。 展开更多
关键词 抗风湿药 蒙药 民族药物 额日敦—乌日勒 额勒吉根—楚斯-25 嘎日迪-15 那如-3 森登-4 查干古古勒-10 五味润僵汤 巴斯布如-5汤 原子吸收光谱法
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