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纵弯式压电微电机自然频率的有限元计算
被引量:
4
1
作者
马建旭
吴清文
+2 位作者
卢锷
文大化
李成发
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1997年第6期81-85,共5页
利用有限元方法计算了纵弯式压电微电机自然频率和固有振型。相应的实验表明,利用该分析方法所得结果与实测值有较好的一致性。
关键词
有限元
压电
微电机
微电子机械系统
自然频率
下载PDF
职称材料
题名
纵弯式压电微电机自然频率的有限元计算
被引量:
4
1
作者
马建旭
吴清文
卢锷
文大化
李成发
机构
上海交通大学机械系
中国科学院长春光学精密机械研究所
吉林工业大学机械工程系
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1997年第6期81-85,共5页
基金
863计划资助项目
文摘
利用有限元方法计算了纵弯式压电微电机自然频率和固有振型。相应的实验表明,利用该分析方法所得结果与实测值有较好的一致性。
关键词
有限元
压电
微电机
微电子机械系统
自然频率
Keywords
finiteelement analysis
,
longitudinalbending piezoelectric micromotor
,
micro
electro
mechanical
System(
mems
),
natural frequency
分类号
TM380.142 [电气工程—电机]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
纵弯式压电微电机自然频率的有限元计算
马建旭
吴清文
卢锷
文大化
李成发
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1997
4
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