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纵弯式压电微电机自然频率的有限元计算 被引量:4
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作者 马建旭 吴清文 +2 位作者 卢锷 文大化 李成发 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1997年第6期81-85,共5页
利用有限元方法计算了纵弯式压电微电机自然频率和固有振型。相应的实验表明,利用该分析方法所得结果与实测值有较好的一致性。
关键词 有限元 压电 微电机 微电子机械系统 自然频率
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