扩展的Schottky发射高分辨扫描电镜

本文从理论上评述了扫描电镜中作为电子源的五种发射制式，对冷场发射，热场发射，Ｓｃｈｏｔｔｋｙ发射和扩展的Ｓｃｈｏｔｔｋｙ发射四种制式，就虚源，能量分散，亮度，噪声等一些重要方面进行了详细的比较，指出了扩展的Ｓｃｈｏｔｔｋｙ发射的优越性。同时给出了我们应用扩展的Ｓｃｈｏｔｔｋｙ发射扫描电镜（ＡＭＲＡＹ１９１０ＦＥ）所获得的一些高分辨形貌像。