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脉冲激光气相沉积技术及其在ICF薄膜靶制备中的应用 被引量：25
1
作者 吴卫东 许华 +2 位作者 魏胜 唐永建 陈正豪 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期873-876,共4页
　在ICF实验及天体物理的辐射不透明实验中,经常用到多层薄膜靶,激光脉冲气相沉积(PLD)技术是制备多层薄膜靶的较好方法。论述了PLD技术的原理、实验方法和装置的设计,用该方法初步制备了原子级光滑的Cu及Cu Fe薄膜。Cu薄膜的均方根粗... 　在ICF实验及天体物理的辐射不透明实验中,经常用到多层薄膜靶,激光脉冲气相沉积(PLD)技术是制备多层薄膜靶的较好方法。论述了PLD技术的原理、实验方法和装置的设计,用该方法初步制备了原子级光滑的Cu及Cu Fe薄膜。Cu薄膜的均方根粗糙度为0.2nm,Fe薄膜的均方根粗糙度为0.4nm。 展开更多
关键词 脉冲激光气相沉积 icf 薄膜靶 制备 准分子激光器
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激光物理实验用高聚物薄膜材料的制备 被引量：3
2
作者 许云书 崔保顺 +1 位作者 刘元琼 陈志梅 《化学研究与应用》 CAS CSCD 1995年第4期441-444,共4页
激光物理实验用高聚物薄膜材料的制备许云书，崔保顺，刘元琼，陈志梅（中国工程物理研究院核物理与化学所成都６１０００３）关键词聚乙烯醇缩甲醛，薄膜，ＩＣＦ靶，ＸＲＬ靶目前，惯性约束聚变（ＩＣＦ）靶中氚燃料小球等靶零件的支... 激光物理实验用高聚物薄膜材料的制备许云书，崔保顺，刘元琼，陈志梅（中国工程物理研究院核物理与化学所成都６１０００３）关键词聚乙烯醇缩甲醛，薄膜，ＩＣＦ靶，ＸＲＬ靶目前，惯性约束聚变（ＩＣＦ）靶中氚燃料小球等靶零件的支撑材料以及Ｘ光激光（ＸＲＬ）靶所用... 展开更多
关键词 聚乙烯醇缩甲醛 薄膜 icf靶 xrl靶
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