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表面S钝化技术与金属/GaAs界面异质结构
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作者 祝传刚 《青岛大学学报(自然科学版)》 CAS 2001年第3期100-102,F003,共4页
本文详细讨论了GaAs表面S钝化技术的发展过程,总结了近年来人们对S钝化技术的研究成果,并针对该技术在金属/GaAs异质结构领域的广泛应用前景进行了讨论。
关键词 钝化 金属/GaAs异质结构 半导体技术 fermi能级钉扎 势垒高度 Schottky-Mott模型
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